國產濺鍍磁控靶，那家比較好呢？

s_y_y1 · 发表于 2008-11-21 09:54:50

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大家都說國產濺鍍磁控靶不好 !! 真的嗎？
懇請高手指點。

s_y_y1 · 发表于 2008-12-14 10:38:02

怎么没人答呢！
我厂现与北京丹普表面技术有限公司谈溅镀靶。
有用过的人请给个意见。谢谢！

hhhx36 · 发表于 2009-5-6 22:43:13

我厂用的是北京的

hhhx36 · 发表于 2009-5-6 22:45:38

CR靶与TI靶等国产还可以.但是我们只用来调试L=30-80.范围内的颜色.银白到黑色.中间是枪色.红绿黄蓝很少!

qw905 · 发表于 2009-5-11 19:29:02

:D :D 钽靶、铌靶、ITO靶、氧化钽靶等中色（宁夏）东方集团公司没问题～～～

yaovac · 发表于 2009-5-12 14:12:00

我是从事真空设备设计工作的，现在主要制作磁控溅射镀膜设备，说句是在话，现在国内没有磁场分析的能力，基本上都是模仿，而且模仿也不到位，所以一直以来，都做得不是很理想，都可以用，所以你也只能将就了，要好的只有买进口的。呵呵。。。一个靶都几十万。。。

qw905 · 发表于 2009-6-18 15:02:27

ITO高密度（99.5%）靶材规格600*300，请找中色东方集团有限公司，1000级净化间硬件，~~~
02专项用钽、钛、镍、铝、铜靶材等~~~www.cnmnc.com.cn

sea88sky · 发表于 2009-7-1 12:57:04

国产的都不理想。进口的确是比较贵，得几十万。我也想自己设计靶，欢迎大家献计献策，共同进步啊。

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