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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：$ ~4 A) x" q7 K) A( F: c" C7 h
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NEBB-----无尘室测试规范% ?6 _; Z5 R+ L$ P
( a, C0 J0 T" Z' F
测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。
( l. z/ ^8 A. v$ y/ f' t一、无尘室测试规范: F u; `$ g- d3 s7 u
有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。* t* \3 q- c8 ]! i
- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。' ~1 ?! E$ k8 v9 i
- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
3 i! X* r; c3 N! e; G b0 [6 c二、无尘室常用名词 4 j6 R. i; }2 S2 s
- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义
" ?9 O5 B) _) P" u% B9 A/ E4 p无尘室的等级
2 P0 l. a ^0 t2 g使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下： 3 C' F+ q$ d4 n0 ~" o9 S5 d: v" C( H2 S, t
Class X (at Y μm ) , I) y% v% Q. _( L3 A+ x$ h
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：% w$ _6 S: {6 F. Y& T" Y
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) 6 E3 Q; c% r7 X! X
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
* M4 T: ^1 J% n! k! ?Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
. V x" A | U# }! f; T; G在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。
* s+ l+ X, L2 Z) S1 ]; N8 ~第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
\: }' |' W7 p0 P' ?0 L! D$ H" @6 WClass X (at Y μm )， At-rest ! b0 f2 i L; x8 L4 L9 A7 r Q" ]
供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
! u* S* z& i$ T8 Y, L2 b第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
1 Z$ c/ N8 {9 N$ g( O( C# c0 q0 @Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
/ b2 q, \ C; C% F: O z, uClass 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built 8 f) V5 Z( @$ o6 ?8 b
这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
5 v7 X* {& p& s6 }2 W$ p0 c) _. J以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
4 D3 w" f$ K! F! v5 u& p4 ^, G) s/ X / v) Z: A; R! J6 c
4 I- q% O H, h1 ?! G7 n9 hClass Name
" o0 k. D+ |5 Z& b& V& j( f* q$ p/ g: v9 Z7 h7 E# Q( l& B: W
% ^2 e3 M& d O: b# j+ D
7 I1 F4 Z% a' [0 |. X | Class Limits
6 u+ w" e( h& |: D | 0.1μm `- l: L1 }: ?! e
| 0.2μm ; _5 y# q1 b9 F2 D/ G3 W5 n0 A
| 0.3μm 7 _+ r g* y6 Y- ?
| 0.5μm
& n; m6 n# x. U6 {& Q7 {) N | 5μm 8 w6 R0 k9 G( K+ P& P
| Volume Units 1 `/ D7 G! j3 N# g w$ n
| Volume Units
3 a2 E D9 j' r) P1 K( ?4 i/ K | Volume Units 5 a: L5 ]/ E @3 ]" |! Q, |# x
| Volume Units * N( w' k2 F+ ]. q( Z
| Volume Units $ D' A/ [. M, @
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8 k1 s- r2 s1 p6 } | U.S. & z/ o" y9 z9 R0 C& @; @4 {
| (m3) 0 {) t$ L" s' e/ _+ O" ^5 F+ p
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| (m3) ; c9 f9 y4 d% D$ V
| (ft3) 1 ?4 v3 X! ?1 F1 V
| (m3) " d+ F5 O. f5 m) t: O% {- d
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7 j/ @8 a7 k) L1 F* J$ `4 r | (m3)
- a1 |8 O0 x% j7 K | (ft3) 6 s! N9 q4 } `
| M 1 & ^$ R; Q: v @& D- h9 I: q
| 6 S" U+ q9 P0 K: [
( _% w n' \3 J* J1 z7 W | 350
( I' `& g+ v! J8 D | 9.91 8 n1 R0 p) }! B% ~' ^9 I
| 75.7
7 G, r1 H7 r( m | 2.14 5 u1 e& v! X" d1 A& i- X) K
| 30.9
X+ s6 K/ U2 M5 N | 0.875
8 t0 [6 {! y$ n& U4 A | 10.0 2 N! n9 B+ _. H
| 0.283
5 W* o7 F* E* g) T, a6 e9 L | -
4 \( Q6 |$ v! a1 d Y5 e6 K0 N | - # Q' k9 L$ L5 W1 J
| M 1.5
) T' ]/ d7 a# X$ `+ G9 A. v | 1 % s; n7 y# |* _8 ]( ]
| 1,240
6 V" K- H! y1 z. l0 i7 r | 35.0 y4 ]! j# m9 D; r1 X: ?
| 265
* Z3 B5 P6 v4 h0 }) b1 o3 r | 7.50
% a- q# ]' ^8 M9 [ | 106
! C: r" L: ?1 o9 c | 3.00
! W* N0 F! N) u$ n | 35.3 $ @/ O0 X( U" O: t) k( r; i( r6 ]
| 1.00 3 J3 R) @9 h; h- j
| - + l! h/ W) b6 A# A {
| - 9 b" Y6 \3 U2 F4 K1 L% k: ]
| M 2 2 {" W' X D5 S( W# g- J+ [; E0 i
| 8 D/ Q6 o6 M7 K8 x: ~; Y" A9 y
) ?; K4 v# e& N5 T0 S7 S8 ^ | 3,500
" c# |( R. B0 G' B | 99.1 & ~% K! B2 M: t+ z( H- H, v
| 757
" L- {8 q* X3 i: Z. W | 21.4
8 R( a" _7 _; k4 k; n | 309
9 Y! I$ d3 V8 x, b' I | 8.75
: B' E- g( x0 z" u8 G. Y | 100
. z" n# T$ x. y, X, ~ | 2.83
' m8 O, B0 n: i- F | - & Z" Y1 O3 [ A4 x7 p
| - # Z2 y4 i9 m( _+ X
| M 2.5
5 Z A/ x, l S! ^1 U" H | 10
/ S. v0 f4 w: S% g a [( y7 h | 12,400
: M: G2 L3 [: D+ X$ F: A | 350
8 O2 w" M( J) c) e* a# f7 ^- Q, b | 2,650 ' N! s+ P! Z" Y2 e" t) C
| 75.0
; I, u7 S0 R$ C: e | 1,060 * L" j* U; z- L: `* ^, L* e4 _7 V% @
| 30.0
# x; W! A& T7 q$ n2 a2 E* E | 353
* C3 |& K3 m" ?2 d. c; k | 10.0
. A- m. L, M$ s | - ' k7 y% C3 V0 k" T
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o( j K. Y9 B8 ^; e7 l6 n! N | M 3 * H2 |; j( [: C' V2 ~3 m" A/ H
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; d, i- I1 B* o7 [; P* v
+ u' J' A2 k$ t9 v' e. F# i6 F1 T | 35,000
7 [+ L Q/ Y& Y$ t) N, z | 991
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| 214 ( O$ r$ p! t& a
| 3,090 5 z/ o, q) L- `
| 87.5
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| 28.3 . ?, G1 q% ~1 }, w
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| 750 8 W! i7 x3 @( X3 o( R
| 10,600 ( i8 E8 m- W6 ]# T) C' ^8 e- f
| 300
4 S4 G1 m. \: S w( n | 3,530
( K) m* W5 B( G3 ^# c | 100 " T5 ]; F; f4 ~
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( M; Z" Z$ b1 [/ D+ ^& E- [
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- {! C, z2 b p1 S3 j | - 0 B; Q) v8 I- B; C
| 75,700 1 L0 G7 R5 x" R. I' K
| 2140 " W9 l$ U% s# |0 b/ s2 g7 v$ p
| 30,900
' L( R$ X4 {4 _% y4 h2 R4 \! I | 875
" Q% }9 K- Y- \4 u! @7 h( H | 10,000
$ z* X$ a3 L- W1 ]- h7 R | 283
0 o9 b' I# X' N+ J) B | -
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| M 4.5
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| - : N/ @( m1 v# k, r
| -
) f( O, a) g+ I | - % L$ l, a! p' w* }' }, F' y/ m
| -
# M5 x5 l5 T0 q$ Z6 ^ | - 0 k2 G7 @7 c) a% C5 g4 Z
| - 7 Q6 x& o" Q8 P4 ]6 x# V
| 35,300
! n9 r9 x: s7 C: Y- H, U3 Q | 1,000 6 Z' z0 k1 b6 x" l
| 247
) y2 b7 k% ?6 K& B* F | 7.00 4 R. X2 N9 x) o. J
| M 5
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. g% ^8 C/ L$ z
| -
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| 10,000
N7 f* _$ B. Z3 K" q | - + k# x' G- v8 t: L- B) p
| - 9 Q s& l& r( a8 k- O
| - " a3 _6 M8 b' \1 D; z
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| 353,000 # b2 ?. \$ q0 I# Y7 }" z& P
| 10,000 # y/ p+ X$ |5 p( O/ Q1 W1 G
| 2,470 @7 a+ Y% }5 q+ ^8 h
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w7 {( P) w) b0 P" z, w& _. T9 { | 24,700 7 P4 T' s7 N' @* s( z
| 700
8 b2 f. ?; Q6 V0 Z | M 7 4 V+ F; T! e7 `( _2 Q& K2 y9 O
| , [& Q2 q2 l8 ~" T( h' [% O
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2 A' V0 ?$ s) Y8 J | - 0 A7 N' x- P" n2 l% l+ G5 U
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| - " V+ y8 b! e5 z5 d; s# \/ a. M
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' ^+ ^& w# l* [ | 10,000,000
/ t N; W4 P; c/ U* J; G | 283,000
& l) v' f5 m6 L' k+ \! C. d | 61,800 8 h; E& }8 a" e; O8 u5 e; F6 b& `3 }
| 1,750 : z8 `3 h) p, W
|
; \/ a% ^- v# k6 n% |0 b" S, b) Z
% c% ~1 q0 |$ ?5 dFed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N)
3 S F% |2 |) g- m; _$ v | Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
" S9 E0 \4 s* l9 J" | | 0.1 mm - t$ K# Y* k0 |. R
| 0.2 mm ; H) f% r8 Z" n, r
| 0.3 mm
: h# s: H- @4 G0 S$ x/ q | 0.5 mm 6 Z1 S) e3 D4 q8 \% I- N; n8 P; S0 B
| 1 mm & U7 d* f# Y* [9 A0 f
| 5 mm - S1 E6 |' }$ j5 ^" c V9 P
| ISO Class 1 / @( X! ], ^2 r7 V
| 10 6 a7 P: B: m7 y7 l
| 2
8 p/ V* |7 U! J* Y7 h4 I2 c | $ j n) s, Q& L% Z3 |
|
5 ]! N* B: |4 H" g* D6 B | - N/ g U! O6 x6 g# {1 S' Y
| 2 j g4 W; l2 K3 M. E: ]5 Y
| ISO Class 2
) s; r# w W, v* _ | 100
* M: x/ p, C' |% A5 A8 m) M | 24 , G1 c; e; r7 h0 y- ?
| 10 ; l* y6 e% b# B
| 4
7 o8 z, }: A0 m0 \( l) k5 H C |
. Q! {0 i+ W* V |
$ \" @9 @0 I2 }) e | ISO Class 3
, Z4 {* |# _1 l; }$ B. O$ j6 }0 |) L4 T2 K | 1 000 5 ^ h# h7 X! Z9 G$ w+ _. X+ [
| 237 0 O. P+ `* Z, A, C# ?
| 102
! X" A2 W" V, }. `$ g }, z | 35
( y$ H1 b1 |9 `$ D | 8
' B# R5 i' v/ P3 M: h4 e0 U |
5 m- U9 L4 a0 H% F+ j2 @! ~4 B | ISO Class 4 # ?% m6 n1 N: z0 p4 r1 T# o! E
| 10 000
& U3 @2 [7 q( |* j7 `6 ? | 2 370
- I H) r) X8 B | 1 020 3 ?0 [% v Z6 c. S, ^% m
| 352 * W N# `$ z3 q
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| ISO Class 5 1 P4 |3 N! U+ n* T$ x" k$ y
| 100 000
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| 832
$ `0 V* [1 A* |/ m/ p | 29
: k1 i* \/ T6 l! m) D9 d6 q: V, p) f | ISO Class 6
7 i, a P' V+ M# m | 1 000 000 $ R; g- v( X+ j0 O$ A
| 237 000
7 P) q& l5 m, E# H* R1 ]7 q v | 102 000 4 ^: K6 B% R9 u6 t. c+ M3 f
| 35 200
: O+ }. ^3 D) C5 v | 8 320 % W: P/ a, L" ]% n/ s5 U" b
| 293
2 O0 K' P! e- d1 I1 T* e8 Z* G% K2 }5 f | ISO Class 7
7 q+ x: r$ v2 i: T0 Z( B | $ p' A6 @( T2 X' Z; \+ p4 a5 C
|
4 c# [" u, s6 t- d9 ^ | ' Y |' i+ P6 ]6 d; }$ F
| 352 000
1 A- Q: j2 b- V4 C$ U* x7 M | 83 200 2 L3 y$ Y" t4 E3 {- |( |1 E
| 2 930
: a) ]0 S7 V2 r6 O+ P | ISO Class 8
( |& c7 l- X' x# T6 `5 W0 t |
& d& M' z( @4 N1 h# Q! y, v | ( I+ \& n/ a9 w5 n4 o7 s0 u6 B# B
|
: d6 j4 z3 @4 }' g2 K0 `4 G | 3 520 000 ; h4 E- q3 f8 Q
| 832 000
- J, ~0 z4 l Z! g9 y% F | 29 300 , G( z- k: q' `. y! s
| ISO Class 9 . L7 @+ S; R; c1 n) w- M* P: h
| & G+ @3 q1 S7 ]+ x" e
|
( g8 K" m* u. q: P | 1 O9 x4 c( A$ f8 r ~. Y( ~
| 35 200 000
, ^2 T+ ~6 Z! b7 D | 8 320 000 9 b7 o; f4 L/ O- F; g6 R: _& c) S) I
| 293 000
2 g7 R0 C( B( | | NOTE3 z- ^4 |+ z# I9 o8 L. X- |- v2 t
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.0 b1 u/ V4 E2 \' e$ H
! p. p0 f% c) w! f7 PEquation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径; u0 @" B8 S9 |
8 s+ j) p. A* F0 B$ }
! i3 I! i- Z* E8 O |
% F g. D$ n$ y$ M* H( z% y
5 f$ k$ [) t# ^8 y
ISO-14644 洁净度定义
: W7 N( s: |( c9 B" k0 ]
/ w; r0 u8 X7 Y: Y4 p* d$ t5 B1 P2 M$ s6 x! M, |
比较以上两表我们可看出
7 a }& ]& V' h0 _8 l k- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围
' Y3 T- w7 `* Z$ d0 P* a3 P4 m Z; m凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。
1 _ T9 x: {* P" Z4 \& C- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。' _& x( n+ W8 h( b
IEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。
3 t; C* a N& f$ m+ ?IEST-RP-CC006.2 Table 1# Q4 k% ?; r. J" t/ C% t1 G! m% o" t
$ |- x! ~7 e; J. E. R
章节
3 i) m; _1 J! y8 f: T* Q | 测试项目
# s, \2 C, v9 r9 g( u& e | 单一流向型
9 _9 h" c+ O, ], j# a4 t | 非单一流向型
6 R5 b* }/ l {4 T! R3 q | 混合型 0 q+ S4 ~1 B+ R/ Z! u5 b! c$ m9 A
| 6.1 / Z+ A3 c1 P" ]+ b0 }" g7 d2 E
| 风量与均匀度
! L6 v* q1 H& S3 z! H3 I& a风速与均匀度
; m& e0 ~% n7 R& e | 1,2,3
7 S9 U8 j4 M' r( _# V9 {1,2,3 . ]' Y6 s8 {+ r. [/ R% p L' e
| 1,2,3
1 a' ?7 g7 I, [ P' L; yOPT 9 I7 m8 C7 n0 n8 k, h7 f
| 1,2,3
) @& ?6 l0 t$ }4 j0 b+ y" S lOPT - d/ Y1 ?/ z. f: f7 A" b9 b' T& A
| 6.2 9 |# q6 Q# H$ a
| 滤网泄漏
+ W; a0 F5 l; I2 Z. l4 j | 1,2
, o0 p2 Q% K; B B0 @9 d | 1,2
& [+ w% Z- x: u | 1,2 8 M6 P6 n7 [* m# k- F2 ]
| 6.3 / I' d/ J& B1 \ Y0 w3 G
| 洁净度
4 V5 W2 j4 K/ ?6 Q | 1,2,3 5 V' L5 r( ^* \. o' V- N3 D. f
| 1,2,3 7 V t" S" M3 [4 a
| 1,2,3
% X# @: I9 Q( Q | 6.4
8 P o2 g% l* C% \& {9 z | 压力 , t3 t: S- l3 y* [: N
| 1,2 6 m0 V! ~! S# g/ }4 W
| 1,2,3
6 G- a+ Z. p+ P$ ~2 ?7 r | 1,2,3
5 B, S9 Z0 _( G" V* s; `8 K | 6.5 7 _0 r/ W! d7 h, f3 X
| 平行度 - W. R; S- F+ A: @6 ~
| 1,2
_8 Q _$ u6 L& h1 |% u# _/ y | N/A
( B$ I4 D1 H/ B4 \ { | OPT (1,2 only) 0 J1 m; y% j: ^1 }' v: }, I6 \
| 6.6
) J1 ?) o2 x# |- V | 空间泄漏
0 M( t6 O3 R9 q# {! q5 D# ~ | 1,2 1 @( k1 g5 M) l
| 1,2
- g. |) S6 S1 V3 w ]/ E | 1,2 & y: l4 q4 O. U1 m, B0 z5 d! _" p) w
| 6.7 5 L+ }4 w2 J+ K& F5 P. x
| 恢复率
% ?1 q- @0 b0 H, ?; D | N/A ( Y T8 h: i) u6 O* V# G. B& _
| 1,2
) I. Z' J) u/ p% D | 1,2 7 a# c" ?' a) _, F& g5 k: n
| 6.8 ' U4 ?7 | h, _, m" u( \ L
| 粒子沉降测试 " B6 Y0 O* S# ^: r
| 1,2,3
' s1 F( \$ z. Z6 j( k: H | 1,2,3
6 D6 ~, E9 A- t. u | 1,2,3 1 X# I& ]% c1 \& @( a5 a8 C4 {, O# y
| 6.9 8 P# X8 U ]9 x) W
| 照度
7 p4 F1 {- x. r; z8 H# ?* p | 1,OPT(2,3)
`0 e( D! |6 ]/ I/ {5 s | 1,OPT(2,3) ) Q$ _) p- s+ [3 H0 e# Z
| 1,OPT (2,3) 6 t% A" \) C, f6 b
| 6.10 7 h1 K4 v5 @) b" \: `
| 噪音 ( l6 C* ]5 c; u8 G* s! @( W$ K+ e9 S
| 1,2,3
: D2 p/ y1 S, |- h | 1,2,3 ( m: @2 t, X8 G! G
| 1,2,3
. s6 M6 S; w# k# n( n' b | 6.11-6.13 " \8 I X1 _$ U Q3 x p
| 温湿度
& O( X% l( v1 N/ `! Y8 e | 1,2,2 & u: t) @/ i$ I, s6 S
OPT 4 v% }$ ~3 v8 X) U5 E
| 1,2,3
$ z( w B/ ^; p6 f, U7 `OPT ( p N7 _/ F \7 W+ Y' e: r: g: a
| 1,2,3 % K6 n, C4 P" i! w' H0 O/ u
OPT
* e0 I) e$ r+ _! x/ ^5 ^1 O2 { | 6.14
3 _5 q; N' M! L- N | 振动
4 G! J( s( V2 c, K1 r+ o! H | OPT ; x8 A$ v# T/ ]7 B2 I* D6 h
| OPT ' O/ w. o3 T0 P0 B
| OPT
$ `8 |! `' \3 Q; I |
" U2 u' h1 p1 [/ O
测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序6 c* a2 J! M; k& d9 F
1: 测试适用于 As-built6 T+ Z) d8 i3 {3 s6 J- h
状态 3 N1 p# ?- R9 g
2: 测试适用于 At-rest: T* w/ _) V1 L; x- Z( A2 ]: `* F
状态
- A! T' r+ t L3 H' G6 Z% t' ^, @ 3: 测试适用于 Operational- J+ M6 i8 `7 G# V4 r. ?
状态
& a9 Q: x/ X4 U; }$ D9 T$ D. i N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
# _# Q N6 z4 y! h" U$ d- y OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定
) v R$ v+ ~8 C: Y% S* D由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
8 ^; _3 ?) C' G# K) e0 n9 O1 ~$ c/ b3 A至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。. U, J4 k/ I$ T' A
第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：
( m: l7 t' m$ y5 w: gA. 风速量测9 K% K1 n2 U6 Y
B. 风量量测& M- k& |0 k9 }( [% V4 S' C
C. 前两项的均匀度分析
' L- E1 w9 W5 x, Y) w" VD. 滤网泄漏测试
/ G4 y7 i, |! ]) S6 T- x' ]E. 洁净度测试
1 o9 l5 ~+ Q+ o) V# m6 H" |F. 压力量测, x; o+ Y! S0 N& N# F4 Q3 x" ^
第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
9 I6 ~) ^6 N# @2 A$ Z* X+ hA. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉3 A) u$ W+ X4 c1 K$ s
B. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
! r$ ~: a! z6 b: L+ w& ]# N) z+ LC. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉$ G5 v( u V5 B
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉8 @% o: }1 ]: k( y
第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
/ v9 {2 E' i& Y$ O5 m. j' CA. 照度与其均匀度! H; ]: y! A8 w" o( E' `
B. 噪音测试
! ^& s) D+ R Z; j* s6 ^* a) k! UC. 振动测试
# Z; B( \/ f3 ?; W# fD. 温湿度测试, G# \) w( a. ?7 ? N' L4 t1 v
5 C7 ?) u* y8 Q$ H
2 J! v' \ q; F, O |
|
