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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：/ y$ h8 J. {1 G( e; q
4 h v- l3 z2 M/ V" w6 }+ ^ qNEBB-----无尘室测试规范
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测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。7 c( {) H9 M }! Q# u
一、无尘室测试规范+ E; v& O' I w# r
有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。# f) ]2 F c7 i1 q
- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。$ M# x8 r( h1 t' O3 m( F) n
- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
# `8 U1 V& V# T! Z% {二、无尘室常用名词
7 X) |9 n* Q( A- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义
* w* W% I7 Y4 v无尘室的等级
. z% m, D7 y \) t( W" e使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：
1 v; a8 g% |6 w+ BClass X (at Y μm ) / I; c: ^8 v+ ]& k* r' m3 M
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：( L) b* b3 |8 D
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) / w" U1 w$ |7 N8 Y& A z$ T/ }. ~
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
- X/ H8 T5 j) c0 }/ |Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
6 }0 c6 R* U8 A+ |7 z9 ]在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。
9 e7 s7 T& K/ N# R5 V6 A第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
% B, A9 X* i; F) F8 T8 l9 qClass X (at Y μm )， At-rest 0 M3 q9 n) S; p, b1 X
供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。) c, c" Q8 M" ^
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：5 I' V0 f3 t, u3 V4 Z w, H; S
Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
V/ W$ {/ f6 _! F9 @* H" }2 ~: UClass 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
% o d0 g; V$ p1 P; _3 X这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。; I0 W5 A6 h6 N
以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
9 i$ ~& ?4 }. `" k5 L 9 _1 j! U7 A- ~' }0 Q0 }6 {# S
, k& o) s% z* j) }5 ?Class Name
2 s Z' x) ~; ^: G8 b4 N- v% ?2 x7 a1 ]5 j5 {2 l. W, O
1 v, |$ s5 K$ ]& [
" o* Z0 k! t* z( c | Class Limits ! v( A! p- n5 {0 [ d
| 0.1μm ; N5 w/ ^: ]. P2 C
| 0.2μm
' |2 _5 c0 l% L+ w- i | 0.3μm
: C R; P$ z# j: f6 m" U( d$ e: D& i | 0.5μm
! Z o$ U+ E3 ~7 R | 5μm
+ \" I9 U0 |! P4 m( ]8 U$ j) T | Volume Units 7 \' X/ U c( B/ L$ c* M( }1 T
| Volume Units- T' G, I9 Q o9 d6 b& W. I
| Volume Units - H* k6 ?( p7 U; k( r
| Volume Units 0 t: @# i( @& W; `, j
| Volume Units
! N; v2 e3 i* Q x/ z+ _ | SI ( |0 |) V) M5 k3 R( [ A0 C
| U.S. & u. {1 E) x7 K
| (m3)
) k( |2 R; F4 k; C, g; q+ r+ P& t | (ft3) : |' ?; F5 Z; p* Z3 J+ ~
| (m3) % U) f3 c1 x! z% Y
| (ft3) 5 O# t. _) S) g* D& V
| (m3)
) Q% Q2 {8 B7 Y9 \( `- ^5 @ | (ft3) $ j0 g, G0 |: y1 F
| (m3)
. |6 E7 V7 ]7 e/ e! N# f0 F4 q2 k | (ft3)
3 ] |2 m, f; b4 Q8 P | (m3)
6 b/ V% k# _' v& H O" Q% ]- C | (ft3) 0 Y# w1 {( d9 T3 ^$ z% l o2 B
| M 1
5 f$ w8 `& D+ c |
& v5 _% v" ]) A" ]. {% Y9 @
) b) p+ e* Y6 Z) j2 A1 v | 350 3 M* B b% W& }" o7 Z
| 9.91 4 b$ K! J4 \/ B/ {6 k2 a/ I
| 75.7
# G H; c3 g/ ?7 k4 s& U | 2.14
; O7 B& D, ]2 H8 r) W | 30.9 ( k! B5 g% v7 h9 i( a1 y& O9 ?
| 0.875
* G; M2 c9 }1 }' }( W, T4 D( W0 N | 10.0 , w4 o: f- W. h1 s
| 0.283
' V9 [" _7 H) b& c( d+ y- s | - * m' B2 z/ f7 i j
| -
4 m( `0 T/ a* r, A& u | M 1.5 0 `: x* O( B% }
| 1 7 m. x( s( T5 S
| 1,240
* U2 k4 [' B. T( { | 35.0
c) ~6 {3 t& ` | 265
$ Q8 G& d; G* q9 s0 o+ W | 7.50 , O/ `/ E+ E5 w" K$ Z4 }2 D$ t I+ j
| 106 . R% S) q, L+ c
| 3.00
, h$ T! x) V) H: B) }. r | 35.3
( x$ A5 q1 x# c, q | 1.00 2 ?7 h3 |1 S `
| -
1 }# m6 u3 r5 @+ E | -
# u; l. ]6 E3 l8 N, G | M 2
4 c U" z, A, J1 R |
! Y$ `4 X7 I# |" ]; l$ y$ X9 U9 }
5 G& s2 Z; _* |
| 3,500 * }0 o8 J- h- r
| 99.1
q) y2 X" }4 e" b3 @* S- @ | 757
6 r6 d R- w2 k( V# a | 21.4
- Q- K/ P& a6 e! u- W | 309
) v1 H3 m9 g. u# M. } | 8.75 5 P* r+ } Z* ]1 ^( n
| 100 9 ]& G8 t/ S, p- F/ P
| 2.83
3 i' n; A* a v) c% Z; z8 k; j' d# s% U | -
2 t( V- U2 C2 B+ v | - 5 u v' \+ W3 q$ p- K. c
| M 2.5
! [& A0 M4 B- { | 10
0 Z/ o7 Y1 C+ Q# O | 12,400 ( ~4 A" E( a' e8 E
| 350
7 D% Y2 g8 n8 l3 r) ?1 p | 2,650 9 G2 n( v9 W8 R. C
| 75.0 " o$ L, ]7 e# V; [. g
| 1,060 6 N4 X3 M9 b A9 M
| 30.0
% Z' x* w: P. f, l: n$ G2 k | 353
2 g Z0 h- }1 u: ~: q$ P | 10.0
& t; M# D1 t- m2 Q9 f | -
9 G/ R( l- [! J# r W, V | -
+ _+ y) N1 S% Q% B2 K( n | M 3 * ?4 k. E2 A* d! _8 r. q( L
| * [+ q! A4 N# c/ F+ B
. x$ d) g. v i" n8 Z' A( M
| 35,000
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| 7,570
; Y& r; G! E6 ]( q) i | 214 1 M6 V4 k U, ]$ p! U0 v1 Q( A
| 3,090 " _2 v, _. K s( X" Y0 C6 C' h5 m
| 87.5
6 C1 l) M8 F* k4 B | 1,000 8 d! l. T4 i6 K5 Z' y
| 28.3
, k3 r' w! g9 C9 l( S/ }$ T+ f | - 7 N2 o6 o' Z4 _7 c2 S8 W
| - $ L) p7 ?" F! T& n" [4 N
| M 3.5 + s) I$ _' N- I
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| -
% _9 Q, E5 N' A: P5 U7 y | - + K& K$ L8 Y' L) u
| 26,500 * i$ B$ d; H1 W" Z( `
| 750 + X/ v# W7 I) U! |' f3 m1 G$ N" d
| 10,600
0 P; b5 a$ F( y1 m4 ]5 l z/ J | 300 3 P* Z( K; m0 e3 l, m
| 3,530 - m$ s+ }. j8 E5 w, S n9 ]4 ^3 h6 `2 Z
| 100 $ D m; ~& T. I- \& Q- u6 y
| -
: K) H% J ~' m0 T | - $ \! Q# Z W7 `: H. i) y3 l
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! Y7 a0 M+ D, ?9 g& Z
| -
$ ~' c7 J" T& d) d5 i$ c2 r | -
' _) g" E% a$ e; X! M6 J6 k, T7 P | 75,700
" k& z0 a! l( F$ i$ \5 } | 2140
+ {( U+ L7 v& X# V# W | 30,900
9 \2 [$ X: r8 P/ X% x | 875 0 v2 y" ~" G+ O0 r0 Z
| 10,000 6 g6 y+ Y+ \" Z: [/ h8 h; o
| 283 2 x1 Q: u% B) M5 }, J0 m. i4 ^
| - 9 E% X# t# u' ~3 Z9 L5 [! ?
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| M 4.5
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& P+ ~+ D5 U7 Q0 v2 I$ w2 @) Y | -
6 ]( Z! |+ S& c6 z | 35,300
$ ?% b$ H: A+ H: r1 @. e, ?8 B | 1,000 + m# J' l; W& {% n, Z7 v
| 247 " k& S4 D e( i0 F3 K* R( F
| 7.00 ! b0 } }3 W/ f
| M 5 - O8 C; O- G; n x, v
| 1 k( f7 @: A4 M' \
F/ [2 |$ m5 T/ B0 @+ w% Z
| - / c1 P! e- ?. u) H' O5 k
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' F6 J# Q7 K& ^2 @6 P6 \" o: z | - 5 K- B3 s. o# h4 t
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+ ^2 Z" X0 R+ D | -
+ F5 C& [4 w" L | - 2 s% {5 n& f& R
| 100,000
6 t4 E( h# j' F3 z1 x# h8 J | 2,830 5 {$ a% h" v6 D
| 618
0 N$ i1 R* E$ v. F n, D0 a | 17.5
3 V$ V2 M* _9 v4 C8 O9 j | M 5.5
! i4 `9 ], p. i* ` | 10,000 $ ]5 E# S4 o# L( f2 P* X
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| - 0 O2 F5 I" ?: }& n$ p
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# M2 s+ b& n: u | - 7 T2 D. f0 {$ L8 F; z' [% }* y
| 353,000
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| 2,470 3 Q# T/ d7 d' o) S% m, |; z
| 70.0
! D+ R- Z# g/ \ | M 6
. l, _; F/ ]& O7 @4 w& i" w: u |
4 O! Y8 K1 U9 v9 F- J9 N3 i
6 X# x: {$ g5 X% `2 z
| -
- w% C7 `6 p; E7 C+ z2 b6 b, u; w | - ) C$ a' D) A$ G) W* e
| -
: @/ P5 S% l8 d( {/ t9 z5 M | - 0 R2 u4 B: S7 ~; N4 O9 U6 _2 I
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[& S$ ^8 r& E) V( B1 z" t/ ^6 ^ | -
" D; U2 h! ]+ S* L1 y+ ^8 A+ L; s3 i5 g | 1,000,000
% R2 h. e m+ N! f | 28,300
: _$ I/ ]9 g, E# T: y4 p5 j | 6,180 , r( O" ~ x2 x" i" Z7 ]' L4 |
| 175 5 v0 d' ~6 q' ?2 R& p
| M 6.5
3 n, t3 F6 d2 D' I$ w6 B8 C | 100,000
- O; ?. g- S9 K3 l+ L | - 7 a7 O+ |. A. S( j5 `# [$ n; t5 w
| - 1 N8 V0 S0 k3 v& G
| -
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6 t) B# z+ M; B+ b9 I; _ | 100,000 ; c' X# U+ v" t7 W) y; J
| 24,700
# e6 R/ r6 n, p | 700
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, g) R: d' j1 V3 P/ ^ | 2 ]; c6 ?# {* b
2 s" S- H" I: @0 r | - 6 y4 d: V; ]+ ^+ k; O8 K
| - ' I* a. v4 Z" v3 `) X4 \/ S- f( c7 ?
| -
) P3 T5 k! G s/ } ]4 Q3 B | - % H% Q# e# |; }! R5 z) l! c2 i0 I
| - 5 q$ o! b% n6 y( H0 c2 @$ t P W7 I
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7 v6 c3 Q! T* ~4 H" ?' }' A | 10,000,000
- ^- y0 l. T9 h. D | 283,000
- O, j7 d5 {' x5 w6 U) L4 J/ ] | 61,800
( [/ w: P$ c: u | 1,750 % p1 ]9 j% i: t5 p6 ?, d: f) K
|
7 Y8 J6 K( {: m4 I" v
& y. j$ Q, g8 j4 h
Fed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N) / {* `/ A& w2 S/ n8 {
| Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). 5 {3 z6 i4 O5 R# J" Q
| 0.1 mm : q# b: }: m- s" n& l$ H1 h7 @+ W
| 0.2 mm ' p( ~# x2 q& J
| 0.3 mm
/ w* E T& J) v { | 0.5 mm
/ D$ F0 r5 x& O! T6 e | 1 mm
! S1 g3 B- X' i& w | 5 mm
4 ?9 \! _. T- F* ?( g# x | ISO Class 1 8 M& K" e5 w- z; D1 o* @
| 10
0 u% p1 |7 O' y. b# J | 2 ( ^( v& v' `+ @' S8 |) ~% E
| U4 B% V3 i5 c$ } j E
|
6 e' Q" Z0 ^7 e1 V9 ^) A | 1 Y3 z i- u' y4 G/ o: d5 L. j
| # N& q: M3 J0 g4 z2 x; Y# x
| ISO Class 2
i' I5 Y6 Z3 I s4 F1 v( x | 100
* o7 @/ E2 A/ R' ` p/ X! \) [; r% X3 b; [ | 24 # q. d: p7 p3 j
| 10
0 m- a- ?8 x2 A | 4 + h7 b% D" }2 d/ f0 ^2 R( Z
| 6 `5 u7 X( V+ D" Z' `4 h$ m Y" u
| 4 M# d& o" o" ?" J+ V+ K& g o
| ISO Class 3
d, [* ^5 `! { | 1 000 ; g8 b% k/ ^/ W' t' A( O9 G
| 237
2 V* H* C+ V9 T& ]) X* @7 F/ [ | 102
/ v0 s$ r3 d; c) ?* F; t | 35 9 ^* W C( B6 m8 p5 e# |: ~
| 8
# O) b5 W2 }2 X4 g% R$ l7 i |
& [1 C/ o6 l* `. J0 g | ISO Class 4 + b# Y( k; y! g5 Q* I
| 10 000 5 L& \% S! ]- O
| 2 370 2 B- k/ J7 y$ t- v5 t
| 1 020 3 c& U" k7 z, c# K/ w+ |
| 352
1 A0 J% I3 C' S+ r0 ~ | 83 - P4 U. l7 C5 C: G8 A. Z/ M
|
! E0 O7 m( X" W: y$ s | ISO Class 5
2 O& Q* ~8 `" |# q | 100 000 # R* C; n/ E. c0 Q7 v
| 23 700 5 v, c9 Z& }3 l; {+ r
| 10 200 * Q% ?$ t* `5 \' ~! ^- X8 s& |/ N
| 3 520
; Q ?. ?3 d9 n+ ?/ n9 O | 832
) w( o7 X( T9 [# e: z& z | 29
; ` c, A# c( J6 A) Y( Z. s; J/ v | ISO Class 6
4 C+ k1 H0 T v( M9 ] | 1 000 000
b) x# \- `$ \0 t | 237 000 ; E0 \) F$ X1 A
| 102 000 . q- w- l) W {6 \' E
| 35 200
+ a2 w. W# M8 w, A' \ | 8 320
% W* k \3 b, l3 t: R% ] | 293
+ G, {. P1 @- Z | ISO Class 7
. }8 G, }: V9 e/ j6 D# s |
5 A; L- m1 n4 ?! l | 2 H0 n, E8 U% y+ _; h# w4 U% O& [5 @
| ) @$ |# ]- `! {) c
| 352 000 7 z/ k, Y5 X* v; R
| 83 200
6 v6 W1 N( T) w7 w$ P% M/ p! G | 2 930 $ E/ Z; Z1 N9 g
| ISO Class 8 j. E, i& i( }- ?: g5 `2 V
|
4 B! T+ U H! e5 n7 ^4 y |
2 U8 u! N2 i, ], t0 \ | ) l7 Q! ?; s0 A9 k4 r$ G! }
| 3 520 000
5 ~% S; k0 l5 d, c# x | 832 000 4 z5 K& ?' W! E4 l; {
| 29 300
0 W3 r: ], ]. i | ISO Class 9
: y' k. N6 q+ f: { M* U# R R4 k |
G2 F2 ?# r! K9 T, @5 y ~2 e+ B | 5 v( c5 E8 P2 z2 L3 L
| $ a6 b! o, i1 f0 M f/ @3 a: G
| 35 200 000
" B1 Y' D9 g" C4 G2 v | 8 320 000 0 ?0 f. R1 u/ }; n0 C9 C' l
| 293 000 3 t# N- J. }& L* G0 A& W
| NOTE$ z, e F" k$ E
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
# }2 @% z2 e% B. L" ^+ m) `9 ]0 W) w4 l
6 M: M- Z8 C" C3 L; Y- D( B0 AEquation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径4 f7 Y& c+ W' [& x A$ C* P
4 G1 Q7 B; g p8 e! m. P ^+ B, ^( i/ ]) K# {) w
|
" A1 s* @4 z7 K( w
' v$ ~: l% _2 u! n7 J* \" o/ x: S9 OISO-14644 洁净度定义 + G- e! ?% G: T# T2 f" g! S
. m8 Y! n7 l9 c( F' ^4 F m9 \) [6 ~, O1 i( U1 L: h" }; n
比较以上两表我们可看出
( m1 ?! L7 @0 i& c. O% q- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围 0 }# ]0 w8 ~# \0 {
凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。: v0 p: _! _* ?5 y* g$ D5 u. {& f
- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
+ G( H3 U9 i9 Q o! IIEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。' K5 }+ M7 p8 u, e) H( s
IEST-RP-CC006.2 Table 13 B& H# n- A) I7 b7 i
6 _ W1 r0 O3 A3 w; t) p4 M# s% s章节
1 p% o! H9 Z, @& A | 测试项目
' g1 u+ \9 n4 {! H" K | 单一流向型 ; b( A% N; B. x4 K8 x
| 非单一流向型
9 N/ p M/ X" n/ C# b& q; h | 混合型
5 r$ t( P: c1 z/ B | 6.1 ; D& k( U, X1 O& |" j
| 风量与均匀度
9 \2 I: c( Q4 \4 c7 y+ U8 ?$ V风速与均匀度 6 p5 S% j) R5 ^! v
| 1,2,3
; v4 L' Z& K/ B1 W j6 n1,2,3
$ i7 Y0 w/ j8 S3 T/ o0 l" W | 1,2,3
( v, H. w* O& \2 S8 w; r5 IOPT
3 i' o+ }5 L6 A6 E | 1,2,3 7 h V& K8 X3 i+ K
OPT
; p2 F! |, b9 \: R B. X | 6.2
) P. t/ q3 n! [, U4 I. l3 W6 R | 滤网泄漏
x+ Q: }# _5 U, p/ ? | 1,2
, B/ z+ E# X9 l& ?8 {- ^, M | 1,2
5 T; J* V$ ^& [0 O: B | 1,2 7 i7 O2 F% Q1 v1 B* S
| 6.3
( h9 j2 b3 f4 l7 I' e1 J | 洁净度
; s/ k# j4 x( ^; v | 1,2,3
7 {' ]( b5 @2 G | 1,2,3 4 V. F2 L R: L5 f
| 1,2,3
2 z; S- p, g9 q4 g! M | 6.4
. w2 N5 V: @% q7 ~9 X | 压力
5 |" E0 q' X, d$ I1 H | 1,2 + ^$ @; S8 C+ O2 ?" X. _8 S# B
| 1,2,3 + d/ y- L( U& z2 T: \9 L* b2 t
| 1,2,3 5 H9 `8 R& \0 q8 b" n. i! g
| 6.5
$ r5 L7 C. y; x' w8 j i, Y | 平行度
; e0 B; S/ ^7 A9 z% u w/ J, z. i | 1,2
8 L* A. H( V8 B l | N/A
$ l: V6 P) I- x# n- h7 G7 T, b | OPT (1,2 only) ' j) U; U5 Y- |' H4 }) ?
| 6.6
; s9 S- J1 M; T! L7 x+ E6 } | 空间泄漏 ) h& x% X- a; L9 `
| 1,2 & {' d7 t2 X* [: e. V6 o
| 1,2 # g5 A- t# K# i4 ?3 t
| 1,2
, S' d" i) J$ Q# t$ B: n | 6.7
* @& ]9 f# L" P) {$ Y | 恢复率 ) T e8 ~( a: ^& n" L# V, h% t' l
| N/A
! ~( R! Z- _+ e4 o' I | 1,2 . S' J: t* e2 Z# ]9 N( z' h; q) |
| 1,2 3 D. J1 G I% A
| 6.8 6 D+ M$ N! q8 r& _* ?- w* j) Q
| 粒子沉降测试 % x f9 R2 N# O9 q/ |
| 1,2,3 + I, ^" a7 g1 g% b/ w# T
| 1,2,3
& E: R; L. ^, d+ T& ?6 u | 1,2,3
" d3 I% m5 }3 S9 h; [( q1 g | 6.9 ( k( J, \: ~* H- N0 C
| 照度
9 K' y8 C+ g1 \: S- t9 ?; { | 1,OPT(2,3)
5 X8 T7 J1 Z* }- W( N+ _3 Y& t | 1,OPT(2,3) & x) ^9 H, \4 G5 }4 N1 p3 a3 W4 d
| 1,OPT (2,3) 6 V. w- {8 E4 K7 c9 O
| 6.10 ' A% t6 t9 a/ N I1 o8 e x
| 噪音 # R9 b! b$ S. D& Q% f! C O% T. i
| 1,2,3
) n y/ q% g5 P) u8 h) l% G | 1,2,3
2 j$ V- ~5 f+ m8 n9 [: q" \. g$ D | 1,2,3 1 W; j; N" p+ b/ S) E
| 6.11-6.13
( S, D9 S5 [! d4 E* i, }& v8 a- V | 温湿度
$ J: V/ m6 N& s' w | 1,2,2 ) Y+ i) M! W" X' @' G+ r1 m
OPT . J" v4 ?# P6 ^; u- f9 D
| 1,2,3
# t+ V+ R& b Q/ [; rOPT " o D, W1 i! c6 ~. z
| 1,2,3 ' z$ G" ?5 k% r, n( W7 j6 ~/ `
OPT % ~# h% P3 b" o" z+ j
| 6.14 / x4 z- g7 K5 m) X) S' d" T
| 振动 - m) x6 S# J t# [# l4 N6 c& B
| OPT 0 K n8 t d2 Y
| OPT - t1 Y e5 \: Q$ H; _. q
| OPT
, ~( h+ a, `: Z2 e7 V0 B" P |
5 e6 x$ O$ f: }
测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
# _: k# @$ d) W 1: 测试适用于 As-built K2 ^1 v0 W3 ?% T1 l, `) S
状态 # x& S9 T3 h% M: n
2: 测试适用于 At-rest
# N6 l0 F' j+ U s2 z, Q- Q" d& T7 m状态: U# c; r* q( T; [. c8 d" F2 F
3: 测试适用于 Operational! z* [. B. Q A% s( t, {1 f
状态 ) ]# i* P, q* O
N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
. S/ X2 x* V5 n+ H OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定
# Y2 F% [: U, e6 s由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
! I0 q* G9 T! e/ r* t! E# l/ C5 @至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。
4 g9 i4 f; C' A$ o3 ?3 U8 ?0 L7 S第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：3 K- s k! n) ^; M( X7 }6 O
A. 风速量测
# [0 w) T0 X9 y1 wB. 风量量测* `1 ]5 T! h; M3 B
C. 前两项的均匀度分析
/ r2 F3 b! p3 VD. 滤网泄漏测试
% W. T6 T. C2 J8 U8 k) qE. 洁净度测试
; G8 P" s. y1 l# Y. wF. 压力量测& d3 ~8 {3 J; p% [; \( Z
第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。7 A4 {* d+ _8 ]; |% v: x7 F
A. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉" C" b; [5 }1 ]) y
B. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉, _" Z9 M |0 m+ d! v
C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉- b( m* Y& T( f3 ^0 ]2 I
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉7 a$ N6 `8 u5 Y, O& y1 b
第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
) s' z( k1 R/ c ^! a! OA. 照度与其均匀度
8 q9 z* x( Y' S1 RB. 噪音测试
6 @/ O5 v$ D* c* xC. 振动测试
$ p: H8 A; v r. M* aD. 温湿度测试9 ^4 S4 I( \. ?; E4 c! B7 r" q; D
/ ~' b" z6 X: K* e' |
; s% e* ~8 Z+ F! ?6 u( V f |
|
