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为了介绍太阳能电池的製造技术,我们先由最简单的流程,即单晶硅太阳电池的製造技术谈起。製程部奏则如以下所示: 1、拉晶:主要的原料为二氧化硅,利用晶种在拉晶炉中成长出一单晶硅碇。 7 w6 E* ^' I, O# v4 Q! T
2、修角:一般微电子產业所用的晶圆(wafer),是直接把单晶硅碇切片而成,但对於太阳电池而言,通常必须把许多晶片串联成一方形阵,为了阵列排列的更紧密,大部分都先将单晶硅碇修角成四方形。 5 t5 v: j E. j" M$ Q+ Q8 W
3、切片:用切片机将单晶硅碇切成厚度约0.5毫米的晶圆。 & N4 D, C% K, Q4 r* B
4、蚀刻及拋光:蚀刻的目的是去除在切片过程中所造成的应力层。拋光的目的是要降低微粒(particle)附著在晶圆上的可能性。
2 i: `2 P" `4 R! N5 W5、清洗:用去离子水(DI water)把晶圆表面的杂质污染物去除。
* k. F" z' t. u# W1 ~6、扩散:一般太阳电池均採用p型的基板,利用高温热扩散的处理,使p型的基板上形成一层薄薄的n型半导体。
/ k' l( S% j8 u7 M2 W! M, ]8 H, d7、网印或蒸镀:将製作完成的晶圆,用银胶印刷或是用蒸镀的方法,在晶圆的表面接出导电电极,如此即可完成一个简单的太阳电池。
; k7 `6 z _2 q 而要如何製造才能提昇太阳电池的转换效率,一直是学术界努力的目标。主要的做法可从下列几 个方向著手: |
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