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《真空》杂志2002年12月第六期
% s: t) c; r3 r文章编号：1002-0322（2000）06-0043-04
- ]/ r8 K+ c8 j2 D3 M9 r3 T. z( C题目：冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养4 g6 ^+ R, \( {' b; }# R
李小宁（华越微电子有限公司，浙江 绍兴 312016）
* Z% N, m# [0 b( P; m* C+ u7 {摘要：本文分析了冷凝泵的内部构造、工作原理，详细叙述了工作时的相位关系。使读者对其有一个全新的认识。. `2 O5 `- [, {' d$ p
关键词：冷凝泵；原理；维护+ i! k& C$ w5 R3 k
中图分类：TB752+.53；TB655 文献标识码：B |
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发表于 2008-6-6 02:46:01
