真空常用的名词术语

新洁电子

1、真空的定义
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　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
* N' Y7 U4 \% W4 ]) @, q7 Z% F
! f- t# u8 x. [# e　　2、真空度

8 k% L) n. Z; f1 P! }- O　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

; b9 W" |% z" o! x5 m5 G$ B　　3、真空度单位

) Z* t/ @$ C/ Q7 [- S9 u　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
$ }$ a% T& k8 a. U6 C* D1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

5 m, L0 [5 Q6 x: ^) H5 h　　4、托与帕的转换
* V) n* }& x. u0 x
　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托
3 J# |5 M; `7 n& d3 b+ P
　　5、平均自由程

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

　　6、流量

　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
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: e, Y. g5 K" V! J- ]7 ~　　7、流导
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　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
4 q4 Y" Y& B0 x- i; @U＝Q/(P2- P1)

　　8、压力或压强
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气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

　　9、标准大气压
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& ?" D6 E# ~+ U2 g/ A0 S# F　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

& l( i; h8 m( J　　10、极限真空
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　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

　　11、抽气速率

) V9 v; [: s: M0 Q　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
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　　12、热偶真空计
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5 S5 a9 y. u; B9 r　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
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7 }" y! W% K6 B! N　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）
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　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

　　14、复合真空计

) {" D  _- V4 C  B! ~1 q　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
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2 c6 z* d+ L6 T2 q' M2 V* V　　15、冷阴极电离计

　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。