真空常用的名词术语

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1、真空的定义
　
3 }) u1 n7 r5 D  ~8 A　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

4 W8 |+ t$ q8 d/ m5 z6 F　　2、真空度
3 e' b; h/ a8 X! L( U# a# h' l
5 H* A2 Q1 u, y8 t2 B8 b" O/ V　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

　　3、真空度单位

1 F1 V: ^+ Z7 ~7 l2 b3 @　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱
- A/ [5 G$ i" Y' q: Q, q* H
: ~- _' ^+ d$ q3 @　　4、托与帕的转换

' n9 {  O* j2 J! J( M+ G　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托
9 O  {4 o# Z6 e2 f4 s8 F
　　5、平均自由程

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

& L$ L& P  o7 p- d9 c6 N2 M/ [　　6、流量
  A5 I( p' `1 g; x9 }
/ @9 Z" }# S" a7 O! a) {- j　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
/ q, a( a- A" O/ R  D: ]* \/ I
　　7、流导

　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
. m7 V" M* S3 I, I" Z  ~U＝Q/(P2- P1)
& E  f0 x" v6 i3 b# C: \5 o0 y
2 M9 Z; `4 M+ f; r! _: X　　8、压力或压强

气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

　　9、标准大气压
/ P+ ?% s% V- J. m# J/ \( H  }
　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
$ _4 c& a. o) u" }0 S/ N
8 O8 y* f6 }) L% h: \1 ]) n) L' B　　10、极限真空
# l% W1 a5 y  c) C& N* L( H
  `1 p- K  I* y* h* S　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

　　11、抽气速率

　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

　　12、热偶真空计

6 H* \$ d0 u: P; u$ q# s　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
" I( ]$ e: p: ]7 R; F
　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）
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0 r; \' O, {2 y# _% _" {　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

; W. o) k5 x, {! O# k. r　　14、复合真空计

　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。

　　15、冷阴极电离计

% m% I% B3 A3 C) }　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。