干式泵常识

清风明月

干式泵常识
8 k: D, d* f$ ?! s2 SQ：什么是涡旋干式真空泵？
* n" C9 D: K: z% |$ B7 ^A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。
, a2 \) B; c6 J1 ]+ S& E  @
Q：涡旋干式真空泵的特点？
A：◇无油、无污染
% H0 _4 W4 _' Q8 E6 c9 v' w& {     ◇低噪音、低振动
     ◇使用寿命长
9 A$ [3 z! S' |5 B3 [# ]$ ]3 `- q     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
% @* Z0 t+ @8 N1 U6 W
Q：涡旋干式真空泵的主要用途？
* c$ C1 o# w* ?A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
     ◇用于液晶注入系统；
$ d; s0 k3 Y. h0 B% z8 ^     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
     ◇冷泵前级；
5 `( c8 p: s0 T# I6 k# S     ◇用于科学和化学分析仪器；
     ◇真空发生器；
     ◇电子显微镜前级泵。
9 `: A1 m- c7 G# I+ A* Y
Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
A：

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 3 Y  I' A, t( p# h; J5 i- n7 f0 ~50/60Hz(±2Hz) ≥10A + t3 ~1 _4 B$ d 单相100/200V(±10%) & X$ R. O. |, O. O8 ?" b; Z! w50/60Hz(±2Hz) ≥10A " j1 n; h1 B/ N' a. l+ K# [ 三相220V(±10%) % ?$ r' _0 Q1 o8 |) ?50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz） 1430 rpm（50 Hz） 5 L& t: q) V0 m, [! F1710 rpm（60 Hz） % L8 W, L, E) I9 h) k% T
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

- C' H2 Z: ^) P$ g: eQ：涡旋干式真空泵使用注意事项？
* ]% A8 z: l) A' A* yA：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
$ ^2 q! u% _7 c5 B   ◇检查确定此真空泵安全接地。
   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
0 ]7 ^* G; q. t& }) X8 _( ~3 B   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
  g5 f: l6 W5 b) G# G   ◇必须安装电机保护开关。
DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
5 z/ A4 N9 U" D! x& R   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口处装真空阀。
8 g7 V3 c' b; T0 C真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
2 {* t! j" Z* V6 M$ k4 @4 N
Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
& Z2 f3 r' s! u1 T+ V   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
  f0 }1 R+ i( L6 }2 o2 k/ ~   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
0 ?9 d. N8 i! H4 g5 b" o   ◇加滤网
, B" t7 \; H2 \: E+ J使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
   ◇定期检查
7 u/ x& L, e9 x: t为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
3 ~5 V' B2 z+ s& w   ◇供气
3 q6 H2 _6 ]7 T, h4 L& \/ C2 e要保证加适量的气体使泵高效率工作。

9 x9 u& C% W- f- F2 V9 M% F2 iQ：涡旋干式真空泵安装地点要求？
7 Z& d0 ~2 E  z! O$ K8 G6 vA：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
% f0 x( q! u2 {; L* p7 V3 ?   ①平面放置
   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
; S1 g+ R$ X  _/ G) Z3 k   ④通风良好
. s: E. C5 ^' N. I   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
( J. s. {! I) I- ?3 x6 e+ q8 ]   ⑥防潮
   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
( `7 @$ P. f( ^/ D/ ?A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
1 W2 S; e4 A& C8 d   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
- C6 f3 t9 k. U0 n" G& {
- Y, K8 `6 `/ W2 P0 f' ZQ：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
1 V) m& j) W" T  f   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。

# |5 N- i) N1 R1 Z' AQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
( Q, L; [) [+ n   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
  A) d  s; p$ j( \: s+ M' z  K以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
" h, y  s6 G% ?9 A: L   ◇在进气口装进气阀
$ A+ L4 }3 }0 p真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

Q：涡旋干式真空泵联结方式？
6 \! R' J. e3 c. f- m9 m# JA：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
% v! @, D: O2 H1 ^# `% |   ②真空管道一定不能有泄漏处。
, G( M+ \4 Q& @   ③检查确定管道无排气压力。
   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。

+ X( P0 t9 T7 x2 X" l  l7 t# RQ：涡旋干式真空泵操作注意事项？
: a4 E  ]6 d, p) j0 iA：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
# w: U* N* }% r4 X' \  z   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
2 v, y- Q, ]; E1 ?$ W
/ \# G4 F% Y8 E+ D( a! {Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
& R( W! B+ K) q) @   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。
( Z! R1 k( W. v3 e! _
/ ~8 R8 |. Q8 l5 }- n. }/ U, e( g# o6 aQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。
% v. z3 d# J% w7 I
! H6 X+ r6 e. A9 j/ h0 B) R- E  Q: ~Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
5 [. |/ p" _( [- U3 Y4 TA：①加气镇阀时，一定要加滤网。
   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
% G( V# @- e! h/ C. g0 Y9 U   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
; @! c3 `: V9 P& j/ n) B- c6 [
Q：涡旋干式真空泵关机注意事项？
A：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
0 B6 s4 W8 l9 S% I1 F) }* yA：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

% y4 j/ P" u4 n% X% gQ：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：

部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

6 h* j+ j" P8 r2 H6 S9 h
Q：涡旋干式真空泵故障排除？
A：
* S' U* Y1 I. c, x

故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理