干式泵常识

清风明月

干式泵常识
$ i! [' o2 F1 x* D! [3 A: R  W7 {Q：什么是涡旋干式真空泵？
% c; t& M, n* B2 b7 qA：不用油类或者液体密封的变容真空泵。
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Q：涡旋干式真空泵的特点？
! ^( a. [* M' ]( I! |5 m6 w% c/ dA：◇无油、无污染
  r; O' V- g! `! P5 ]     ◇低噪音、低振动
     ◇使用寿命长
& |9 h2 \3 C1 }2 u5 u2 Z" e     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
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5 p0 P; N, l' q5 D9 CQ：涡旋干式真空泵的主要用途？
A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
" P" [* ], g4 G     ◇用于液晶注入系统；
3 G  D" Z( j9 u3 ~8 ^6 t% j* R     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
( \4 a( K+ t, _& O; C     ◇冷泵前级；
* N# R/ C6 s9 s' r  ?6 A* P* V/ R, |) d     ◇用于科学和化学分析仪器；
     ◇真空发生器；
6 a& c9 w) Q, k# R  ^, ?( W     ◇电子显微镜前级泵。

Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
A：

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 9 s: [, P) f; ]4 ^: ^/ G- T6 |1 A50/60Hz(±2Hz) ≥10A 单相100/200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A 三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A ( X8 o2 I* z( I7 T7 Q; ~6 t
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz） 1430 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz） - s; R0 a# g& J6 L5 M4 V
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
7 Z; L9 S9 S" ^5 u% q   ◇检查确定此真空泵安全接地。
0 u3 j$ f! p. N% X* B7 C   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
' y6 b4 K# ?2 A% ]   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
   ◇必须安装电机保护开关。
* r1 j4 D; ], UDVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
6 g3 c; |& G! @! ?" a2 n+ m   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
% M) N) o: }! V; Y# K# P- D% k# p$ c如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口处装真空阀。
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
3 R7 ~: b- ], s1 D) \   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
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Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
) J7 R6 T; V" a' `3 o' z* n+ A   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
5 n; P/ Y6 x  z& m, H" l5 Y   ◇加滤网
) |; }: o7 K/ N5 I3 p' |' j- ?使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
; n7 @" ^( ^1 J   ◇定期检查
* x, q, n% v6 s为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
   ◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。
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Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？
# H- P. y. p( J# M+ ^A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
   ①平面放置
' i6 ]9 c! t: g6 n+ T   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
, X- O& n  c0 ?# Z3 F   ④通风良好
' C5 G! ^  e& L& h( G6 _   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
   ⑥防潮
   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
7 K* o9 p% b2 V4 g; G   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
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0 d5 O1 J" h8 |* F9 w( E; C7 n% _/ jQ：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。

( X  l& {+ |! o, \8 c0 qQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
/ Z+ ^. A' x+ n( r' }   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
+ {6 G3 {3 q  ~: M: b+ O: h4 e以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
* [3 a: A( |) ^( a0 L   ◇在进气口装进气阀
' ^' l: {' {6 k: y2 D4 r真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
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! s( v+ d6 J* OQ：涡旋干式真空泵联结方式？
A：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
7 {8 g8 ]( _: _5 c/ X3 W   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。

Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
. g3 Q% m. ?5 o, w  Y6 ~) |A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
# W+ c6 r7 c$ j6 R7 t' |+ s4 D   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。
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  U2 U+ F. F7 l1 a+ ]# ^Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
& ?/ v5 G5 J0 O8 ?* @  [A：①加气镇阀时，一定要加滤网。
- z( p2 C4 D  W/ M, Y   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
/ v4 y% U$ d5 x   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
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Q：涡旋干式真空泵关机注意事项？
' \7 G! |2 G& z) H  m! b1 B4 `* DA：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。
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Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

Q：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：

部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

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Q：涡旋干式真空泵故障排除？
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故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理