|
|
发表于 2008-1-5 23:49:56
|
显示全部楼层
来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
6 m O; S+ K& s9 y
% [: I4 F3 K9 Y/ B8 R; T内容简介4 V- P8 q% F; }' X' S3 a
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。 w5 T* q* {) G* |, [' G+ W
本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。 + L! ~2 o% ^6 l$ U5 |* s* G$ T
) c6 ?: V' F( Q. [+ ^$ p5 T7 U
本书目录
" N; t' _- U- \' L3 M7 D第1章 概 述
6 T" z- u% K8 u+ u% n1.1 材料处理
) Z$ S/ \ U7 d, w1.2 等离子体和鞘层 8 e( j3 s( ~) ~. m! g
1.3 放 电
6 G. t$ R2 Q/ f1.4 符号和单位
. o ?' k" M! q( A! O3 e第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质
7 E! v8 n2 R4 }2 F8 Q* { \7 ]2.1 引 言 - f5 i7 G! t( C( d% H
2.2 场方程、电流和电压6 i; v. i, ^9 D! z) L8 f& O& x
2.3 守恒方程
]3 N' }7 }/ p2.4 平衡态性质
4 m. ?2 x9 Y+ |' k4 O. z& G习 题
7 Q+ s1 S! f3 R% s第3章 原子碰撞
- V* @" i, x) J B0 N4 `3.1 基本概念$ v5 w5 C2 p" x- [
3.2 碰撞动力学 7 |8 l p3 S9 G* k% e
3.3 弹性散射 " A4 ]/ o c7 w7 W6 G$ j
3.4 非弹性碰撞
- m; S) j5 i: q$ K3.5 求分布函数下的平均值和表面效应
. c: a3 z+ s9 G/ x习 题 6 b! J4 F% w5 ]3 S8 \
第4章 等离子体动力学 : d8 r: i* f- l$ o9 |
4.1 基本运动$ v% V h2 a. I) I7 Q
4.2 非磁化等离子体动力学
! b% v; \3 o9 C; e; s4.3 导向中心运动
+ A6 q1 |$ i2 u! D4.4 磁化等离子体动力学
. A! Q7 \: A3 f) ~0 L4.5 磁化等离子体中的波 $ K* e& t4 `) n
4.6 波诊断
5 n9 U* }" d/ r8 z9 {习 题
' ?5 F+ E- E, B7 ^8 D* z第5章 扩散和输运 9 p5 V' z! z# ] [4 g- ]* C
5.1 基本关系式
3 E9 r7 t& s* ^5 r5.2 扩散方程的解
7 _5 i3 [. z5 O' t( o: |! ?8 S) ~+ \5.3 低气压解 4 Y) o$ H1 u @; R
5.4 在磁场中的扩散过程6 s7 t2 N8 f; S/ k% p7 F
5.5 磁多极约束
& s9 E7 a4 [4 q习 题
9 O- O$ X' m* {0 \: Q, n$ m第6章 直流鞘层
, n: O5 c! h" k8 X" o: V+ B6.1 基本概念和方程 / d% v; j6 j0 y7 \
6.2 玻姆鞘层判据
- S9 o6 L) |. q, L6.3 高电压鞘层 & i( c6 e+ A4 j' d6 c/ A: t7 O: v
6.4 鞘层形成的广义判据 : R2 l0 n6 y3 x. Q) O. O
6.5 高电压碰撞鞘层
$ v7 l2 c* ]9 `$ t$ H5 |6.6 静电探针诊断8 F5 j' V* L8 P4 E5 s$ X
习 题
8 M! S6 r+ u, W9 g4 I2 H9 n' F8 e9 I* [第7章 化学反应和平衡
' z) }, L, A4 V/ ~3 L7.1 引 言 ( K- W8 B9 D" y6 a H
7.2 能量和焓 $ \" J) o/ K( g( n! b0 r
7.3 熵和吉布斯自由能
) ?4 e: t( j3 I% s7.4 化学平衡 ' Y0 I x! K3 U% s
7.5 异相平衡
; ]8 M6 g1 [5 r0 g- I% Q习 题 7 m. z6 K, e v
第8章 分子碰撞 6 o ?' ]( ^' Q/ F0 d- }9 l
8.1 引 言 3 c- Z) O$ I( T
8.2 分子结构 " O2 ` W# j! H. o# H h
8.3 电子-分子碰撞反应
- l) T S* g% l: d L8 y9 G& H, I8.4 重粒子间的碰撞/ R' l; L( s* S, ]
8.5 反应速率和细致平衡
( u# v9 T7 B# r/ b0 R) y! h8.6 发射光谱法和光化线强度测定 * C& M2 i3 ~! n0 _2 a
习 题
" h; j1 @' ~$ Q' R0 {9 M9 c- b第9章 化学动力学与表面过程: O; i$ x' V& r7 W" u
9.1 基元反应
6 s, l- d) S: \. M# {( K; L; d9.2 气相动力学
7 X% Z" Q" D, H/ X2 {9.3 表面过程 + G0 ]: J+ [4 r% o
9.4 表面动力学
' S" l( p$ L/ ~4 H1 T! q# x* Q习 题
% {! V4 w9 {1 F& i0 ^* g! c第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
& a% b' N1 { {* L& j10.1 引 言
7 n( R5 R. E! J( V2 X$ J10.2 电正性等离子体平衡态分析
6 P, h4 x1 o2 Z4 g$ r( _5 Q) T1 B5 E10.3 电负性等离子体平衡态分析 7 J$ Y3 P. u0 q
10.4 电负性等离子体的近似平衡分析 E6 z" E* [( ^6 W( M3 b' `
10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟 8 B. ], p, u- {0 Q6 M9 i3 z
10.6 脉冲放电 0 C# D% I! ~8 U7 r: ^
习 题
2 ?) U3 n" v7 C! j1 w* G! {2 K第11章 容性放电
, ~$ n5 N' o. A$ a& \( i: B. w4 B11.1 均匀放电模型
0 u8 m% { I% m& x; z11.2 非均匀放电模型
. i5 F# E ^% b' x! A& ~" v2 f3 d! `11.3 实验与数值模拟
) o( F4 k/ d! ]9 Q! T4 ~$ d11.4 非对称放电
8 z+ G7 ?7 d1 N4 }; h8 v11.5 低频时的射频鞘层" T6 c7 t) i- ~6 A
11.6 电极处的离子轰击能量
2 k% ~0 x- F! K' M7 u11.7 磁增强的气体放电
4 }9 X# B2 h x' V! {11.8 匹配网络和功率测量 2 P! ~9 b' O- ]
习 题
' f- ~3 ~: ^. w ]% M: M第12章 感性放电
0 b6 i8 ?6 Y% R N5 w12.1 高密度、低气压等离子体 - j5 W' u- U6 X$ m" m
12.2 其他工作状态
# t9 U5 p3 Z9 h9 s0 w+ X; w! z; @12.3 盘香形线圈等离子体源
" X3 B% b9 j$ j0 v9 n" z4 K9 G+ m& @3 A12.4 螺旋共振器放电
" u e) b% l$ q' I习 题
& i% l! e) A% \ j2 N第13章 波加热的气体放电 ( U2 D6 [( y) p4 l- k
13.1 电子回旋共振等离子体" r1 X7 t( u) j( i' L
13.2 螺旋波放电 % |2 h! a9 L+ ~6 t8 x- C
13.3 表面波放电 ! }* G' }3 c/ A; g+ O& @
习 题 # P$ L% ^6 G$ l( w6 s$ B2 O+ ^( I
第14章 直流放电 + _; u) j$ H2 U% M. j$ k+ M" H
14.1 辉光放电的定性描述
" V3 D0 ]' n, W1 o. S% D3 U14.2 正柱区分析
3 ^0 A+ m% i; k- D2 j+ K! K14.3 阴极鞘层分析4 S0 S- Q( P1 Z
14.4 中空阴极管放电
# [- H( w n I( I, M1 ^14.5 平面磁控放电6 v2 ~7 k; P1 I" F
14.6 电离物理气相沉积
( B' I+ o* o W+ R a `) u习 题 . u/ Y0 B, s4 N3 }1 d
第15章 刻 蚀
- ~! |( c' O7 {15.1 刻蚀的要求和工艺过程, u, W- p5 [5 ?. U6 z8 A
15.2 刻蚀反应动力学
. X& y v7 o) R! D15.3 用卤素原子刻蚀硅0 c1 L" E M) {- x
15.4 其他刻蚀系统 - M' r7 Y5 h9 ]. v' c/ K7 v1 U4 E
15.5 衬底上的电荷积累! g1 S2 @: e4 _" z/ S( d8 G S$ S
习 题
0 M- d4 ]3 \3 w第16章 沉积与注入5 c0 V4 F& h5 W0 E- \4 W
16.1 引 言
+ r+ B+ [% g, O1 ~( u16.2 等离子体增强化学气相沉积
1 d+ X& D4 t( x0 X- A9 j16.3 溅射沉积
2 }; ^* P. e# `4 R4 x. r6 v# t16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
0 J: p6 G T2 h( s( `! m习 题 8 \ Y* j" e" L5 Q! n! ~- S
第17章 尘埃等离子体
/ U$ X, B* O1 K( R- O+ n# G- w17.1 物理现象的定性描述1 A4 `, B$ ~' l7 J2 X
17.2 颗粒充电和放电平衡) p' a k6 i3 `6 v6 O& G6 D
17.3 颗粒平衡 9 e" S7 z" `9 \7 H
17.4 尘埃颗粒的形成和生长
; c/ d9 d) m& A- u4 O17.5 物理现象及其诊断
* ?4 R3 l/ H. v& C17.6 颗粒的清除或产生
a( X f0 h* j, u习 题
) I$ q& A5 E) q3 g9 r第18章 气体放电的动理论
2 p; D6 t; y$ m& K& j6 q0 ~# n18.1 基本概念 6 B5 V) A" w; i& E7 G. I x
18.2 局域动理论 2 J7 F- Y& i3 X, Y- q3 A+ y
18.3 非局域动理论
! k7 z" l' I$ k! D18.4 准线性扩散和随机加热
* i' p% j0 j/ @! O$ n2 h# r; c18.5 在趋肤层中的能量扩散8 o* x% [6 }( a2 f, C1 T
18.6 放电的动理论模型
$ x0 D+ b" M3 x( M6 C) ?, i习 题 2 {. c$ z0 o- b! M; }! V0 e6 x! g
附录A碰撞动力学 " O$ U) n# Y- B8 j& r- F* S1 `
A.1 库仑碰撞截面& u2 h! Q% Y( F5 t$ e9 W7 E/ C+ `
附录B碰撞积分 ! q+ {/ G9 Z! D4 n. r( q D& J
B.1 玻尔兹曼碰撞积分$ g! B1 l5 P1 b' @1 w) {* w
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布
' D s R2 K# ^6 d& K t! B) y附录C变迁移率模型中的扩散方程的解
8 e5 s$ x$ V8 R/ P参考文献 |
|
