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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理) ~6 O, O& H' R
) U. A" e* I& c1 u; h2 ?' \) n
内容简介) F4 e$ @. P: w& G
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
. x1 u+ E' d5 S 本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。
2 P4 Y5 }7 V" m- ^( q$ O, o' ~' A4 F' n
本书目录
6 w$ C& u; o6 m9 W第1章 概 述
2 _: {- q- z7 U# P O4 q! O1.1 材料处理 9 E k. u( Z4 }* S, s8 ]
1.2 等离子体和鞘层 : I0 q$ R4 Y) E9 z0 y( R
1.3 放 电 ) f& C' a, t0 ^- T1 Y
1.4 符号和单位1 z6 K$ }: {6 m; C
第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 ' V! v4 g. p" [1 t' ~
2.1 引 言 , N( J: w, n2 d/ }5 n. L' S8 O* n
2.2 场方程、电流和电压 f8 ~# ?: g7 J# m8 d7 g# Z
2.3 守恒方程
* Z8 E& {( X/ x; ~2.4 平衡态性质
N. U5 M: }" O2 L* A& Z习 题
4 e: S( H! Q; w* Q' }第3章 原子碰撞
4 } v' m7 s* I2 E3.1 基本概念8 N7 l( I' F4 f4 B( B$ S! U
3.2 碰撞动力学 & u0 Q6 v" d; _/ ^% D7 g: ~- Y
3.3 弹性散射
7 {$ s' _8 Z1 q3.4 非弹性碰撞
4 K! t Z2 o9 o. O/ t, j3.5 求分布函数下的平均值和表面效应
4 {! c% O0 V8 e习 题 ! r; O0 H, S: `0 A8 ~
第4章 等离子体动力学
% ^9 G' J' n5 C% d4.1 基本运动
l+ U/ Z5 z4 ~& `4.2 非磁化等离子体动力学
3 d0 Z2 N. V9 d$ f1 f4.3 导向中心运动 , {0 w4 w t* d# T
4.4 磁化等离子体动力学
+ D& R- l O6 Q! N4.5 磁化等离子体中的波
1 s8 d$ R9 [. Z, d, P- p8 M4.6 波诊断
! }% O8 x0 o. i, h6 P( N- r习 题
8 w4 `! C1 s% ?. s. E( T第5章 扩散和输运
6 m: Y8 S5 Y, j5.1 基本关系式
X8 `6 M5 U' I; j# i U5.2 扩散方程的解! h" g. C) m) d2 L3 `
5.3 低气压解 5 e: d& l& B0 a& ?5 i
5.4 在磁场中的扩散过程) R7 k+ ~$ l; o2 V6 h4 g
5.5 磁多极约束, t/ M7 I8 r0 ^! C* ]
习 题 8 x# s/ ?. p( y- G1 B# E" J" O
第6章 直流鞘层
% z; _% M! x0 u5 w; i& `! L( u" S; z4 {6.1 基本概念和方程 2 V# m. C8 N" {6 c) T2 E e& O
6.2 玻姆鞘层判据
6 }7 h" g& v% a; ]3 ~9 X0 b6.3 高电压鞘层
( Y. F! {3 D$ T% ^3 X6 C6.4 鞘层形成的广义判据
" P" u# ^+ I; J* J6.5 高电压碰撞鞘层
X! q. S9 l- @: ]6.6 静电探针诊断8 M( q' y5 E, W
习 题
c9 h1 H* ]& {* T% {5 j第7章 化学反应和平衡
7 x/ t/ i4 s/ E. N! a4 L2 u/ y0 t7.1 引 言
) k5 [' t7 _8 ~2 |" d7.2 能量和焓 / h K- l2 f( r; G; x; p; u" v- x
7.3 熵和吉布斯自由能' Y9 o+ A x, X- _
7.4 化学平衡
: T. l$ j% Y6 V1 L! c5 U7.5 异相平衡
- ?0 h. z H m$ x" O习 题 & U; K. O: \, j. f) V. d
第8章 分子碰撞 # K" ]; [/ K; M3 A
8.1 引 言
9 }- h) A( [4 Y& ? ^8 |8.2 分子结构
3 N+ |* U/ v- \' Z8.3 电子-分子碰撞反应
7 @, H. O1 H8 N9 B8.4 重粒子间的碰撞
/ A. c( O6 G- w# Q: g8.5 反应速率和细致平衡
" T: @/ Z0 J1 [8 N8.6 发射光谱法和光化线强度测定
1 |5 ?& o) _# \4 E/ a! n+ K$ o) M习 题
$ |& L8 A" U* y6 R第9章 化学动力学与表面过程
( h3 |3 u6 h: z) F& g' H1 `! K6 E9.1 基元反应
; ~$ R+ G9 E6 i/ |3 q9.2 气相动力学
9 i# j3 N$ V( g9.3 表面过程
1 a$ p4 g' L1 i- K# }5 a* J4 ] c" d8 F9.4 表面动力学
Z! [ {5 h1 m# M a' u7 h习 题
t6 T( b- E% }: l, J+ N4 K第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
. c- R# ^: D7 b2 R10.1 引 言
/ l0 M0 R a; c B' }' D3 \10.2 电正性等离子体平衡态分析 - B& J+ K6 j8 i' }; I
10.3 电负性等离子体平衡态分析 " t# p% C7 i' g
10.4 电负性等离子体的近似平衡分析 # F% A" p; y, q. p2 K# W1 `! H8 ?
10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟
( x6 S% D- Y6 g! Y% r# w) t10.6 脉冲放电
# r* J, j" L. A- g# T# e8 I习 题 " X: c+ v" ?' I
第11章 容性放电 % Z/ ^& @% W) i- o
11.1 均匀放电模型! R; {# c, h! `' _% Z& U3 Q
11.2 非均匀放电模型 , `2 X% J+ K R: Z, }& ^
11.3 实验与数值模拟
9 K a5 D! j( ]7 h8 w$ i- s- F11.4 非对称放电 + F2 E9 g- G' [4 N; l! p
11.5 低频时的射频鞘层" j3 N" y. y( Q, d, k" T& _
11.6 电极处的离子轰击能量& P# G z7 \* V9 B0 g' E
11.7 磁增强的气体放电
) s2 ?, D6 m4 O* Y1 y- R, f2 M11.8 匹配网络和功率测量
; s5 y3 q3 i) ^1 d- I7 w+ h0 `习 题
7 I1 p1 T: d3 c3 K9 A+ G1 S第12章 感性放电 & x) t' s+ r& M* L3 i# i
12.1 高密度、低气压等离子体 ( n/ a# X. z+ u3 `' {
12.2 其他工作状态
5 m Q }& V, x* R4 F8 M12.3 盘香形线圈等离子体源 & \ O: Y% n1 n$ g1 N' t
12.4 螺旋共振器放电 9 j4 r) F' [, e6 B
习 题
4 v" d; a8 `. L" x: @+ i第13章 波加热的气体放电 5 Z. ]: j9 C0 Z- T* F
13.1 电子回旋共振等离子体
5 @9 O$ n, S- I: z% g& [6 k& ?% I/ q+ \13.2 螺旋波放电
; e0 z$ p: P' i! _13.3 表面波放电
6 A# Y) H( }, M& f习 题 ; f. J7 w) T- o2 k6 y3 o! s& w/ h$ S
第14章 直流放电 $ B1 B+ X; O; z' A0 p) h+ @
14.1 辉光放电的定性描述 : I; }7 Z" P& |
14.2 正柱区分析 . r1 @5 T2 L* B( h( d# }1 V) L' M
14.3 阴极鞘层分析
2 c( o H4 T" h5 ^" k14.4 中空阴极管放电
; }% {' T/ W3 D14.5 平面磁控放电
" ?) s) J& x1 [3 F" y14.6 电离物理气相沉积
5 w6 y- H2 } ]* _+ t; m习 题 5 `& }: A; U2 S
第15章 刻 蚀
6 t% y1 w+ \4 T& s. g: ~15.1 刻蚀的要求和工艺过程0 E- j. H4 z( _
15.2 刻蚀反应动力学
, S* k, I; p) B& n! Q' {( Y c! k15.3 用卤素原子刻蚀硅6 m+ Z$ I0 D% {+ f# h8 x5 a5 E! m, j% W3 k
15.4 其他刻蚀系统
. W! @- p \# {: `+ W+ S, Y) P- B15.5 衬底上的电荷积累
$ D2 }! N6 R8 n习 题 ( J$ d9 I; ?, F# }9 b6 K3 u; G( B% Y; z
第16章 沉积与注入$ [8 t, r% B: G5 p- s
16.1 引 言 3 S+ {/ Z5 m. e7 m
16.2 等离子体增强化学气相沉积 5 d0 M: O) _$ a/ T5 J# e! n" _1 W: @
16.3 溅射沉积
. b6 s9 @* `7 m* \' Y$ A6 W& V16.4 等离子体浸没离子注入(PIII), E7 d& S! r1 O: E. G
习 题 + R, f! w+ E. C; M9 B' e
第17章 尘埃等离子体
8 m5 x$ O" e; @17.1 物理现象的定性描述, d+ _$ t$ \/ z4 R
17.2 颗粒充电和放电平衡
: _; A* P7 C& x: k% m6 c17.3 颗粒平衡 , p! e8 Y2 v$ a [
17.4 尘埃颗粒的形成和生长 + u2 @9 ] d# C9 N
17.5 物理现象及其诊断
) D) f2 B: c) s17.6 颗粒的清除或产生
5 m# n$ N" c8 `1 I7 q; v+ n. G4 m习 题
) N, D; U- r' ]& f5 v* U1 ~第18章 气体放电的动理论 ! T1 T( ]% Z0 {7 N* \8 |
18.1 基本概念 8 s6 X5 |5 N; P3 K) P% i. C1 H
18.2 局域动理论
+ K# O+ t0 J" M, G" Q, z18.3 非局域动理论
% [, u4 W. k2 y. ?18.4 准线性扩散和随机加热
+ F* ^) f& y+ b% J; y2 H" ^1 i18.5 在趋肤层中的能量扩散5 P0 e3 t- R& P# u4 `( z4 S
18.6 放电的动理论模型 & ^) M3 _% j8 E6 l6 Y3 Z! M
习 题 7 j+ m6 R$ a1 i% u- }& l9 ~/ B+ }
附录A碰撞动力学
3 l3 G# z3 Q4 \0 d2 E9 U+ jA.1 库仑碰撞截面
M+ n8 [# e( q2 p3 G; K附录B碰撞积分 * C) D7 i1 c* {0 p/ r) P
B.1 玻尔兹曼碰撞积分
4 {: A% N8 d2 U$ C. a% tB.2 平衡态下的麦克斯韦分布 9 ]% f- @5 |8 P7 c
附录C变迁移率模型中的扩散方程的解
; w b! U# L- i9 q; z h, u: l7 e参考文献 |
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