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真空镀膜机的原理及故障分析* H! v: F) I, }- m7 p- C
陈敏 王存华
' M* d7 k/ O8 s$ O# k0 a(南京电子器件研究所 南京 ) , p: W; c* A v+ D
2002年4月
- j* y! T) {4 W( t/ U) i6 a/ N# c& C& E. f. D" M- V+ G
0 z! q6 Y* x* f% }1 H3 T5 v7 r摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。
2 i; o& _# e* r% o, h* r7 B4 E+ M1 M" w9 a! x. W+ I
关键词：真空镀膜 高压电源 维修( d1 C4 W) }& C( `" Y
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中图分类号：TN305.8 文献标识码:A- m' W' {+ G$ F5 V
文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
