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真空镀膜机的原理及故障分析
7 r' f# M* |% M. K 陈敏 王存华
* z' l }5 S$ r5 B& A( P(南京电子器件研究所 南京 ) % U; ]7 l6 q& `, ]+ n
2002年4月
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摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。2 \1 d! s# |5 B! L N, m4 R. F
8 E L9 i: p, p* n* H, d关键词：真空镀膜 高压电源 维修" }2 {! X, b& U' z; d1 _2 o
9 m" N8 ]' b# g- `. {) ^8 Q9 R* i中图分类号：TN305.8 文献标识码:A
' H0 _4 @/ \% q0 c& j; _6 `, G/ a文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
