多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究 B3 h+ }' l/ l% o" Z; V" E+ g _& |: r
吴亚萍 张剑 高学鹏 李廷举: z; J$ u( J8 H
(大连理工大学) # e' M# N- k7 p0 y. c) b8 Q7 S 摘 要:以工业硅为原料进行了多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究,用自行设计的真空定向凝固设备制备了多晶硅铸锭。金相显微镜观察显示铸锭的显微组织为粗大的柱状晶,经电感耦合等离子体发射光谱仪分析,其纯度由99.50%,提高到99.86%,各种杂质含量都有所减少。 " k' P' J, ]& l9 J% a- d 关键词:真空感应熔炼;定向凝固;多晶硅 . g4 W9 k. ?# Z2 M- E: v