新兴纳米加工技术简介

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【题　名】 新兴纳米加工技术简介  
【作　者】 荣烈润
【刊　名】 机电一体化.2006,12(5).-6-11
+ @) ~0 z& E) E: X& t【ISSN号】 1007-080X
【C N 号】 31-1714
【关键词】 纳米加工技术 纳米结构 纳米压印技术 准分子激光 聚焦离子束
8 f% C2 z1 K- b" ?! X" a【文　摘】 文章对几种新兴的纳米加工技术的工作原理、特点及应用作了简介。

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纳米科技不仅仅是纳米材料的问题
　　目前有关纳米科技的概念从不同的角度有四种提法：１．把纳米级颗粒的制备技术及由此引起的材料性能的改变称为纳米技术；２．把纳米技术定位为微加工技术的简单延伸，也就是通过逐渐提高加工加工精度，人工形成纳米大小结构的技术。有人把通过超精细加工制作的微机电装置也称为纳米装置；３．从原子、分子出发来构建特殊的结构，制造具有所需功能的分子装置，从而产生生产方式的革命；４．仿制生物体系的纳米结构，利用生物的自识别、自组织、自复制的功能制造特定的纳米产品。