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[新技术] 超精密加工的技术基础和创新

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发表于 2007-3-25 14:59:16 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国辽宁沈阳

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超精密加工的技术基础和创新  论文 PDF
) a, o+ z  _9 a, o$ w4 z9 N4 m. Z来源《新技术新工艺》杂志$ B6 d, n, s1 T: J7 D+ X0 V
超精密加工的技术基础和创新
吴敏镜 
摘 要:主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.1 p1 w* U0 n# F( u+ p
关键词:超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性
5 h9 E: X9 R" e$ Z7 p7 f6 y, @+ M分类号:TG50  文献标识码:A

5 k4 C, v: R7 Y, t6 l
Supporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing

9 n5 U% f6 F4 l作者单位:吴敏镜(中国航天科技集团公司230厂,100854) / e: T8 J. \& h) \2 i
参考文献:' z& x& u; S4 ^8 g2 K! U
[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610.3 ~$ i, R' d! Q
[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.
/ g; G* Q! L  u& _! [% n0 K[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.
, F8 p, I  W: ?0 o6 r: j7 @9 C[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.
( a3 R6 g1 h/ k9 t[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.( J/ V* i, g2 N- O
[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日.
! G( t! t+ @! U5 N; Y# k  K
! L+ K8 o7 a! a7 K' L5 ^7 X) ~

超精密加工的技术基础和创新.pdf

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发表于 2008-9-17 23:13:48 | 显示全部楼层 来自: 中国广东东莞
提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽
发表于 2009-11-28 22:59:21 | 显示全部楼层 来自: 中国重庆
06年左右的论文了,有点老了啊,没有突出新技术
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