QQ登录

只需一步,快速开始

登录 | 注册 | 找回密码

三维网

 找回密码
 注册

QQ登录

只需一步,快速开始

展开

通知     

查看: 1927|回复: 1
收起左侧

[分享] 真空泵的选择

[复制链接]
发表于 2007-1-19 14:25:39 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国山东青岛

马上注册,结识高手,享用更多资源,轻松玩转三维网社区。

您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册

x
真空泵的选择
" I8 ?: ~8 G6 k+ F

+ S# @4 ?3 H8 W( ]选用真空泵时,需要注意下列事项:    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
- r1 d- t& Q/ Y    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
' s* w' c* I0 B5 Y) y. ?: Z    3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。( E, m9 q, e3 s4 l  \
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
/ Y- V& `0 P  X6 [) `2 t* c5 a    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。' G" t% W( w$ L9 B
    6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
2 o3 {# B1 \- P# C( ?    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。% r. j8 i- ~' y6 L' Z8 R
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。+ `  I" U- x7 C* C, O
    9、真空泵的价格、运转及维修费用。& f9 V' u, ]" y% W& h$ _% h
水环式真空泵的选择

  J) k+ |% l) Y一、泵类型的确定/ A. G6 h: Z) _  o# U/ w+ Y5 L; h
  泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
/ A- I1 L( ~, ]/ A: Y- d4 A; B  泵工作时,需要注意以下两个方面:9 r  R% l4 p9 \: }; }- G
  • 尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
  • 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。
  根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。, \3 R: \% o! A; q! q  g
二、根据系统所需的气量选择真空泵$ T& w- D( B/ w0 [: i% R6 _  f
初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。8 l: [! u3 ?" L- y& Q# R
  A2 O& h' T; {

8 ]; K3 `, U" r8 p4 z5 d% K) _8 v& h
  面对各种型式的水环式真空泵及压缩机,我们特将其各自特点收集如下,以利于用户选型
代号
1 b% B0 S' T- d/ z/ J+ l
主要特点
( J( r* l8 V1 p8 C0 I
极限真空度( }& U+ p" C! d% l: {  e; P
mmHg
' C8 h) L! v+ W# u. x4 g
工作真空度
, G, |6 n) D: ?# TmmHg
% b4 y% |) x1 V9 ?; ]& k
抽速范围: m# K* x  k3 F1 C  T
m3/min
4 z4 |) u/ \# M% A. @: H! w' ], c
密封形式

8 ^& ~$ `4 o% w2 @) x
9 f# i2 p7 Z9 @2 ~: `8 j# |0 `) C* O
国内设计单级水环真空泵,结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。
' f+ {! _& k9 a( v
-700

* T5 D) t" c8 u" L3 l
-300~-650

, @/ N) T( S' b3 ^
0.15~1209 `( v' H  K" K+ Y7 H' y9 |
盘根、/ d! T" E! _, ?: G; c
机械密封
* |/ O+ ?0 o: v3 h$ H& o5 P$ x

  B; w  [7 ]6 @/ i. ?6 {7 G1 U$ M
国内设计双级水环真空泵,相当于两台SK水环泵串联使用,比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。' \6 |. n3 C2 O! Z0 A5 B
-735
' l4 J" `2 T! G7 p7 e! f) q* \1 ~* \
-300~-700
& |  u* g6 [1 }; B
1.5~30
. s, K( r: T+ ?, B, _
盘根、
+ H  B; X4 x8 F) g% P$ C" ?8 P
机械密封
: b# m% \0 p( Z/ o( P1 x/ H3 H

' O8 `. v2 j5 e, m! u6 |) \
采用西门子先进技术,机泵同轴,结构紧凑,效率高,真空度高,性能稳定,将逐渐替代SK2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。
0 V: a* |* B/ c6 \4 I
-735
$ n4 I6 b0 w; E* H) Y
-300~-700

+ P* x/ b" O$ P# Q$ v  ~" B% P
0.45~8.33
, e& M% _) g- o& w  w; v
机械密封

# [7 G* a2 a# @% z

5 @( e/ _0 G+ V3 K% m, [4 t. w6 }
采用西门子先进技术,效率高,真空度高,性能稳定,将逐渐替代SK2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。3 X+ q. L1 S6 u8 [0 i
-735
1 F% Z+ d5 ~" q3 X( W( K0 c& ?-640
9 |7 @$ ]) G) _! ]$ y
-300~-700
3 w/ t. P3 B$ M, s8 J$ X3 A-300~-600

- p# \2 F( Z0 x( [
5~400

7 M/ K, c; e8 N2 s" t, z
盘根、  J% ?, @7 L# G3 |
机械密封
' _& J4 z% W. C! T! k  D" X6 l: `/ @
5 M: D4 s4 ^' o
50年代苏联技术,效率低,能耗大,80年代初已被淘汰,主要应用于老用户。
" ~' R9 e" A) T: Z; @
-640~-700
6 {6 D- l+ }" i  n- h
-300~-650
8 y  W$ a. K) B; t$ E
1.5~27

! ^2 A0 j2 ~5 d; q7 g, C) V
盘根
$ m1 U. E8 k  _. A$ Q" n4 `. m, [
" ~# @7 m% }# Y- b/ K' R- j
50年代苏联技术,效率低,能耗大,80年代初已被淘汰,主要应用于水泵引水,目前已被SK系列水环泵替代。, Y1 }" g5 a& q/ w0 ^; A1 g
-600

. ^" e5 w* l. c, L, d# ?
-300~-550
' u* m7 f; i$ N2 ~7 _3 O' r
0.33~0.66

9 a7 J0 }! D8 i7 t' W5 Z
盘根
# B4 @8 w+ }5 G+ M7 l$ X% e
* N( T9 n1 S; ]& B( M
主要应用于水环压缩机,最大排气压强为0.6MPa/ N6 x" h4 O) o0 o
-
; _- b6 o  z+ G; {% Z8 ]' ?: Y
-
# N" Q, [1 y, }0 v9 T4 u- E
6~30

4 i4 j, D1 J% ^. C2 c4 o
机械密封
! S5 p: I2 ~1 H' E4 E& s7 F* w: E
/ L$ Q! @' `9 W/ v: ~1 Q& q, o- ~" B
结构基本与2SK系列相同,可以用被抽介质作为工作液,极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。2 w1 p1 `7 m6 `
-755

; x1 w; O9 F# X5 t5 Z3 I9 P2 i1 F, ~: N
-300~-720
9 h7 M0 L; L- ?. ]! E
1.5~30
7 j5 e* X/ i3 w
机械密封
4 c! J) v# M3 u; `, ^/ G3 E

: l# i/ I/ W: l  Y) s
发表于 2007-4-17 20:45:33 | 显示全部楼层 来自: 中国上海
谢谢,感谢楼主分享啊!
发表回复
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则


Licensed Copyright © 2016-2020 http://www.3dportal.cn/ All Rights Reserved 京 ICP备13008828号

小黑屋|手机版|Archiver|三维网 ( 京ICP备2023026364号-1 )

快速回复 返回顶部 返回列表