白光干涉仪(光学轮廓仪)：揭秘测量坑的形貌的利器！

中图仪器

白光干涉仪广泛应用于科学研究和工程实践各个领域中。它作为一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，在测量坑的形貌方面扮演着举足轻重的角色。
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/ H6 u$ A+ s5 b) S9 n白光干涉仪怎么测量坑的形貌？它是利用干涉现象，使用白光源照射物体，并将反射光经过干涉仪的分光装置后形成干涉图样。通过观察干涉图样的变化，就可以获得物体表面形貌的细节信息。
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如何使用白光干涉仪来测量坑的形貌？在使用白光干涉仪测量坑的形貌时，将白光干涉仪的出光口对准坑样的表面，调整仪器的焦距和位置，直到能够得到清晰的干涉图样。然后，记录下干涉图样的形状和变化，最后进行数据处理和分析，就可以得出坑的形貌信息。在使用白光干涉仪进行测量的过程中，我们需要注意一些细节：
3 P' a; A: j% _! w1、保持仪器稳定性和准确性。
. ~/ B  @. B9 M在使用过程中，尽量避免外界干扰和震动，以确保测量结果的准确性。
2、选择适当的测量参数和条件。
0 d6 H6 X5 |' k/ I3 W$ D/ v根据不同的实际情况，可以调整白光干涉仪的参数，如照射角度、光源强度等，以获得更精确的测量结果。
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$ U* z& Y6 n" Z* T0 @& V8 x0 M3 ]- MSuperViewW1白光干涉仪结合数字图像处理技术和三维重建算法来提高测量的精度和效率，揭秘并测量坑的形貌，为科学研究和工程实践提供更有力的支持。
1、可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法，并可依据表面粗糙程度，选择不同步距进行速度调节。
* r: O: j$ g5 l3 O+ Z2 O7 ^2、复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

白光干涉仪在半导体封装中对弹坑的测量

0 N2 B( A' |4 h( f& a0 g同时，白光干涉仪还可以结合其他测量手段，如激光共聚焦显微镜等，以获得更全面的形貌信息。（激光共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理，更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。）