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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
P: O7 d6 A6 t阳建华 张 帅 陈继民
' g. d0 o6 i( t$ b(北京工业大学激光工程研究院 北京100022): Z) t2 P) q5 V& y
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验" h' n- ]( f: d1 K3 u
设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质0 y6 x- [. D/ v4 }+ l- @
量的铜质薄膜器件。
0 z: `: J( M7 p 关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
