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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
1 m% m' i. o. V; ^ F' |% ^* c阳建华 张 帅 陈继民
% f; O. B) K2 l" G5 X. K/ |(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)9 P, P( S/ ]* R# Z: f
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
- A) I* a3 ]5 v& r- ?3 b设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质; d# j( t+ I5 c; C
量的铜质薄膜器件。
# a# W# N% H% G3 _# j 关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
