金属薄膜导线的亚微米局域电导率精确测量技术.pdf

放鹤

吴蕾葛耀峥居冰峰
# g6 F& g! ]6 x  O& X; S0 a& O, [- z(浙江大学流体传动及控制国家重点实验室杭州3l0027)
2 P; G8 X, L1 l4 J. t" B$ [摘要：作为薄膜器件最重要物理量之一的局域电导率的定量测定，能在保证性能、提高成品率、完善制作工艺等方面起关键作用。利用基于原子力显微镜的4电极微探针局域电导率测量技术，精确测量厚度为350衄、宽度分别为50．0岫1、25．O岬1、5．O pm、2．O邺a及600 nm、纯度为99．999％的铝薄膜导线的电导率。由于被测试件宽度和厚度方向的尺寸明显缩小且十分接近电极的最小间距，综合考虑电极尺寸、不同批次电极的加工精度和加工参数、4个电极间的位置误差等几个影响测量精度的因素，修正电导率的计算模型并将传统4电极电导率测量法的应用领域拓展到亚微米级微观尺度。试验结果证明基于AFM的4电极微探针技术在亚微米级局域电导率测量方面的能力。
关键词：亚微米金属薄膜导线尺寸效应局域电导率4电极AFM技术
% T6 a- A7 s8 P4 ?3 d* o中图分类号：TH706 ＼