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镀膜工艺与镀膜系统配置
2 s2 z0 @' l Y- F- z作者：弗兰克泽蒙（ Frank Zimone， CEO of Denton ）等3 ?4 G5 [ A2 j6 {% f+ n: q) D% M. }
译者：美国丹顿设备有限公司北京代表处 冯学丽4 F# b" K+ c7 [- U( J
概要 在过去的15-20年中, 光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前，一般的镀膜机都是纯人工操作，最先进的也只是半自动控制, 都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在，高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块（子系统）的全自动系统。这些智能模块（子系统）通常在多个微处理器的指令下结成局域网（LAN）, 而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户经验的不断增加使他们对设备性能的要求也越来越苛刻，以至于我们现在不难发现用户在购买镀膜机的同时，还要求厂家提供相关工艺技术。本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件，以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。 尽管其他技术日渐流行, 但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段，因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术。 |
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发表于 2011-10-4 10:00:31
