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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑 " s9 T0 Y+ Y" }2 @% n- w
7 a# W- T& Y$ i6 ~% i热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响
2 A# M# Q' ?3 B3 l2 c" V% s张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔
, v- ~- J! ~* ^3 b% j5 s; R(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189). w, Q, _1 Y% Z+ h3 K. j
摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热$ ?& ?$ {( n8 ~2 F+ H. o
处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 , k4 X, J% y0 P) L! K) F; S
涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由4 R# o* C& K7 {+ _# C8 N8 Y1 I
于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。
8 }. M" A: q0 {3 [9 _' c) o, ^关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
