靶材制备方法

richardzzhe · 发表于 2010-1-28 14:43:28

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有没有特种靶材制备的专门资料，特别是一些氧化物靶材的制备方法，本人不胜感激

s_y_y1 · 发表于 2010-1-31 15:02:08

ITO靶材
-->把氧化铟锡混合物粉末热压烧结工艺法制成靶材

SiO2靶材
-->把Si粉末与氧气在真空炉中加热熔铸制成靶材，

zhangh9050 · 发表于 2010-2-1 14:21:11

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zhangh9050 zhangh9050 当前离线积分 -43 UID 1190758 主题在线时间小时注册时间 2010-1-17 头像被屏蔽	发表于 2010-2-1 14:21:11 \| 显示全部楼层来自：中国湖北鄂州提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

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