DLCAgDLC复合多层薄膜光学性能.pdf

tcjshb · 发表于 2009-11-26 06:23:37

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摘要采用等离子体增强化学气相沉积类金刚石(DLC)薄膜、高真空磁控溅射镀膜设备溅射Ag靶的方法制备了
不I司厚度Ag、DLC层的DLC／Ag／DLC多层膜，分别用紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的光学性能、电
学性能进行了测试。结果表明，随着Ag层厚度的增加，DLC／Ag／DLC多层膜透射率先增后减，外层DLC薄膜和内
层DLC薄膜对透射率影响基本一致，随着厚度增加透射率先增后减，在内外层厚度为40 nln，Ag夹层厚度为】6 nlTl
时，DLC(30 nm)／Ag(16 nm)／DLC(40 nm)膜在550 nm处的透射率高达94．4％，电气指数高达112．4×10_3 Q-。，远远超过现有透明导电膜的电气指数(FTC≈20×101 Q_1)。
关键词薄膜光学；光学性能；多层膜；光学透射率；电气指数；磁控溅射

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[新技术] DLCAgDLC复合多层薄膜光学性能.pdf

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