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发表于 2009-11-5 12:42:23
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来自: LAN
MIL-O-13830A
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美军标关于光学表面疵病的说明
u' H) Z; d' g6 N+ L- o
/ D, N [ a3 L+ f - K8 V; ?1 [3 d( N
) C; F1 v: A% f7 s% r& f一.定义: ) H& n% M. J, K' W5 w$ ^8 Y5 F: r
* h/ \. Z2 {* `9 r/ S表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。
3 w, t6 P V' _# l& l) o; N. \9 ^ ^0 C, M5 t. x; y% x
道子、亮路都统称为划痕。 9 w6 d* c( B- x* {2 z# `$ m
* p1 X2 ?+ @$ A2 U8 e
斑点、坑点、点子 都称为麻点。
6 V: O U( K, u" \6 ?% D2 W6 `0 ^- W0 X( f1 r
规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。' P% |/ i9 S, G% C
1 G( y; h; I9 e; e& y . s# D' C3 L& ~/ v. U, r3 F, C6 Y' K! i' v
4 w t6 N' `/ Y5 @当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 7 L7 y7 m2 Q$ Q- i
8 ^9 v$ l8 A$ E( m N3 W% L / ?. _" r2 h$ B9 M0 r+ l
6 E$ ], ^; I# A- B7 Q) ]# }) A§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。2 U" U( m6 j/ y2 s' u
1 j# @) ^5 ]3 U0 W % Z z6 s0 h, E( w0 P+ P
$ O! r0 t0 P' U# B: P. | V划痕:
9 @/ E* ]( }) o
: ?+ d+ g- Y! @% `5 Z以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) 1 O. g( U* X3 ^, ]& q
5 z' M$ G' J6 L: I8 h1 e
这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。 ( a: K6 \2 q, T" v: j+ A
2 k) j" P* X. }, b* z5 [
7 v: q" z& \) r. |" x/ X! s
# F4 _4 w" m. t0 W; @4 r0 v) M' \
§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:
+ {8 L0 N: `5 }; _ T9 X7 }; y* K* {2 x* Z/ @9 m4 q7 c
% X0 K5 d3 i, ? m' S, v" E1 J! J& H" z1 _
1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
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8 |/ N0 _+ k$ g2 X8 h/ q1 y例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 " A, y+ y2 _& t% @+ J7 K: b- p0 C- s
9 \; x. L e' g# N( }% o# j 7 B0 D v2 p( y7 A% U
8 W- r$ A6 V% H0 I. H- r' D6 `) w2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
5 f% ^% C9 G0 e1 W# A& Z. H/ j
9 ]% l* D- P, `2 x8 ^! G例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 ; i/ }% K4 x3 s: H( ~; g* F( Y
8 M9 I# `# J1 a3 L- X5 y- G
它的等效直径为20mm 3 U! O! H0 S5 c+ S) `" }
, V) Z! K' v+ d
1/4D为1/4×20=5mm
4 ^* |$ \" W1 u3 Z
$ x2 g% }. K# h" i$ d3 B 最大划痕的长度和为: 3 [% j& h. C+ Z% ?* d
* q7 y7 j3 G; Y% t3 K2 [0 i4 P4 N
3mm+3mm=6mm
# t" J! D" J+ i0 S. o- G" J2 B2 C) T4 E. _ `* F( N) K- A
6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。
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: F) }2 G! ]' u& Z& {' A
1 I1 l6 X! |& _; k3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。 7 T. w9 E! V+ G2 S
; j) w9 J; {; q, g例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 , L$ |: T5 B$ J( M% Z G
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它的等效直径为20mm : T( B1 b! G# m/ O4 ~( c: i
& G8 r* f" F$ N7 B4 a4 o( @
1/4D为1/4×20=5mm
% Q) f2 K" [: I, p+ a( B6 S% R
$ k; S* Q s$ o" H( w+ {+ r 最大划痕的长度和为: 4 [: E8 q$ T3 D. e
8 g* B! U E2 E5 x, @% N- o5 \2 ], b( n
2mm+2mm=4mm , `3 }7 N3 e/ x3 ^2 J9 e2 i; I
5 ]$ |6 g. {0 }. [' S9 F9 } 4mm<5mm。符合2条。
2 I- _, Q+ S+ C9 a( }/ e4 ^% O
! _8 k. p' A+ d6 \# B A8 o但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
: s0 m0 C2 l; k/ g% o2 A5 W6 R5 r& v# a
1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
, J/ W2 \* M6 w' f2 \; L: F
, ~% e! l4 u) @ u8 m7 U- c, B; v2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20; & k r3 M+ E" P4 F; K$ v6 s9 O
$ L) Y9 b/ N* [ 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 ( m: B" q# r+ g0 Q) U( _
* b0 o3 }. {& d
3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: . T8 u& A# d& Z7 ?. Y3 N
1 b+ X! C# f; f; ?9 W7 R9 D( |9 R [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
0 F2 H: a% N+ F. H% ? l- K) S! e" J! p/ q
元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。" P- d; S3 P0 _" y# z
4 C) h) E; [+ M$ m+ Z . B, D( t. q4 j2 H4 `
- E. r" B p0 s" F
4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
4 ?1 T; [; r( O e
, V; ]/ D; Q( A2 }* t- Q例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 & x& z# P9 L1 `/ g9 \7 @
6 F/ E9 x! i5 |: w" x- ]# [8 w. i
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: / w6 d( \* H) u) ~( r5 M
/ i3 s% m' N5 l% h! v! D( {% [[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 4 z. ?1 c( f: k1 l8 \* ]% v
" `# n$ ^* u& G/ ~8 Z% }元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。
4 X; g) {% i& t. ^& c* S( I: G* K8 p% U; I& T2 c0 n8 n `! S
. |- F! @' r( R4 s% ]. v- t( I
) C" M9 `7 X5 k9 m/ {) T, t5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 * y8 k2 A8 C/ B
) E' U% O1 V! A" Z% |% x$ p* A
0 X5 g$ j0 [0 _6 n$ I {: G+ T: O& L+ D! r' A* }3 x
例:表面质量指标为20-10,Æ20mm,
& _/ F' ^- P# E$ _8 \
+ }" @* ^: L$ [在如图(1)所示的区或有2条长1mm
5 l3 v6 c0 f, f, N7 s7 b5 X- X9 ^( v6 z- B% W9 F5 r
和2条长0.5mm的10#划痕。
. K! ]/ k' Q& R+ n( r8 j4 g. m) j- ~4 O+ ^% b& I& \
它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) 9 u1 g, H1 s7 |
, b' N0 N% ~9 \* U1 P2 E0 X- R# v
但它不符合5.1.5条。元件不合格。 0 A' B1 J$ h' d# p2 J: \ q
/ n: ^( a- J& {6 J- Q P) h1 t6 P, y( d
7 I" B6 _/ \: R+ p/ r6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 5 T) a* p0 [" I- F, p
. A; j8 H5 ~ x, V, j; q7 D
+ R- r: \; ? E5 b) K$ n# b( B$ j6 F i& C" C
麻点: - a3 Z) `# ~1 G I1 t2 [
8 S* f5 K# `4 h: O0 ~+ G* U5 r' C) Q
依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 4 i3 Q3 q% y/ J( G
/ y% X1 a0 r: t5 w: l" \% [(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点)
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2 S; i4 p u" F1 c& E/ k
) _$ z+ e# [) r" C' ]1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 : O7 V: |. \- m ^& ^& T
2 |1 B$ L1 e/ B
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。 $ E0 r+ O' r, p% u4 u7 v, M9 U/ D
/ u# j1 h0 H: s7 R
6 H5 S8 g# x' `+ m
7 }4 e7 c v Y( t2 H* J
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 ) [1 y7 k7 o3 F0 R8 k! O8 F
; \$ K2 d% b+ G5 u& g' D
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
: I9 A' ~- {% t3 y& h0 W! s
; e9 V% W) W: `
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3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍
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例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
+ m9 F; K5 X2 }% X
- j, s% l# w4 f% N# V" G6 `8 C+ j
# @+ p( J2 b L, _9 a, I/ s) a
8 M% N# }! d }- g O; I! t§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
r; A. ?8 E0 Y* V0 A& G4 r1 L* A+ m7 q) m4 o1 m9 ?( G
" H& ^+ p9 z) n- c S
/ `4 v+ N U# T$ `: p: `例:元件40mm×40mm的元件, * F) Z) J2 X! k+ o4 g
. V5 j) ^1 B9 ]* g质量指标要求为20-10,
+ d8 d6 |$ \. l# K8 R$ m8 X3 A( Z& o- ^2 t- g9 E) [
有两个5#的点子,点子
; ~3 Q6 \* @- [ H$ x3 I7 E. F! B# D6 F" W
之间的距离为0.8mm. , Y4 ^: q, o: m0 p, i& k- O. R+ k
7 u0 |" C' L3 \, T! m* X/ z C
0.8mm<1mm元件不合格
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5 ~* R2 \6 W( {, }$ n! D% O 4 F- k8 O, A6 O6 |" r5 E
r b/ m1 H2 \6 g+ j3 o6 J1 w! n§5.小于2.5um的麻点略去不计。
' ~: @4 \7 H6 a. _3 G3 H& }2 H! ^& M0 ?# i) ?4 V
) y, ]7 ?4 m+ r- f/ o6 G( x. s2 x0 _0 V0 }
§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
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§气泡和包络:包络当作气泡考虑。* f7 s" Q) W" l1 f$ r+ g+ y3 Y7 ~
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依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。 7 Z% S5 @' K" r
! @8 ^3 H5 k6 a' o) w气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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