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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A
, }" X0 P# b% A( [$ N7 C% W7 B
0 g U9 l: H$ }+ O. M% h9 i/ w美军标关于光学表面疵病的说明8 a" E5 h2 i- j+ q$ @: B- i
. d/ L/ o2 l* t$ v3 G- `
9 p/ Q7 a/ t% H, N. G( ~+ A6 I
一.定义: / ]4 G& \- X0 g q5 c. h8 K
# ~) J( f4 Z/ R* H8 [表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。
K' P- Z' [" h) s
" H& v( d4 Q1 k2 r$ }% L道子、亮路都统称为划痕。
1 J" N! m+ s$ y7 q
/ E; P! u, b( y# r, Q; v斑点、坑点、点子 都称为麻点。
4 ~7 y0 O b7 j3 N4 O, k8 r. U# i7 _" O
规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
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6 \, |! n/ {# i: q c1 o" w" S" V# j/ D3 Z9 f
当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
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1 S% w4 \# n& O3 ?, y! }/ J5 O) M* U2 n1 s7 q6 |2 k( o. V& G
§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。8 w. O* L( I* Y1 k: g
" \0 m* h7 E8 k3 w4 X( t0 U: k
, N8 g% z0 n3 c* E* o, V! }/ T4 m6 P7 ?( O/ S
划痕: . G# E) I; E0 p; B; f9 H1 n
" o' p0 v- N$ Y/ N9 f以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) # F8 E* h+ Y1 I0 _- G$ n
: ] N" O. ^3 r6 S; I2 ]- r0 ~
这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
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% [! f# M! [, f% S1 \% v8 D# a* r% j/ g% Y2 H
§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:# }( V; T% A/ l, S0 H
9 B' ~, D" F# ]2 [
. r5 s P$ j2 ]
! h4 v8 F Y. g x1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
6 o5 f8 y% V3 P. g1 e& K- X. m! t
! U) m1 f4 G" e1 G1 Y例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 + y% |- z n" d
5 S) O x! Q8 _ : m$ S3 N ^2 ^
7 y5 d8 U& M1 [' W& @7 E' `
2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
9 [+ N; }, a/ V7 x
9 }) b' X% L9 L: _8 Z例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 4 N* h8 {6 D0 E) N* n2 s7 b# p
- c1 D6 u3 w# E
它的等效直径为20mm
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0 ~4 Q9 h1 Q. m+ \ 1/4D为1/4×20=5mm $ Y+ @ n! Y' @2 x
9 W# N. |8 G- D3 p+ ^! Q 最大划痕的长度和为: 4 c/ V4 j$ n$ J- j/ E; P1 ]
& K7 O7 N3 H6 }
3mm+3mm=6mm
! \; G6 o% R# g$ F6 l7 d* Z" H* A* ^# ~! N2 {
6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 # i. j: [; p% S% O
: A& [( {' g5 w2 M7 r% F# F
' B. H3 _3 b# _7 n3 }2 B
( y" m( M k# m. S3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
, R+ d, c) f' z- J, i" E: h; U+ V. r' [5 L! |3 d2 s
例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 # j1 ]% c- h b; a9 ~
9 P" A! R, X9 K' C8 f! x
它的等效直径为20mm
5 r: G& e4 Q0 N# s
9 C* }. B4 p! \9 V2 o# a9 t 1/4D为1/4×20=5mm . {& M3 I, E" R
) ^. a$ ]) R# h. h. |
最大划痕的长度和为: # O2 y$ j+ C5 Y F) }5 W6 V! V
6 E- m# d& g% s# f6 c3 z5 a3 j
2mm+2mm=4mm 4 D% r( b; m% M& w5 B8 X
* C7 N5 o) n2 i9 X
4mm<5mm。符合2条。 5 [0 L; [0 B& m, E' Z
8 P$ ~2 t& q% R& R: A- t% U
但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
`; _5 K- k, I3 Y) v$ W- d
: [/ e* W+ d7 \* V1 [' Q1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
8 A' O. ?6 P+ F# W4 U( f' s
) s' g% t- Z$ I" G5 z2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
: j/ J( u& {' t' M/ s
- V! v6 L' C9 Q- [6 s 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20
8 w+ H3 `; q7 K- N L+ @3 H/ z7 q0 V: C; k. G
3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
6 U8 W# _ L D. ^( |2 ]+ S0 a8 i- g1 g9 |8 ^
[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
/ |) j1 J+ w2 H; F
! y* l1 S/ h9 k% ?/ } p 元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。1 T# _3 P2 z: F4 u
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4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
: O. S! M4 O& m, \7 ~9 F. c# [0 n) ]* ?% v( p5 D
例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。
% v: @" T3 n7 g; ]% w( V/ e' k
7 T' {. m( \& Y# Q所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: * d( }- O1 `" M4 U9 D* |9 Z+ P2 Q
$ a/ o2 S5 g# Q7 [[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
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元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。 , j) d: H3 V+ h/ T; `
6 g) L# |) j3 h: S& N# c- q
4 u6 d' x4 q# i' h `3 P# b7 e4 e/ A: S1 A* }7 z
5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 & R! i# n' g7 u1 |. s# B
v7 E1 N( a5 |' y- J M- _8 T
6 |! f; b1 r# ~" h$ X
$ [& X! E0 U) O
例:表面质量指标为20-10,Æ20mm,
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在如图(1)所示的区或有2条长1mm 2 _, i) z" i) o
/ C+ u2 g; z |和2条长0.5mm的10#划痕。 ( ^) C- f8 q7 L$ I1 c2 h
# w8 M: g2 J ]8 X: j它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) # s! C$ w/ [. P9 P
0 k, `9 F u I" R但它不符合5.1.5条。元件不合格。 - L2 @( w% d ] I4 D
# M* O& {/ B% ]: d3 G4 e8 B) [ + c( B, i) p* J
) U% @! _+ y! A0 c9 `$ N
6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 2 [$ ?8 M& _7 r
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麻点: ' G( J/ `$ \9 }& {: V
3 J9 D0 D, ~% t2 e, i& o依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 ; N4 p: m2 _/ i1 a7 t
* m$ s- T8 ?6 i1 n) F
(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点)
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, S) ~+ o& O7 X& M9 A q2 }
; m9 V1 N& F3 R. q8 w8 u1 g6 z* t1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。
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3 r' b& Z) @( r例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。
( L/ l3 R" @8 K" P8 e& K* w; H: M0 n& |. X. z$ b
: Z! b) _, Y0 V1 F$ V S; j- n2 g
, m4 y7 O4 t! i9 `- V0 `4 P2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。
" h. l+ N7 @& S" [5 P+ Z6 w3 S% r0 ?
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
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& J9 g0 \5 `2 u, ?/ O+ ?% o
* |: _6 R/ A) K) U- B4 g3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 5 h0 ~, g8 c: I
) Z1 v2 \; y( H' M
例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。 ! \+ J) L2 q! p U$ L0 I" K
) O* L n, h/ a/ J
: l \3 H3 h1 U) k
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§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
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/ M5 @! ^1 t* q+ b/ }7 \例:元件40mm×40mm的元件,
' P" m0 u8 V' b* Y/ v8 S8 z1 {- _/ h, Z& ?- J9 [/ ]
质量指标要求为20-10,
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有两个5#的点子,点子
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之间的距离为0.8mm.
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0.8mm<1mm元件不合格
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( U% L" {: ` s4 j! ^
/ c" U3 Q N3 N) C( X§5.小于2.5um的麻点略去不计。
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§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
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9 q. T. z. E, B( L
, L+ C7 D. C6 Y0 S§气泡和包络:包络当作气泡考虑。
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. l% O$ t+ o) }6 ?依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
k9 C7 h# E% w& R5 [( v H5 n# h* F9 k" }( I8 A6 ^
气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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