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10天前
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[已解决] 请问谁有关于“光学表面质量“的美国军标的相关资料

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发表于 2009-11-4 18:48:16 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国上海

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 小弟遇到一个问题跟同事讨论了很久一直没有得出结论,是关于光学器件的表面质量问题:比如,经常在有提到说一个器件表面要求20/10,表示划痕是20#,麻点是10#,但是不知道有没有规定20#划痕的长或宽量化到低是多少。。。
7 c7 t0 I0 g- Q( I  ]% f6 [$ |" _; J7 @请问有相关的资料吗?
发表于 2009-11-5 08:26:47 | 显示全部楼层 来自: 中国上海
告诉我标准号,我找给你
发表于 2009-11-5 12:42:23 | 显示全部楼层 来自: LAN
MIL-O-13830A
3 X) r3 i3 Z6 u6 N- e5 R1 w7 h+ T2 @% l. ~5 j% }
美军标关于光学表面疵病的说明
% b4 b; _% Y- X6 g# E7 K
) L5 w1 ^* ~( t% i2 n5 Q
* _. p, @3 X6 t2 X' F' C" e% m
( g; k  ^( M1 p8 Z8 f一.定义: % m& G, e0 ^$ ]" y% z
/ W9 {1 |' [# v$ s- ~, _
表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 3 H. J  S1 G0 v2 z

4 w: Q6 P. v( j. z4 U+ h) n& S道子、亮路都统称为划痕。
+ D2 a- ?3 y0 D4 Y1 i9 K5 y5 C* W7 v( }2 ~
斑点、坑点、点子 都称为麻点。
2 J2 V* d& y( i1 O0 H; M/ F- |* Q3 d, h" L# T
规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
- K# R" ^" @" Z" K' V$ H! F+ [0 D6 X

9 H% @* a# `! F
' P9 A) z. ?/ Z4 t* Z当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 9 d) W' Z4 \) b1 F$ ^' J
! x. K* E! @" i1 N5 y

1 w! c$ a1 F2 Z/ r4 Y% R+ H" B/ }- B  y9 v% V
§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。& |7 i: H0 n3 r8 Y8 c- S  ]

% R0 U: _: `, Y8 D" p4 C! S & P1 {: I( l! V4 z7 g0 v+ J2 P
0 q9 f5 \- i4 ]- `1 L% o8 @
划痕: 7 X3 u0 s: |; D0 @

- K4 B5 }+ s- n5 a! c! E4 w1 ~以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) ; |; K2 h0 ?& W# z5 P. M  b
: k+ Z) ?+ t6 z  b8 X
这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80#  5个级。
1 C2 O# ^) `7 O
9 H& N9 L" A# ^4 U
" X1 m2 `* s4 l% E* ^
9 F4 \2 V# H. F) o6 T  ]§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:
/ c) V/ S7 N( l% n/ x
9 `+ r4 A7 Z$ E' Y# ? ( @3 E8 x# H! J# J" @7 i/ p

9 G! }7 U+ M+ r. Q9 H1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
. `& _$ R: H; b* \/ ?
3 ]! V% I, Q/ k9 ?$ }1 `" j; L例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。  
! M5 u9 M) O4 V+ [
1 |. B$ [% b' W( y* B& i5 _( W% K
8 }5 y! ?% b4 h0 S+ E- i- j9 b8 h* Y; ~) D" n
2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
, }) D* I& D/ `, S7 i
( D7 A2 E2 `& O+ @: H1 Z  A* t, N例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 ' z+ K4 F0 L" y6 Z" o  z& l
+ t3 V. z# {4 ?; ]$ o, ^
     它的等效直径为20mm ) {! \5 j1 t( d2 o  B; r6 q
8 A* D0 _5 V, a+ Y% a2 [* P
     1/4D为1/4×20=5mm
3 _+ k. z; R4 t) W6 J
( X" v! }& u9 P. g2 {+ Y     最大划痕的长度和为:
6 ?# E# q& W2 q% s/ X2 g) Q: u
$ [& W. V9 X+ Y6 {8 J7 R      3mm+3mm=6mm # m7 x& j6 h1 ~4 `. \# L, G
- b8 g! S3 Y$ a" y
     6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。
8 h  q9 m: f8 b9 g
4 T. P1 i+ H0 j& Z2 A# R9 d, B+ ~: v  C + t# m( z1 N/ K7 W$ W% E

9 F5 t, J+ y  |3 ]& @8 U5 n2 r7 [3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
2 _- |( C9 x  k; ]5 ?: o. u- v
3 H4 B! a' s2 b  [例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。
5 L* c9 }' v4 a+ ^5 `$ v
5 E! `! u2 i  K0 [, r     它的等效直径为20mm
# P  Q! o. O2 F3 B7 P" c. }
6 n" `! c, j+ v! f. I" v& c  ~       1/4D为1/4×20=5mm 9 O; g; ~. _0 [

6 S6 N2 d; ^  g8 N$ i      最大划痕的长度和为: ' X) {, n" l$ F2 [8 _+ r

7 Y/ L4 p$ C7 I' v9 o3 I6 t* D/ ?        2mm+2mm=4mm
: {8 c" E/ L& }& q5 G, ^, m6 S3 Z' a' ~2 t8 K7 I% Y( n
       4mm<5mm。符合2条。
1 O# V0 V, `6 c" p+ H0 {+ x+ [! \. p" Z" q  r
但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
" n% W# p& D- s% o+ ^. {4 C4 {& K5 ^+ U% M+ A8 M! C
1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
' [4 ]4 U5 @+ N
8 X( O' A: {; E5 Z2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
' P/ \6 ~7 Q+ H- G3 Z* L7 A: x: G0 _4 i' a0 Z4 W1 S0 ]
   40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 . R" C5 ]4 X) B: }- O7 K5 M: {

0 Y6 T5 ]8 h1 J+ R2 r* _: b3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
1 Y/ w3 p+ H' ~+ K
& v: Q! [/ E, @' t" R+ s) e   [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
# a5 M' Y: Q% T8 @) i& |
+ E, X, Q& p4 {" G   元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
8 D: }4 O% {$ z4 l" q. `7 ]# C8 G$ Q, k# X

* `4 c! L6 L* F2 u5 g2 O' O8 h7 {. v- t6 j+ u/ o+ i  g: F
4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
' {' D$ J, u. e% A1 x9 W! C0 k" m: ]( @
例①:元件为&AElig;10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。
  A. U% y8 y4 A. z) s8 p7 N4 v. t  b% u, g$ ~4 M, Z
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
: J& @2 @, k  t- @0 ?* d6 J
" i) ^3 \2 c0 o4 U: a- y/ R[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
7 {$ `. ?0 O7 g2 a3 x7 f5 W) {
( c3 O/ z/ u3 {# c1 V) v  ]元件最大划痕为60#    66>60;因此,元件不合格。
2 ^; a: N3 n6 m: H0 F# {
! r; B1 g. j) a  A- _$ M# G, J9 ` , ~+ K' w7 e; a

  ^9 n, a( M) X  B' r+ U5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个&AElig;6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。
* Q' S  |: c9 [$ w( l& H) c# c& S2 P/ j' w

9 F9 j  z( l0 ^8 I8 M) G+ `/ w) r8 G7 z6 H4 A: b
例:表面质量指标为20-10,&AElig;20mm,
  J2 B2 t4 E6 I6 ?, P5 V8 t* v( f3 F$ M
在如图(1)所示的区或有2条长1mm
* e: R# X; t% U0 N4 D7 Q7 V" _2 z& M: i: ]1 u
和2条长0.5mm的10#划痕。
7 t/ z/ F  q- H% E5 v4 f
1 ~9 r+ B8 @, c+ T3 ]- v它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) % h' O1 T6 f/ v, m

% H) A5 P, j5 Z, s6 j但它不符合5.1.5条。元件不合格。
0 y9 K( L$ W+ @" U3 _7 }3 I9 Q# I) O4 n+ G

# d1 a$ J1 T, f0 t4 l
2 F% i, W! h( Q) j+ X6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 4 ~, \% }) F3 c: G7 E7 g0 a
7 |, i/ h5 h% a$ x* E. t

" v6 r" [/ ]( a
( \0 K$ X# Y" T麻点:
0 x, H/ K0 @, R4 v) N* X
5 g9 w2 a9 O, @依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。
2 R! S. \( R: M; u! Q
3 V  T* Y$ \) H  O" p5 {(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点)  / V0 x% G8 `+ o$ M, Z  v% F
: E$ Z& c6 x6 Q& D
& N* x, m4 U; [: ]

% a: V" c( J# a3 t+ Q1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。
+ E: T% C3 E6 n1 Y' ]* ], ~1 `2 M3 \! _
例:元件为&AElig;20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点       50>40元件不合格。
" P& }& Q' A, T1 }' M. d+ ?3 T5 C5 [  Z2 u5 ?

1 f7 D/ H. O  P+ D. l8 A% I* Z$ |( D8 a
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。
9 w" A0 E" U8 P" N: y- M
( F5 ^) z& \" ~6 S) q$ g- U3 ?例:元件为&AElig;20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
! y! u+ o! W# t( u
! }; G5 @4 V0 _  _! ` 2 V& @( i* Z& N1 T, n/ H0 {

# u1 l3 D7 K# U# R/ ^' e3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 5 Z: g/ Y6 O3 G% m7 J5 O
. C! }0 o5 ]$ a% x
例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个&AElig;20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个&AElig;20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
% A7 f: P8 a! d; u' ~  [5 `* n3 ~
( U* C' d# d' `1 K% C: @* ]; @$ T
5 u# [4 `3 E0 c: u' x' X8 m# F+ w) Y/ F/ w3 k" Z
§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
1 g- p# A( z% P% R+ s: d& Z' |( ]7 @1 r3 f, z8 w. Q7 p

2 z3 y% {" c% r: a" Q6 c) k* a5 J+ E) Z$ ]" v& j' T; s
例:元件40mm×40mm的元件, 8 S7 S$ K: \7 K

  U- [! n" T) u3 F( M; t- }质量指标要求为20-10,
9 I' H! }( B) X" k" r/ c
! g; D8 f6 |# ^( o1 m有两个5#的点子,点子
9 S0 M# u6 M, n- p2 }4 M6 j3 _7 l3 g: B% q( ~' @
之间的距离为0.8mm. 0 h6 h5 F/ ]8 F9 l
1 y: G7 a8 i3 M% }
0.8mm<1mm元件不合格 2 u# G/ z% T& h

  V7 X+ W9 i" D0 G 0 W. W# j5 P: {! i# R

  b+ E  ^" N% Z: p; e+ o§5.小于2.5um的麻点略去不计。1 a  l8 d3 A$ D# I+ ^9 ?
8 W' Z, j4 O7 j0 D6 W8 K2 Q

( Y2 w( @% K- R1 t( K
7 y3 y: u) a& D§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
( e8 ?6 u6 t/ t: R$ f  G$ H; J" }6 O# f

$ }# ]/ o. [1 x1 T$ j! ^: e) G8 k9 P9 b: s* i' e" U
§气泡和包络:包络当作气泡考虑。8 S; ?! g6 ^  {; N7 P

, R  N9 ~, }6 v$ j2 f. I4 c ' a2 B- o; m3 ?- I  Y# ?; _

! A9 t! N. a( l& w) ^依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。 & Q* q2 ?" \9 I  B) Q
* S% g8 |% N" [7 P; j( Q
气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。

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 楼主| 发表于 2009-11-5 17:11:30 | 显示全部楼层 来自: 中国上海

回复 3# dljdw 的帖子

以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) ; w" O8 h  ]3 c, T) V- o5 X$ t

$ F, H% j+ o( [+ w) J这里与划痕样板上比对时,比对的参数是什么?比对长度?形状?应该也不对...小弟对这个就是想不通
 楼主| 发表于 2009-11-9 11:01:24 | 显示全部楼层 来自: 中国上海
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