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[已解决] 请问谁有关于“光学表面质量“的美国军标的相关资料

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发表于 2009-11-4 18:48:16 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国上海

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 小弟遇到一个问题跟同事讨论了很久一直没有得出结论,是关于光学器件的表面质量问题:比如,经常在有提到说一个器件表面要求20/10,表示划痕是20#,麻点是10#,但是不知道有没有规定20#划痕的长或宽量化到低是多少。。。
+ G, N8 j/ Q& o4 i3 C请问有相关的资料吗?
发表于 2009-11-5 08:26:47 | 显示全部楼层 来自: 中国上海
告诉我标准号,我找给你
发表于 2009-11-5 12:42:23 | 显示全部楼层 来自: LAN
MIL-O-13830A
5 x  Z) n; q) W6 F- U
! S' t$ ~/ Y6 h美军标关于光学表面疵病的说明
1 M4 K  E+ v$ t5 c* p; P
/ x7 G8 ~6 K8 H. n! O8 j / O' S5 ^( [6 R2 n' B5 N2 O3 b  h
3 H- C! ^# L& }5 B; b
一.定义:
4 `3 V0 B; G! i* h, H) a3 ]- g$ t. ~# i4 `( j; N# R
表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 : X' v# @) ]% V; i' X5 \* ~3 w! ~% G

" d) K( h9 ^, Q  V% T% r道子、亮路都统称为划痕。
4 t$ a: C% Y5 f% c( @# X' T: y1 x. K/ J3 f" @% I" M
斑点、坑点、点子 都称为麻点。 ' a9 V& Q8 L) ]" N9 j  C) o

- S, A& @7 n3 E) T: K规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
) v# l+ u) k! M. t; Y  u: T5 a% V9 j8 i' g5 W
$ ?' z/ G" `8 h8 H0 U/ n  G7 y

4 p/ t* r! G- x0 Q$ c3 D( `当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
: ^+ d. `! r( T( q4 Y% L/ \) d
: V% {1 r% t# Y7 k* ?1 N. J / B4 h( X: x/ P8 ?* G7 u

: L. U4 I5 c, }7 |§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。
  t& [) {& C7 B6 V' G2 f0 E* f' D8 m9 E9 Z% {0 g
" x  Z) D, Q0 }* H9 E
8 Q4 [3 p" E3 E) \" Y% e! P
划痕:
7 n- g  l! n" c( g. z$ J& A
: o2 B/ j& Q, @9 {以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)
( d0 O$ r7 v) y6 t
# ?$ ?7 }$ l  C) F这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80#  5个级。
9 `7 f: A/ J% U. ]: R. c5 Q7 R; a3 x4 y/ u$ e
0 y+ a! F: C$ V5 n% }4 X! J

2 r0 H& j1 Z0 T9 P8 z§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:
6 A! s) W5 E( t! [- \( F+ a4 T! m5 y  ^# C

6 m6 e! y* n" H! q  @; R
( n4 D! b. ^' V. H# O# G5 \& g1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 5 |" |+ q' p( \% K
$ g3 p5 S$ i/ r* j( E' U( [
例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。  * N% o& _5 g# H* r& S. L
: o; R. {9 |9 E- @  q2 i  L3 v0 q
8 ]4 d: d) E3 p3 t" p9 u

# s8 v4 u, m8 T7 j: r" G4 o2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
* l5 O$ v9 s: F9 f/ W2 ^
6 N  \0 n7 I6 J+ `' Q. H例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 & c7 u. C0 `) U, H+ I
) y) n: I8 y. {$ L
     它的等效直径为20mm
- {- I, ^0 z- `/ `7 ?" E$ \4 e- ~4 u1 d1 I4 r+ d
     1/4D为1/4×20=5mm 4 A2 T+ V- j9 S
" }8 p+ V3 Q8 l
     最大划痕的长度和为: & B4 v* m& R, K4 y9 o

, }  |; D' |  C0 P      3mm+3mm=6mm
$ q: {  Y9 t: K! n, w
% L) Y  d+ ]% m: M" M     6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 4 L( ]+ }5 t. N( r' Z0 c
0 q/ [7 Y" z8 [$ G, m

0 y+ p) y# S' Z+ w6 g1 C5 k. }+ w" H
3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
* s' c3 v* a  [9 l  \5 L5 N, S0 e5 Z3 t, J1 w" ?
例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 5 x9 B' K- Y# h# M

/ k# Z6 r* H+ E, q' l* B% _2 B7 b! m     它的等效直径为20mm $ B  j2 G$ `! l. W; G+ k- i+ h
( ~- a/ u* M! R( d
       1/4D为1/4×20=5mm
/ U) I# d! V. q- u4 E
; h  A3 k2 |" ?3 L      最大划痕的长度和为: . ]# x' \+ f1 u+ M

# I; Q0 l% `5 n* S* [: W        2mm+2mm=4mm # M2 @' \0 x+ J9 q, C. G- f

9 p( Z: B& y! F0 n' _# E; ~       4mm<5mm。符合2条。 " c, J3 H, G* i  X- `9 [0 F- z8 t

% Z' N9 X# D3 K! O) s3 E5 X; W2 m但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: ; {: i4 L8 E7 |  V; B' y
& X/ u* b- R3 H) {* w& F! [
1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4) 4 g' d6 r& O2 }, E8 S5 `

+ O5 {  N' M0 R+ k2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20; # M8 e5 k4 l% h/ Z: K
' g4 y# f6 c  U" N
   40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20   Y4 }3 C. U. e# b% b
5 @1 ^$ B( }% l" s- k8 ~
3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 6 F0 V% j# Q5 F% S# f" H( H
. \2 b) l, C" _: S# y$ W( d/ E. B' ^! Y# ^1 [
   [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36 9 ~" C) g4 L# \; K! ~  K3 n% n3 M
( {# y  U8 H- G0 ?$ b$ J
   元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
6 f  ~2 a* E/ f" W9 C. p& z$ G8 |  e) e

0 {' F  x$ E- E5 `' W& K( R
4 Q0 @- S. S; q8 s4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
1 u; Z% e+ w% s; w- E, Z+ D0 w" V, ^8 F5 \
例①:元件为&AElig;10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。
3 K# d1 s5 f9 R& l( v" p7 t6 r+ S) d: q
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 6 v% _+ U" ~6 K. u2 ]

% v, B4 b4 f& z4 B9 j* Q# p[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
$ z- x+ @+ a  {" @$ D# @
9 G. e; x/ A+ j4 e& O. v4 y元件最大划痕为60#    66>60;因此,元件不合格。 ( {7 r7 {; s% v: J

, S& I, F6 Y4 w; z" {( ]2 P$ n
8 H# t# w' Q# D- }8 u  q$ k  I4 \: [" z1 u9 i
5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个&AElig;6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。
) e3 u6 s2 s0 O% v5 x* E) r# }, d
- \+ i; t/ {+ c( d) W9 r
" n- C# n' h* x. l$ t0 g
$ p- {) y2 {3 @- x  ~例:表面质量指标为20-10,&AElig;20mm, ( u4 \, S& t, ^, c
% `, v+ h% d# W3 @
在如图(1)所示的区或有2条长1mm ; l; b4 ~. f& ?/ p1 v" @: ~
' u0 J5 k: |& i' H
和2条长0.5mm的10#划痕。 3 `3 o8 m. l  c2 z
% X5 j3 Y: a, B. L0 _8 C% T
它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3)
1 Q) [* T2 F" D6 n! g
! \/ ~* l8 Y# g- n& c  g% {但它不符合5.1.5条。元件不合格。 ( |5 h( j2 W# W% P
; \  R/ Z1 X# o  S' w

8 @# ?7 S/ K. U* k. l
+ @$ h2 U: S) f- P- e6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 5 p* K# `' t( l) N2 ]0 M

" a3 u; K6 j$ H 6 t2 W; L0 x& S
( Q6 p. v& s$ T& S3 B8 u4 Q
麻点:
3 k, T: O+ t5 x, f. Q1 M
6 [$ X, ]9 v8 z0 l5 i依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。
- \: I+ _1 u8 T* n2 A( y3 M+ V0 h' {" U
(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点)  
' C8 m8 N0 \; a7 Q3 g( T  M2 l2 D- q% @4 A& m
6 i4 q% Y8 Z& v5 V) ~
1 `( k( O9 O& `8 Q& K$ r4 J
1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。
! R2 h( ]3 F* E2 `( `- i  h, L! j" ?
例:元件为&AElig;20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点       50>40元件不合格。 ) C+ i/ }9 O- a; l* z. o& h8 o
, }& |2 X1 w$ L, X; D* p

1 n1 M+ n' }$ F( Z( n7 f9 R( b$ U0 ~: R2 O8 ~, k0 t
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。
) V1 `& V2 G! ~% w  m. k$ B( P
3 o! u# O! ^/ x/ L5 |3 w' t例:元件为&AElig;20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
! H9 Z7 o, k) j: \/ Z# c0 e
* \/ o- h8 Y/ M6 d  z
: @: A/ M6 _% |) ~: f: ?' B) Z6 w8 j" a+ ^# O3 u' X* P8 ]$ E9 M, ~9 E
3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍
. K2 I( J  U$ i+ B# L9 H0 {  U* P8 W: W6 R+ g$ Z. T% _
例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个&AElig;20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个&AElig;20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
, X# h8 v" @: l6 N' A* n+ a
/ M' @# j! r  d   F# A& B" P$ K4 i. o; ^0 O( P2 F
6 M, s/ l  T- I* [, _
§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
- @% e+ q, D& y5 W8 t. Y9 J, {. m# N6 ?7 f: p0 d; J; L

- }/ ^' z$ D  ?# r  j( j" }+ j  `
例:元件40mm×40mm的元件,
8 K9 Z# A- F/ N. Q  R1 }7 T6 D  ?8 n2 n
质量指标要求为20-10,
4 i' r) M6 i! b/ b* y! K
2 o) L7 O, y/ R. o# W( U有两个5#的点子,点子 ' J* p& }* c2 s
; D! L- e4 m7 Z
之间的距离为0.8mm. 4 K. w5 w, s9 }5 R+ `6 |6 z6 \- E
. K5 {3 p4 |0 ~- g$ ^
0.8mm<1mm元件不合格 5 c0 [4 L/ E/ K% G' ^$ y7 ?
+ S) O  i' o5 t9 k9 _% u2 U

3 ]. [# D* U! N; T6 N0 W
1 c" E# I: z8 c# @§5.小于2.5um的麻点略去不计。. E; h* t4 Z- P3 b* O. ?6 ]( o

" U5 n2 K; ~- o3 z4 b# \
6 k9 x; }; K3 C5 h; _. V/ S( b  |$ `8 r2 g
§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
" M. q7 V, F4 h' P
$ X4 C' u$ l$ K; q# ?6 J4 K
/ y" U; j. r* w. @' S+ g
& I3 I& {! A9 U( V4 J0 J§气泡和包络:包络当作气泡考虑。; J; n+ D9 T; ?, a: l

+ x4 T4 `7 L4 h3 M; V6 h 4 r3 U  {' y2 u6 ]' I+ g

* B6 T% q6 u6 v依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
5 L2 i' l) C& g2 R# B4 I3 O% d% l5 C+ a  q* t( m7 F' l! L/ s" d7 m" }
气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。

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 楼主| 发表于 2009-11-5 17:11:30 | 显示全部楼层 来自: 中国上海

回复 3# dljdw 的帖子

以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) 5 `5 x3 t- m* Z' h

7 ]2 b- D/ q6 B/ G) J! U1 s2 \这里与划痕样板上比对时,比对的参数是什么?比对长度?形状?应该也不对...小弟对这个就是想不通
 楼主| 发表于 2009-11-9 11:01:24 | 显示全部楼层 来自: 中国上海
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