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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A
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美军标关于光学表面疵病的说明
( g- I4 R) B. w9 w: \7 V0 D
5 e' b8 R! X, n3 b
0 G9 e9 ~) ]; C% ?- e) A5 M
! |5 }% R1 O" E) A6 [1 c) C6 z一.定义: & V: o e3 N% h
( r- x2 m [; f8 M8 x表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。
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道子、亮路都统称为划痕。 h% W3 z( M/ G% a
' Z. e0 x% ~: X( U, a% [' g) q斑点、坑点、点子 都称为麻点。
3 A( h& X' l% ^0 F' p5 u
7 Q% Z2 f- ~4 f$ ^规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
# z: O, G' T3 L, \7 I k" y6 P, c2 m* h" I) Y, Y" V
" ^: H5 j- Y5 v* n
4 U g' A6 C0 K0 ^1 V当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 / @( m; S" y! K+ v' Z9 [- a
- n2 _- {+ ]" X5 i% c5 r7 i
8 C4 D* B* }# D& U
; a _: ]: T Z4 M0 k§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。
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" O6 @& T9 `6 S& J% O8 M1 U8 e1 j
% G8 |2 u, m% W" j划痕:
3 o- h: E& O# i. Q& m7 y1 i! S1 h2 o6 d5 k5 E# k3 f
以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) ! y+ g0 d' i+ a y8 I2 a# w
. Y" N# C+ a8 a# w. s. Z$ H: {# l这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
7 Q# W. v) o3 Y/ L8 X9 W% L8 j' O. x
! H2 m$ ]. o% K( g( g* R$ I. E
: v* [3 C) o" d5 G3 e0 R) ?7 f$ K" o
§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:& M: H/ y7 y6 @8 v% z
4 ^1 t) y8 D/ J* S5 c; S# i
4 W& q' n0 @, y6 ~$ v
! v2 o" t* `- A; G) ^; W, L% k- f1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
8 {7 g8 W8 p/ O, [- x. t! J8 C: y( x5 E2 |$ s6 ]; [4 ]
例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。
( P/ U4 }9 V' n( n7 t1 M
7 ?- ?9 h {6 D% l: s6 i Y 7 j% |' x N0 l& s% C, C
{% m, p3 E: A0 R0 F' \8 P2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。 3 b- E( Z4 m( L3 Q4 J: C$ h
; O1 b: m5 r/ I4 S* P+ j
例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 " O- C1 K3 @: L- L5 B0 X" ~
- ^- C# G8 G1 S# _$ k; G 它的等效直径为20mm
5 ^- W' @* F3 r. W: _; D/ v
$ |- w8 v6 }/ j1 w; z% ] 1/4D为1/4×20=5mm / |6 I+ z2 X3 S8 O( h
5 ~" N) V& L$ o- g; e
最大划痕的长度和为:
! H+ I3 O5 N: f1 J9 q, z
+ s. r- \0 J/ [% U. R* P 3mm+3mm=6mm
- M9 k; E: e. k: Z
1 ^$ L/ s5 y. F4 n% u0 Y7 y 6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 , z. J' x4 B4 n, U
. P! b ?7 v) ^6 n/ j
* T5 F* _9 e+ m7 e( A
) `9 R+ G, w+ o: T! D; ]2 u3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
! o8 c/ ] ^! \
+ T+ h# N" V9 Q3 P, Y例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。
- U; l5 H( d( W# g/ ]3 T. w9 a, ]7 c" u' F; p" G) H8 m, a
它的等效直径为20mm 5 r& H0 Q, A- o) L, O
% c1 b+ i1 s7 ~/ v% F4 w
1/4D为1/4×20=5mm
" }& `* s! s! a8 t9 z$ M; f" `
5 P4 M& ]8 y" }% N7 I8 r q; t 最大划痕的长度和为: 4 P) b4 a" c1 D8 L! F+ ~9 ~' ^; D
; [4 X) M; Q+ M( [' r 2mm+2mm=4mm 9 E; J, d, J# t9 }' i5 H4 w% n
) J7 q, u' L( T. M1 n
4mm<5mm。符合2条。 _/ k& S9 [# C/ O! z& c0 a
+ s& g6 Y, X6 W但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: " j) ]! Y; A2 H" p! ?3 ^4 Y
! r" k' _4 j, {# f
1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
+ Y9 y/ y6 w7 {6 G _6 L2 u h: J1 e9 {5 F1 E$ G
2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
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40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20
1 q4 T) C4 K+ A# N; \% v, ]7 y3 R0 w$ ? E% _0 h4 A8 ]. U$ |9 y
3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 1 n' S2 W7 R' V6 Y3 Z
. Q1 g. O4 {5 u8 y# b( ]! l* U [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36 9 ]5 {8 M2 _+ j- }" v N
, f* E- F8 b0 R T7 C/ \9 v4 N
元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
8 d9 w# n3 o* X
* F1 o, K1 y! J8 P7 l - C8 t; T8 F# O5 c+ |* n
9 m0 w9 R$ t1 t' c; u5 _( K- Z4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。 ^9 D# y* _' f: v
- V5 z7 ?- Y, Q9 L
例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 * m9 f4 p, _4 h' |
" l. d! S% N9 A# [; i6 G
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: ! ~" X2 l6 n; N0 f3 L" a1 o
( y$ F0 c% j! k0 R `7 z5 Y7 g' {6 w
[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 1 f- d: t, Z/ X3 m, J2 K; k
& f }( |7 Q. S ?元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。
# b/ _3 I& ~# G" S
8 D R0 N3 n9 ?) v 8 R( U4 R3 e7 H, Y7 u3 w/ A" U9 T9 m: `
$ @3 E( e# O1 q u6 A8 Z5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 . E3 Y7 R5 ]8 |8 E+ r
1 r5 E6 }$ K0 A8 R+ g1 @. X" ?; ^
9 k; b% h8 X: B: z, o
6 l' e; ~% c# x* }! ?例:表面质量指标为20-10,Æ20mm,
8 h b0 z8 Z7 Z5 B$ M- a
6 @: o) {) q- V1 y F3 i' s在如图(1)所示的区或有2条长1mm
, r* G. I' Q$ J
9 t' }( q; v3 n6 Z+ e; X* N和2条长0.5mm的10#划痕。
) H4 a! A6 b) p: R9 D7 b4 T
/ b* q! W S" m它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3)
; s5 O6 c# y4 K1 N4 Z g
" Z/ E; z- d; g h( n但它不符合5.1.5条。元件不合格。
% t0 m G" g* Y2 Y- i& V/ h# [- g$ C o2 G+ w
5 |* G( X3 c4 m
Q1 l0 q8 h2 |$ Y0 C" w4 i6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 * f6 r: I; Y& b* Z3 M
0 Z/ R Z# {7 g5 v ?
1 y# i8 `3 D3 W2 T/ b* C2 A( d. ?7 j. p* p
麻点:
) }: ~% H" L: \; ^4 U
2 c3 W8 Z3 b7 Q; u依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。
* m* z% F2 k$ D/ E' C, ?
: \4 M# s, q' e# q6 i# J(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点)
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$ `1 z) P ?, h7 y% A
* U, d4 W, R% d" `
. `+ A6 ]0 Y" e7 G# y1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 3 I1 A1 p# l: J' W( j# j
; V A8 _, j) T
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。
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3 p u9 I. S. B" L- a/ k |" t3 B' e
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 2 [; p' h3 o4 q5 e5 }( U4 a
. ]& c0 B9 _, \# {
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
. h- h5 G# e, f* J" x3 x3 `" S1 E" n2 M9 c5 R# ~
' S6 n r- }4 z$ j. t# x: V$ v- `& h& a$ b
3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 ) J! u( m4 I, w1 ] X/ l' k7 d
b3 N. O9 M) m+ }0 I5 y, [
例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
) W3 w% ?2 y/ w6 t9 w/ S7 E, s- z0 h! {% M
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§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
' M f9 e; u% y9 B
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7 T, a. L" T$ c! G. _! `( ?3 C6 [5 S% h, F* G2 J j' N( v/ T
例:元件40mm×40mm的元件, 7 l: p' _& V- y- G; F* Z, X- W8 i
1 ?/ D3 t/ f1 D |- o) Z0 c
质量指标要求为20-10, 5 Y% ]" l7 K, g' l& R+ @4 P
4 Q3 c3 }% a& |& z& u
有两个5#的点子,点子
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& g; X! B5 C4 P2 S* j) y之间的距离为0.8mm. " y$ G" u. z8 n+ f1 u6 r
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0.8mm<1mm元件不合格 1 y% B; Q/ Y2 s, N. ?+ g% ]% Z
( ^; X* @! y6 w9 F2 H0 y' k3 [
: \) A2 l( ?5 R# J3 h% f* @7 u. D% ?; N" N* p4 k
§5.小于2.5um的麻点略去不计。
9 r: p' B% l- Q, P7 T; R, ~, @* U6 q- h
/ ^/ X# F* X' K8 _: G+ f3 P) L: u+ g0 |
§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小" Z7 o4 j( g0 S2 v
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2 B" s" h6 H9 w7 a& L/ U
§气泡和包络:包络当作气泡考虑。. {! V) M6 @$ I _0 L# s4 i! m
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/ p4 E3 y; x P5 O
3 c$ t- n. p- j r5 z, S
依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
, J1 Y5 M5 ~; `5 [2 s, n& E5 Z4 r( q8 Q
气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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