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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A3 x* v) \/ b% m: _
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美军标关于光学表面疵病的说明7 M. u3 X t; R% k- I8 q9 f
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" ?' s- `0 G M& K) J! e一.定义:
* z+ S6 w( Y1 @; C
6 \# Z( }! o5 I2 G. V表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。
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1 A# l, G7 E+ N( w3 O道子、亮路都统称为划痕。 ( D# r$ B& Z; k
+ b% X1 f% X9 V$ C& V斑点、坑点、点子 都称为麻点。 ' n( l! S {8 j* t
% v3 v L T6 b B* Q: S0 y3 Q: {规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。. e3 E5 t( N: n5 o. |
. n+ c9 b u7 ]3 u, B: t 8 D+ D* `5 m6 q( o, k4 \) H4 e: J O
& [8 v9 q' a+ F7 B当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 * J, J1 v3 N/ Z! z
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/ ?' {3 S8 r9 ]! V2 X0 l( p§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。4 _! H" `. U/ U) d& z \" k
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$ M3 a$ V4 d5 s% M8 l6 `+ V6 O" r2 A划痕:
, L0 V( Q8 e a2 R' x& }% ]. D* s! {3 B* U- X1 F0 p
以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)
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这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
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/ U6 i2 X0 x! \§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:; j# z0 ]/ Z5 O/ B* S
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2 Y8 x7 @; Z) C7 b1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 ( o8 ~# W* Y: s1 q, O# d1 }* D
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例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 1 `- b/ z4 r) O* g% a
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+ Q# K2 w/ `* p3 p- f& F
3 ?+ A: r- J' h: w' ^3 E; C4 Q o2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
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9 c+ \* \! J. p# r: b例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。
, R, I9 B! {) } Q5 l: ?* p- C) f6 t3 o0 a4 h' ?; l5 D
它的等效直径为20mm
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- R# B) Y" c/ ^0 c% a1 L4 h- F" l 1/4D为1/4×20=5mm p3 u$ ]4 t) h8 V. o8 w4 v/ Z
) s3 B) F. F% |4 s# q. U
最大划痕的长度和为:
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- W; D- w, t9 o( T 3mm+3mm=6mm
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6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。
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* c4 ^, V) r9 @/ ^1 f0 F- T8 ~3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
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/ s9 l5 s; x% @- p- c2 }5 s例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 ( W% S0 L% w9 Q) H4 U/ x9 T" @
8 v: ]" I: `1 Y/ n: t* f) I$ l 它的等效直径为20mm
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) t9 k( d2 w) b; v- d 1/4D为1/4×20=5mm ! R8 w2 g: K* R0 z
! v& k+ O+ v, S1 o 最大划痕的长度和为: ' A7 E, u2 F& ~6 x$ a% r
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2mm+2mm=4mm
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4mm<5mm。符合2条。 - e6 M- z8 f+ `9 Z5 ]6 J" g- |) V& q- V
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但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
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: [; G. c5 |* k9 C" Y' K1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
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2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
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/ _+ z8 u T1 P1 v& n 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 1 ]( T: X' d Q- _) g- F0 H
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3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
, m; N1 S$ }: O; J; }
& k* {4 n: r( G; f) a9 k9 ~ [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36 3 f3 D2 [& c! O5 h# J: h
% a8 t8 w3 v, R. I 元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
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( P/ q6 N+ ^4 n+ O, P8 u4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
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; l# _: R2 Y2 G: K9 I例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 4 e7 O) V# W- {% Z
@0 \% T5 a( w所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
" W4 X: T" |/ y; u8 r: U' B! x, r! d: L8 T. b" a: g- S9 D; }
[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
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元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。 5 l# R% f* d) }! A6 a& f3 u G
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6 B* ]; E) q/ B9 ^8 A5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 6 |1 S8 N0 ~! l) e4 D- Z/ V& N7 y2 x* ^
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9 q7 q, [) Z1 A. u' |6 Y: V例:表面质量指标为20-10,Æ20mm,
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6 {' p0 ~* c4 k在如图(1)所示的区或有2条长1mm
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和2条长0.5mm的10#划痕。
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; f7 S( C4 X5 A' H3 S& t它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) ; O7 j: S, P" F8 R9 f7 z
. Q7 C) Y7 U d5 g2 E4 }! H4 f2 d但它不符合5.1.5条。元件不合格。 3 y8 `8 D* t. ~; k9 \+ f
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6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。
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' d. V* i6 I0 c5 o8 ]
. d2 L& u0 `- r: C7 a% z* E5 D; x
麻点:
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依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 : M% O' f: ~" n* ?
( w+ s* y( B4 @1 H4 G. h, l(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) / V8 @& s: o6 t. l8 f: T+ T
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; c8 O$ p3 Q* R4 ~$ i3 X: Z
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1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。
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1 k! n# {. p1 \: N6 D: f/ d9 |例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。
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0 @/ d) y: t% h% b- M# y$ E) i % N* y+ x& F! T) u% _& K
& i, q: h- @# \. o M: \' ]( [( p3 i2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。
, R; X6 P1 y$ c, q' V- w, b- B
3 E- Z+ n9 u K1 e$ L例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
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8 ~8 J6 _8 O$ T# |- N1 H3 _* t
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- g( U, Q" F' {$ F- k9 g1 q8 r3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 ' F0 q$ ?9 I$ s+ x, e
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例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
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7 b1 _: W# M. V+ o+ u5 A- e
2 \: D1 s, {+ W* G5 p+ y( _§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
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v6 [ G) b2 x8 ~例:元件40mm×40mm的元件, 2 Q$ g4 b3 i; M, x T
# W. W1 ~; b( \2 n& P
质量指标要求为20-10,
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有两个5#的点子,点子
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之间的距离为0.8mm. 6 i* y) |, K; \7 I& J- I: a
% G p( I( n$ |( H/ x" q9 q- T0.8mm<1mm元件不合格
( @7 u6 [6 n( ]( D6 @& T1 i, S8 ?1 {
% B D3 y& u: a {8 u3 Y; s) w
$ p T7 E0 d; x3 \$ y& \- @9 U§5.小于2.5um的麻点略去不计。
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§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小/ H) t/ ^! N" \6 J: l$ H) t
$ B. W2 Q$ q- J
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§气泡和包络:包络当作气泡考虑。
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0 J! U7 g E! Z% S& L3 K / j5 B- U( S. r# }8 e+ z( C
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依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
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4 J# R- F& z8 w7 c0 E! ` h2 c+ r' u" b' d气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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