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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A
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美军标关于光学表面疵病的说明2 { G# Y. u& D- ?; f
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& h. j# f6 X' c7 n' E- E% P* {) Y: u; b$ q5 {8 ?4 f2 D
一.定义:
* v! S2 @! Z) Q9 P7 S2 Z( P7 q- A
8 \( W. f9 R3 t7 C) S! C' ?表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 $ r" \) ]( C& ~# ], E
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道子、亮路都统称为划痕。 8 `* ]3 E7 ~2 g/ _- _) k! a
* _+ y0 m8 j4 k2 @8 {
斑点、坑点、点子 都称为麻点。
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" d& d; j9 e. m; P+ M规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。9 C2 k6 @, o* h
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# R! O, m: s6 p
# P3 G& z- m4 ?3 D1 i当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
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§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。) H! K( j3 V x0 y4 ]8 ]6 ]
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/ {8 _5 d3 x' }划痕:
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% V9 g2 C" }8 \5 x% R以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)
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' m7 v2 D( f2 y5 I6 f这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
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§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:
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; W" [" f: Q, S' r3 ^
8 _5 u- K4 G( ~% S8 h1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
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例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 . _" G* o6 Y/ i. s& W
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2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
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例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 ( {$ i" p& v: W9 O
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它的等效直径为20mm 6 J* ?: x0 j. N0 {8 v/ P* O
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1/4D为1/4×20=5mm ) S' c$ y6 n& y. b
5 X. n6 E% }4 i8 Z, D; @ 最大划痕的长度和为: + \, g0 X1 i# a: i
7 C {# E' Z+ N 3mm+3mm=6mm ) P! y" _3 {& c5 T
4 `. K; D8 q/ y5 P5 s1 D 6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 X: U/ A4 y, W0 w4 E0 E
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3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。 7 s3 f+ j9 o5 j, T# ]! G
* b( ]% r; l9 v1 s8 {0 X9 H) e例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。
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它的等效直径为20mm " C2 {: f& |) w J
P' k/ A" `. M" }* ]5 t% g% L 1/4D为1/4×20=5mm ; q* T" M8 I9 h
+ D8 b, ~7 z& `8 E 最大划痕的长度和为: & ]$ [8 c5 [8 M7 s" s8 D- q. p
0 z+ p$ r3 R# E+ T- L- E& o
2mm+2mm=4mm
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V2 S. b8 K1 t# }% r$ v* o3 Q 4mm<5mm。符合2条。
$ Y9 x3 u$ z8 q
$ k; k9 L) o/ G但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
+ k# E4 w }" r) [% J. w& h& V9 m" A, _( A! F2 L% `, ~0 a+ c3 d5 ]
1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4) ) [$ C7 G1 P: D! Q4 t
; i- e* a$ a1 H+ [; T5 T! a. q
2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20; 1 y$ t) ]" |9 N
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40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 9 d% L: X" u& I7 f/ V
8 c! K( H4 a2 O L# R6 P3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 1 X. o6 ]- L+ V4 E
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[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36 . l4 s" f6 H) w7 r& g) u# A2 B4 B* g
( L* I& i$ a0 x$ x( T 元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
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4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
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例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 / C2 d0 k _& W& I' y
1 F+ y. H' ^, b
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
) ?# R+ W+ f# H4 x; k0 P
/ u% \1 g( f' K+ O& B* A* ^) c[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
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元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。 : g+ P8 p, e- u) M# G% w$ m
7 R# G$ a; [8 s ]) D
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5 v- R" P3 {& y) i, \7 C4 \5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。
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' B h6 {: w1 q2 ?% C B: y : s# w5 W7 ]. c% ?& Z1 R
4 \+ B ~/ ~ v) J. W
例:表面质量指标为20-10,Æ20mm,
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在如图(1)所示的区或有2条长1mm
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% p+ Y9 _) _/ {5 m! P和2条长0.5mm的10#划痕。
& K" V8 J6 ]" W7 m
V, G8 N m9 a5 _( d, g0 i5 p它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) * H& g/ E, x9 V: U, S
3 }* E1 v' a& u* W2 r但它不符合5.1.5条。元件不合格。
3 a) }0 A2 g/ l# _& c, W( D" Q) [% ]
* k5 M% J( z3 U3 O
) ?) t/ W1 t2 k# b* N0 Q% J6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。
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: j! b, P. k& {9 B0 |, a
2 ~* i5 H- D2 C; ^& P' o8 _7 S3 ]麻点: 7 h* m' L1 e7 K$ o8 U3 o1 N
' i% t9 P- p! W) d) X依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。
2 e( D2 Z$ x: d3 p1 Z6 v8 W% x
(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) # P% w' O: n# O" Q( t
( Q. g% N i% W8 G5 `
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9 L" O- I F6 P2 t7 s1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 ! U( V$ J8 M9 }) l5 h
6 c. v' c& Z, J7 w' k! F9 P' `1 I& n例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。 5 y# F, }+ i7 D* {% N
& W8 P7 Q3 Z4 g* o: r7 R* | % e. _8 J0 m4 a2 f
( W* ]( p2 W- w* J2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 / N0 h Y0 n% C9 w$ k
! p) |' }& D- {, l/ ^
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
# [# O, p* u" ^/ J3 M( t& l; N. S' w2 b0 v
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3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 & I" ~- D: z6 U0 H
1 E( [7 j K- U) z7 v- X例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
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4 p6 }7 d+ V. t% T, ? ]§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm$ X6 c/ | i. t$ u
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3 Q; w9 a/ k6 n4 p, E6 y1 E1 F" f" O6 c8 z4 y$ R5 u$ ~5 z/ @
例:元件40mm×40mm的元件,
5 ]8 `$ A: C, D$ P1 y1 i& N, q& u1 e: B0 @2 @! g
质量指标要求为20-10,
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有两个5#的点子,点子 4 r1 u, G; k' `% } x Q$ o
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之间的距离为0.8mm. + t' K; N5 a' t, I
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0.8mm<1mm元件不合格
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§5.小于2.5um的麻点略去不计。
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§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
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§气泡和包络:包络当作气泡考虑。
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依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。 / w% E9 ]- ?$ U( S5 n& \8 _
; R9 @( b9 d5 b! i气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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