谁能解释一下光学检测是如何达到高精度的？

马尔马拉海

无意中看到一份资料，“投影仪”精度可以达到0.005mm
                                    “二次元”精度可以达到0.001mm
3 f& d- R; N9 |) a& x9 ~  没想到这些光学检测设备能达到如此精度，那位仁兄能解释一下，从原理上是如何办到的？
/ T8 k' D2 H! ^  在我们物理知识中，光、影总是会变形、扭曲，容易受到干扰。而且，就其衍射恐怕也不止0.001mm吧？
  困惑!
          盼高人指点一二。

gaoyns

高精度光学检测仪，包括光源和ＣＣＤ摄像头，是它还包括工件夹具、显微物镜、适配镜和显示器，工件夹具设置有Ｖ形夹口，显微物镜对准Ｖ形夹口，适配镜设置在ＣＣＤ摄像头和显微物镜之间，显示器与ＣＣＤ摄像头连接，显示器的屏幕表面设置有数条相互平行的刻度线，将工件设置在具有Ｖ形夹口的工件夹具上，利用具有长工作距离的平场消色差显微镜物镜进行放大，并通过无畸变适配镜将图像输入ＣＣＤ摄像头，成像在显示器上，通过粘贴在显示器屏幕表面的透明薄膜上的刻度线，可以很清晰地对工件微小的表面形状进行高精度的检测，操作方便，检测精度高，重复性和稳定性都非常好。

niao_csu

高工知识真是渊博。利用光学的衍射，折射，成像，光谱光波的各种特性很容易实现将表面缺陷放大，来提高检测精度。

mixin

简单的说就是放大，通过放大后再细分。

juncox

那么高的精度，光机械部分就值得我们学习。

hanhaikuanglan

谁能提供一份使用说明书？我想细致地了解下。谢谢。

jialei31

激光的波长都是nm级的了，测量微米级的就跟玩一样。

jialei31

采用光栅尺，原理如下：
/ [1 L- M% }2 _$ [光栅尺是通过摩尔条纹原理，通过光电转换，以数字方式表示线性位移量的高精度位移传感器. 光栅尺是由读数头、主尺和接口组成。玻璃光栅上均匀地
) m( n9 O: n+ {& `% q+ s& @刻有透光和小透光的线条，栅线为50 线对/mm，其光栅栅距为0.02mm，采用四细分后便可得到分辩率为5μm 的计数脉冲。一般情况下，线条数按所测精度刻制，为了判别出运动方向，线条被刻成相位上相差90°的两路。当读数头运动时，接口电路的光电接收器分别产生A 相和B 相两路相位相差90°的脉冲波.输出信号再经过数显系统细分处理,分辨率是光栅周期除以信号细分数,经过电子信号细分处理分辨率可为5um 或1um 光栅位移传感器的工作原理，是由一对光栅副中的主光栅（即标尺光栅）和副光栅（即指示光栅）进行相对位移时，在光干涉与衍射共同作用下产生黑白相间（或明暗相间）的规则条纹图形，称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白（或明暗）相同的条纹转换成正弦波变化的电信号，再经过放大器放大，整形电路整形后，得到两路相差为90o 的正弦波或方波，送入光栅数显表计数显示。

lxjsunnyboy

我们现在用的是二维投影仪来测量生产中的各种样板，我们精确度基本在0.001-0.003mm之间，是对零件进行投影加放大来进行检测的，相当准确

hux0730

, a& T' N6 Y  J可见光的波长范围在770～390纳米之间。波长不同的电磁波，引起人眼的颜色感觉不同。770～622nm，感觉为红色；622～597nm，橙色；597～577nm，黄色；577～492nm，绿色；492～455nm，蓝靛色；455～390nm，紫色。
770～390纳米相当于0.77-0.39微米（μm），要达到衍射或干涉，缝隙宽度得与波长在同一个数量级了。0.005mm等于5微米（μm），为可见光波长的8倍以上了。