真空溅射镀膜的相关概念

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真空溅射镀膜的相关概念

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在真空中，被加速的离子碰撞固体时，一方面使晶体受到损伤，另一方面与构成晶体的原子相互碰撞，最后使固体表面的原子或分子向外部溅射，溅射物质镀到基片上形成薄膜，称为真空溅射镀膜。溅射方式很多，其中应用最早的是二极溅射，根据阴极靶子不同，分为直流(DC)和高频(RF)两种。用一个离子打击靶表面所溅射出来的原子数称为溅射率。溅射率大，膜层生成速度就快。溅射率与离子的能量、种类、以及靶材料的种类有关。一般地说，溅射率随人射离子能量的增大而增大，贵重金属溅射率较高。表2表示几种靶材料和几种离子对于500电子伏离子能量的溅射率。 1 O! g9 H- I# n0 ]+ e! R, W/ u& U 表1 对于500电子伏离子能量的溅射率 # K7 G8 c0 ^9 c* h - i( k7 ]( Z' zhttp://bbs.chvacuum.com/images/default/attachimg.gif http://bbs.chvacuum.com/attachments/month_0904/09042410588d031215d5b8f901.gif 下载 (15.77 KB) 7 天前 10:58 + r' }9 j; C8 {7 s- j

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