真空获得及应用设备行业国家及行业标准

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[table=90%]真空获得及应用设备行业国家标准
国 家 标 准
真空获得及应用设备行业
序号	标准编号	标准名称	代替标准
1	GB/T3163-1993	真空技术术语
2	GB/T3164-1993	真空技术系统图用图形符号
3	GB/T6070-1995	真空法兰
4	GB/T16709-1996	真空技术管路配件装配尺寸
5	GB4982-1985	夹紧型真空快卸法兰
6	GB4983-1985	拧紧型真空快卸法兰
7	GB6071.1-1985	超高真空法兰结构型式
8	GB6071.2-1985	超高真空法兰尺寸
9	GB6070.3-1985	超高真空法兰用铜密封垫
10	GB/T8105.1～8105.2-1999	真空规管接头
11	GB7775-1987	蒸汽流真空泵加热时间和加热功率测试方法
12	GB7776-1987	蒸汽流真空泵泵液返流率测试方法
13	GB7774-1987	涡轮分子泵性能测试方法
14	GB/TⅢ64-1999	真空镀膜设备通用技术条件
15	GB/T18193-2000	真空技术质谱检漏仪校准

真空获得及应用设备行业行业标准

行 业 标 准

真空获得及应用设备行业

序号

标准编号

标准名称

代替标准

1

JB5278.1-1991铜丝密封可烘拷真空法兰连接型式

2

JB5278.2-1991铜丝密封可烘烤真空法兰结构尺寸

3

JB5278.3-1991铜丝密封可烘烤真空法兰铜丝密封圈结构尺寸

4

JB1090-1991J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

5

JB1091-1991JO型骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

6

JB1092-1991O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

7

JB/T7673-1995真空设备型号编制方法

8

JB/T7266-1949容积真空泵性能测量方法

9

JB/T8106-1999容积真空泵噪声测量方法

10

B/T8107-1999容积真空泵振动测量方法

11

JB/T5971-1992单级多旋片真空泵

12

B/T8944-1999单级旋片真空泵

13

JB/T6533-1997旋片真空泵

14

JB/T1246-1997滑阀真空泵

15

JB/T7675-1995往复真空泵

16

JB/T6921-1993罗茨真空泵机组

17

JB/T7674-1995罗茨真空泵

18

JB/T7265-1994蒸汽流真空泵

19

JB/T8472.1-1996蒸汽流真空泵抽气速率（体积流率）的测定

20

JB/T8472.2-1996蒸汽流真空泵临界前级压力的测定

21

JB/T8540-1997水蒸汽喷射真空泵

22

JB/T4081-1991溅射离子泵型式与基本参数

23

JB/T4082-1991溅射离子泵技术条件

24

JB/T2965-1992溅射离子泵性能测试方法

25

JB/T9125-1999立式涡轮分子泵

26

JB/T4077-1991高真空插板阀型式与基本参数

27

JB/T4078-1991高真空挡板阀型式与基本参数

28

JB/T4079-1991高真空蝶阀型式与基本参数

29

JB/T4080-1991高真空电磁阀型式与基本参数

30

JB/T4083-1991电磁真空带充气阀型式与基本参数

31

JB/T5410-1991低真空电磁压差充气阀型式与基本参数

32

JB/T6446-1992真空阀门技术条件

33

JB/T6923-1993真空加压浸渍设备

34

JB/T6922-1993真空蒸发镀膜设备

35

JB/T8946-1999真空离子镀膜设备

36

JB/T8945-1999真空溅射镀膜设备

37

JB/T53017-1999旋片真空泵产品质量分等

38

JB/T53014-1999单级多旋片真空泵产品质量分等

39

JB/T53015-1999低真空电磁压差充气阀产品质量分等

40

JB/T53016-1999往复真空泵产品质量分等

41

JB/T53018-1999罗茨真空泵产品质量分等

42

JB/T53019-1999油扩散真空泵产品质量分等

43

JB/T53020-1999油扩散喷射真空泵产品质量分等

44

JB/T53021-1999真空镀膜设备产品质量分等

45

JB/T53022-1999滑阀真空泵产品质量分等

46

JB/T53022-1999真空阀门产品质量分等