PVD磁控靶的磁場如何設計?

s_y_y1 · 发表于 2008-11-17 16:23:21

您需要登录才可以下载或查看，没有帐号？注册

x

最近負責PVD設備，電場強度 DC 600V ，氣体為氬氣。
請各位大俠協助磁控靶的磁場如何設計?
磁力線如何佈置?磁場強度?
謝謝。

s_y_y1 · 发表于 2008-11-21 22:11:02

各位好心的大俠，幫幫忙啊，今年搞不定這PVD設備，明年就要努力找工作了！！

qian300 · 发表于 2009-1-4 14:11:49

真空手册上有详细的介绍,

yaovac · 发表于 2009-5-12 14:27:39

真空手册上的基本上没用。。呵呵。。。最好找个仿真软件仿真一下磁场。但是我找了很久都没有找到。。。

，最好的方法就是找别人的靶测绘一个。^_^。。

		自动登录	找回密码
密码			注册

通知