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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：5 Z- E% O6 A' [) ?3 \% m' d
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NEBB-----无尘室测试规范
& Q9 Z" q3 A, l; I0 \" ?/ P& w! g+ E& c: H, X! b$ B: \
测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。. W) d0 n; ^/ Z2 v
一、无尘室测试规范9 k* U, w6 \- z; ^
有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。& a* i/ Y6 V* Z z8 e0 j
- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。5 @/ U- p. Q5 E: D! f- e2 N4 k- B
- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。3 M; [1 D; w' H+ r- }
二、无尘室常用名词
& \+ J! J0 }( p M$ D7 p3 z- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义
$ d% R! W2 t- T, D无尘室的等级
) B" @9 m7 z0 D6 n- G% Y使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下： # k# b2 |8 g7 Y. R% P
Class X (at Y μm )
& E6 F, j7 z% p! S; s9 D' d其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：
) I( M) |7 z; S7 @0 u uClass1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
/ h! j( G) w8 D* X0 Z( ~Class 100(0.2μm , 0.5μm ) % L* g" ]3 p+ r) E" A
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
, ^1 ^( x" |6 G* h; i8 a在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。: b b) i% A6 w$ X/ H6 g2 f c
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
9 A! `% ?# x, F0 L8 t" a% ]& uClass X (at Y μm )， At-rest ( U& n8 a8 n2 I/ E$ p
供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。. M Y% @4 p [
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
# E2 c- ?+ S: Q8 w: x! J' DClass 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built + A# _" X4 D/ J1 _
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built : h5 ~+ v. X; f3 _
这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
' H: N3 H& i1 P( _/ P, p以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
8 s8 G$ m% }- E+ i4 X: Z, D
8 t- r: H! Y: o7 ~' a. e
e/ \5 ~$ L: ^9 d2 _Class Name $ q* `' P0 a& r
. P! f7 V# ^0 x- B% ?+ P0 `" W
& Y1 D( h" ]+ o/ ~0 W3 }9 x 4 @9 x W! y @
| Class Limits , B3 g" V2 T8 p( k6 o: @
| 0.1μm 7 _, [ Y# O* q' I6 W
| 0.2μm
7 M$ n: _2 J6 Q- z9 ~" G- R | 0.3μm
/ ^7 _3 z9 s9 I( \1 D% J$ P" R | 0.5μm
$ i. [5 b, w+ r5 A | 5μm
1 M* d6 | a; w0 o1 c5 | | Volume Units
5 z5 `; x" P# ~4 S4 p9 i | Volume Units
0 O5 G% B! s; B; V( e7 z | Volume Units
( n! A! R' d1 Y W# |. ^7 Z | Volume Units
+ H: \8 o1 n: s( G | Volume Units
/ H: H$ L2 y3 M/ H4 x7 e | SI - \/ w9 c. S" I3 _3 t8 j, r" O* \
| U.S.
' @+ ^4 R, p) m+ B. ?' v# G | (m3) 0 X Y% n( Q$ P; G: F. K
| (ft3)
- X4 f; Y2 i7 A | (m3) * ~/ T& V# |9 S; X# C5 C' C5 d
| (ft3)
' c; C3 H; m# O' o* D' [- _4 E | (m3)
* ^: \# c+ B) d' b# t7 H! p1 Y) M& ? | (ft3) : |7 k7 @" Y3 U8 o
| (m3) c( _! Y7 D: v1 t! ~
| (ft3)
: E& m d' ]/ f2 H9 r; [: Y$ p+ P | (m3)
7 \* `' i. f9 C; h) s! L2 a- x | (ft3) 5 Q% B* o4 `0 K) Y4 C
| M 1
$ ?% i4 ~& Y* e/ t, I3 G% K! H | : v( S6 `2 P: v* ~3 G
1 [/ A h9 p7 v' x/ [ h5 z
| 350 1 ^7 S/ |' Z* q) E! n3 Q
| 9.91 - i4 Q, ^# e5 Z) B8 K9 T
| 75.7
4 X1 n& {0 r; e; g5 J( R | 2.14
. T, e. O8 u2 U2 _; L( { | 30.9 / g* b7 U5 M5 Q6 C
| 0.875
8 J% s0 r) N& q1 i | 10.0 9 J; Q+ I0 Z: P/ ]. l9 K7 i
| 0.283
: |7 h3 y3 R8 T. M( R6 u | - C! x% _, q0 t1 b& a$ n! O
| -
4 e( R3 f7 w d* I: s9 @. ` | M 1.5
g; |! x, f7 I0 G | 1 + F! G0 L: H6 I. }- @0 p
| 1,240 ! j/ X: _& x9 s& N7 \7 S' N- w" O
| 35.0 , P6 N3 H" {* b
| 265
1 L& b5 B3 b# X0 i! }, x' S7 u5 [ | 7.50
' T; _6 |" r/ j4 H) f: P | 106
7 s9 }# W& b3 d$ _! m | 3.00
8 g0 y/ b. q8 ~ | 35.3 3 h" d0 w+ g, E' l* C
| 1.00
+ W. {$ U' L/ o8 |8 I: S | - ; v$ O# B- o7 [
| -
4 V" D1 x4 @4 J8 q K | M 2
# p' @1 y( m+ ?/ v8 C7 Q/ B$ F | 5 z1 @: Z5 P! C0 z; W
" S8 c" b3 w6 {* c# I* ~
| 3,500
9 b) g3 P2 \; C% j/ U | 99.1 ( {! }, A9 _' L0 T: s& l3 ~
| 757 9 `& F$ t6 J# Z. ?7 O
| 21.4 0 F E4 j% L( H2 L
| 309 + n C7 W3 v' I, e9 @0 D
| 8.75
8 ?# j# V/ W9 X5 S | 100
. h+ ~/ p4 ?4 ^7 k0 Z | 2.83
% Q2 k' C6 V3 e2 z. ~ | - y- C' `1 X& t+ l6 V% A; l9 z
| - i8 w$ [- z& i+ T; Q
| M 2.5 ! n* y/ z4 y( k
| 10 : F& \0 Z; U0 f# v3 T( r
| 12,400
5 k" c, }" ]5 T7 B9 l | 350 8 Y& p5 f# V4 L+ f; k) u
| 2,650 ' F% B7 a+ X9 y6 q/ v* V( A
| 75.0
# G: j5 g5 E. { | 1,060
) B- |( D; D, t9 ?9 B. o | 30.0
) | P$ G; t: l% J | 353
5 }- a( M0 s. E7 Q0 F$ g | 10.0
0 O. S8 _- g+ b1 }% f | -
% n" P- T( T& c( K | -
+ d5 ~" T; O% C( F8 @& y | M 3
5 B/ C: g+ t" } |
Y% g8 D- b0 C! i; \( @3 o
" S w e, |! t( R( w( V* r$ @ | 35,000 & ^; G. _% M) ^/ C- t( e1 f0 U
| 991 ) N6 ]( P$ N6 Y( }2 D2 y5 J
| 7,570 r- i. q/ y. j: h. N+ b9 G3 f# _
| 214 - J) V6 o0 f# V: X x2 X2 r
| 3,090 6 B( f5 v7 }+ e1 w8 y3 D4 [& H! |
| 87.5
2 J% r5 Y$ t& A* X& g | 1,000
9 o q9 p' ]. _- F% W' L8 | | 28.3
1 W2 _' B, A4 J | - 0 M" k$ U2 B9 d+ _- i! {2 `
| -
1 |2 R3 K8 G& F- T+ d" G | M 3.5 ; @9 s# o# ?, _0 A) ]4 ~
| 100
2 J# J, x* A( `4 g: W2 C4 E9 B | - ; n) n2 ~( T1 L4 D
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- ?$ l7 U9 Y# N! V( m | 26,500 6 Y: O- o5 X9 H# p( a
| 750 & a) g) k5 U/ a3 g0 B
| 10,600
2 A; S3 p, G" `8 s$ G8 V | 300
1 T0 n0 V9 Y5 ~+ m | 3,530 / D- D2 c* A! S+ Q
| 100
: n1 l) X8 Q4 A; y, K% e7 z | - 0 M" U3 L0 G ^" ^1 ~
| - . R8 e8 G1 b v/ c' m
| M 4
1 ]0 }( x* _& Y: f% _ | " f. i$ h7 Y, L0 {
4 ^0 O K2 ]# [: i5 }
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4 m4 c* G# Y: C# z | -
1 F; q/ \0 j/ a/ Q" i8 j; m2 R$ Z | 75,700 5 \! a' H- i+ b& N+ N
| 2140 0 e( U1 x5 [6 ^6 }( P5 q/ a* A
| 30,900 9 {; t6 Q- ^6 s; y2 W }
| 875
1 G3 y% ?& E' ?" O | 10,000 9 b% ^( y6 Q& \8 @# u$ ~' Z
| 283 4 [1 K1 z9 g# [7 X8 i1 h5 W# t
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& O7 }- Q2 ~9 s | -
, r0 P) W, t; b9 t$ _% m | M 4.5
8 k" S: s. P6 H# S; e | 1,000 0 ?9 e5 y( E8 S4 K& v5 ~
| - 4 Z. B3 f: B: p) _
| -
! G- e5 z& q$ k. B) f! P | - ! e+ @" v5 {9 _
| - , l# R) G. V% c( \* F L) N7 I
| -
# S) }6 L( v1 U( a5 |% P2 D | - . t1 }) _+ ]% H: e) ]; [4 f: S( G
| 35,300
/ k& n# @/ |1 ^" R* o, V0 L | 1,000 8 e5 M; Y8 p3 I% t/ U3 G* L
| 247
8 p$ N' @! x* T* m% B | 7.00
" q6 d. A X+ b( X J. ~* J | M 5 & w9 k! B0 O( c# ~ b& W- G
|
2 E0 ?* O7 p7 X! ?: V. m
5 s5 h% Y7 ?3 ~7 F4 j/ s | -
! R. d& ~2 N% G# s% k | - & v ]5 h# @, ?; x8 i3 p3 g
| - . E0 X) @! s. b/ O
| -
. ~1 d; _9 o0 E | -
' I e" x2 R9 @, S9 z" O | -
- X! m* F! n* f) q9 G: I: v | 100,000
6 r/ ^/ ], W# g | 2,830
9 l& t* y- K7 I& j$ s7 R. @9 S, p0 { | 618 3 O/ t) T( P3 I! a9 K6 g9 B5 e* g3 {% L5 l
| 17.5 - ~3 G+ q- W7 S' M L' a b
| M 5.5
# i7 `' L: M! u9 o9 x, m. X" s | 10,000
3 }/ `6 R; e9 z; j- Q | - 3 n2 p" S0 U" h/ \4 K4 M( ^) t
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9 y; P/ b% h% ^0 ^+ ?5 ] | - ( o; h* ~ l9 f/ d0 j! H
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" R* l! P' d+ Z7 ^; S2 E | - # u8 X$ D- Y6 f) F
| -
* u* N- b& r2 h( P- F! ] | 353,000 ( a. W% y% Z* T* r- E
| 10,000
) Q/ u: D+ y& I, S O | 2,470 # @/ s: z+ w, N/ O/ I" {
| 70.0 - j4 {: x6 j% s1 e+ T$ M1 }
| M 6
" z! x9 K) g; w) [4 _% ~ |
1 O4 W1 s3 O4 J" q9 v
2 ~, A4 l& O: g3 a: j | -
6 W# |9 o+ A% X! D9 {$ ^ | - 1 Q9 t) e& s# G ?5 D5 T
| - 5 V0 {" T# a0 | A, l
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0 a8 o4 i. g7 c | 1,000,000
5 v1 ~# d. y3 p3 G | 28,300
5 X7 \6 ]. v0 X. o | 6,180
: z1 i& y* ~ e& J) A | 175
7 A$ _; q2 A! H- K& p | M 6.5 6 k4 U. w) k- x5 w+ C, T. l
| 100,000
3 X2 H- }* }# Y9 W* n | -
% C( [( A/ s" F+ W, a! b( F/ x: E | - ) Q6 u) m5 a$ f5 }, @0 i& A
| - 7 M2 h7 o4 D/ ] c# F7 s, O
| - * m7 G t5 ]4 }3 g# s
| - 8 a. U/ L _% w/ L; G
| - 9 ^* H* l( W7 I
| 3,530,000
2 _8 q- d% B* e9 x1 y5 q5 _ | 100,000 / A' E" P' x# ^6 x
| 24,700
6 ]5 n: ~: \0 c! Z7 c" n | 700
7 j( u+ v9 B8 J; f) c0 h( |* x | M 7 1 M3 D5 O1 y, J7 i L
| 5 s8 O! ~: Q5 p% k
6 W2 D" E7 k9 g% q* }
| - 5 `' j9 A% a7 f$ p
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o s& ]/ P- z1 f( t$ G8 t0 \ | - % ]$ P! A2 t9 p, }/ Z9 K, v
| -
8 ]/ ?+ @8 W* f# X# E | - ( I" G+ J# B6 V; ]9 m9 u6 I
| - " K# A) f8 f, t/ Y
| 10,000,000 " W+ a* A- K' R: p6 V
| 283,000
. c c9 Z! ?; ^% Q' h4 T: V | 61,800 + a& f# O$ Q: \! Q$ M$ I5 G
| 1,750 ; u7 Q. ?/ C9 T8 M+ F
|
8 \$ ]9 o7 k0 r+ N' S
+ W3 o. f- `: k1 @+ k. {/ D4 J
Fed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N) 2 ]4 b& v$ m: v" G# l! a' u
| Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
3 V- {' i9 e% x! ^ | 0.1 mm
# Z0 t; P: n. ?2 E5 K | 0.2 mm 5 J* n& L5 i `8 B3 H4 e, l/ d
| 0.3 mm 9 z1 I+ |+ I' d. x' j. {
| 0.5 mm
1 E9 J0 e6 m, u | 1 mm
, s0 w& t8 E$ D' A5 D5 W | 5 mm / ]" C7 O: M& V( t" w9 |9 t
| ISO Class 1
! @% N5 {) u7 i K | 10 - q# ^0 Z7 T$ c
| 2 7 M2 L) g0 s. t1 p6 v3 S3 }, v
|
' Q2 J9 m& `1 k C" U |
% ?/ a% k4 r9 ^" e1 c2 u* V | 8 o3 ^1 j* g; k0 i& _" C
|
/ ^8 p% Z& l! m! a( l7 Y" Q | ISO Class 2 # m. ^, g% I, ?: \
| 100
8 J6 ?7 q! y6 m: s7 M! B4 F' l6 c | 24 + `7 S$ s0 o/ p1 x, O2 h- I
| 10
+ w) o& @. }. p B | 4 9 R' y" y0 U0 ?+ h1 c
|
' B8 x# ^2 y$ }! [ | 7 X+ w# v# U3 Y W% c! \
| ISO Class 3 - x" a! R+ s4 ^6 ^
| 1 000 . s' }! m: z; l5 U
| 237 2 B. s6 K! H- ]5 }# ~# t
| 102
+ g7 C0 ~- n2 _8 R' o, M6 d$ { | 35 % I, ^' W! j Y
| 8 ! O; b5 {1 q& S! m% W: y9 Q" F
| $ y0 @4 c* p0 d& ~" b! J1 C* ^
| ISO Class 4
' l& M: h6 }+ Z3 |$ W2 T3 K R | 10 000
7 q- _& J9 V: B+ S, l | 2 370
" Z' h- B0 W* b' ]* x2 z0 V( ] {+ H | 1 020
0 M& k+ K' u! f+ e' S5 S+ R7 v | 352
l5 C+ N3 z# I+ B0 U | 83
7 G) x* j1 P8 z; D7 C8 F |
z5 _, X Q# \2 w | ISO Class 5
- O [5 \, V; ]& i5 L | 100 000 9 j' v* A2 | E8 j
| 23 700
' s8 O1 D- F0 ]' P) Q% ? e2 X | 10 200 " V8 e- } ^, G4 r- ?" ~: ]
| 3 520
2 g- m# {7 [7 A5 j/ m | 832 ' f) q% H8 d8 g5 B, W; @; h
| 29 ; B, a2 I O' b
| ISO Class 6 " x/ K/ ]4 ~+ s' Y7 l
| 1 000 000
4 o# N1 O: f: r% X( V# t7 M | 237 000 % f) Z7 _. p6 e) U- x
| 102 000 ' C) q' L0 K6 v8 }
| 35 200
* Q' C5 q0 O' g% M& W6 U | 8 320 ( k& n$ v3 O! M) m# G
| 293 1 H" x/ c. k- z% h
| ISO Class 7 5 v, s$ N6 \: }" l
| . K' G- D z' e
|
- z) C0 u3 e$ ~' f& a3 o | " ~5 T" f/ N& q. J o. i% F ?
| 352 000 / u' j: H& Y8 ^; y% E5 Z# M: o& L% j
| 83 200 % _3 @$ d6 p6 V7 h T3 {
| 2 930 % `" v. ]5 c; V) ` J+ O
| ISO Class 8 3 m: g& R( h# m
| ' d1 j2 j5 G. o! m- m3 K0 H
| 5 [% b# y# g- w" \# e1 e& V o
|
z6 t( S3 U' r" } w0 I: W. U+ F | 3 520 000 * s% z! [- {: G
| 832 000
7 ^+ S& g" s/ m | 29 300 $ v8 {2 s0 i6 k9 v2 t% m. D- c
| ISO Class 9 ( O. O3 o L* Y& I; N) n+ t) P
|
2 f# i& T u, c4 z | # p: h: d5 e Z3 m
|
( n* @5 r, y: K | 35 200 000 . Y6 D/ @* s! L- |
| 8 320 000
/ R" m9 u& G# b | 293 000 D5 P d% \: t& W
| NOTE
: s1 j1 P3 w* u0 s, dUncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.- L d) r6 L5 z3 ^
: p2 c. o/ C- ~1 p' L' n* h+ U( fEquation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径
5 C# W$ |# |9 l d1 A$ u
( @9 m& G! n4 X+ g
" S5 h9 G3 V/ q3 i( w9 Y( M |
4 P, d4 I+ Q9 M0 ^" I, j5 V
5 u [ o8 {) J+ |) u8 j( K3 ^
ISO-14644 洁净度定义 # V, c1 |. H/ F- _ }/ B8 D
3 Q% z3 C! e+ J0 o8 e* @. S+ y8 ^
# j2 z- I/ i! D/ G" t ]' n比较以上两表我们可看出
9 m: w3 T: z3 E* t! q- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围
: P( D! q2 r* l: d' @: i2 R凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。
# z- b) z9 t' ?5 n- L" e5 p- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
- Y) O _7 s) C! c5 W; @IEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。5 z5 \/ m1 a7 V3 u0 K
IEST-RP-CC006.2 Table 16 O9 o8 P! \- U. L4 H
! p3 ~ c" Y g章节) s7 w! A( [; ?/ {) ]/ f. p
| 测试项目
6 d6 a( I- l3 X9 d2 R | 单一流向型 & f5 r8 u7 c' U$ e d9 S
| 非单一流向型 @ u$ l0 o* }: H% D
| 混合型 8 {! B- B l. b4 ?% Z, {( o
| 6.1
; p( {* h! k; o1 N) N: e) e | 风量与均匀度' Z4 b7 b8 Q. t j& |$ d
风速与均匀度 : }- I) B% N; m# g
| 1,2,3 / L, v8 j% [9 p6 j. N" P, v
1,2,3 4 m X8 y9 Z$ z' _, @: G4 \4 i# s6 \
| 1,2,3
$ j/ q0 ]/ p$ j J$ z, `* F. M* {OPT 1 I( R2 n' O- A4 V" x. C
| 1,2,3 $ o0 E8 |' U' v# Z' i
OPT
4 t3 V- V$ S9 i. Q | 6.2
6 K" j/ x8 ? @1 b- d& c | 滤网泄漏
1 M Y+ N+ u9 R! k' Y | 1,2
8 r% L; q* J, _+ [$ `4 O | 1,2 ) y0 S8 X! s D! ~1 B/ w9 d4 K: S; g+ h" o
| 1,2
/ }6 \2 F7 w( C3 r( T | 6.3
5 f7 R5 n: Z" D& b+ g3 t) t | 洁净度
- K" ?; G/ a) m: ? | 1,2,3 0 G. o4 q* D' X
| 1,2,3
7 b1 b0 c0 `! B- R5 W& M2 i' r3 y | 1,2,3 3 l U2 n! e% @/ \* ]! Y+ f
| 6.4
K: J" w% s% x; C$ Q | 压力 3 h) O, s1 l- E9 o
| 1,2 + C c+ c8 z; {$ v+ J
| 1,2,3 : Q8 y, Y* c3 @9 U+ r* S' n
| 1,2,3
5 f+ L& s) P* B5 }, M | 6.5
0 \$ W1 Y% ^$ m Z l | 平行度 6 t5 a B/ \# T k6 h
| 1,2 4 g! U% P T3 @4 p
| N/A 9 {! q! f' [ T5 _4 S0 n
| OPT (1,2 only)
# ?% K/ ?+ d4 _" H' B# Z' D9 w0 W | 6.6
( P' _" z6 G; p6 Q, {' G | 空间泄漏
5 j- N' o# Q& a- N0 ~" K | 1,2 7 {. d% s: c9 M
| 1,2 % }9 K O8 R" z( b) T& v0 Y- _$ \
| 1,2
7 E9 S Q, K, M& M2 Q# l8 }) f# u | 6.7 4 J9 s8 Y2 u7 \- W/ a
| 恢复率 # w5 L, \3 Z M( z5 U5 g
| N/A
% J2 l! c6 @' K6 }" ~8 |1 c+ m | 1,2 3 ]4 T, Q4 W9 R4 s4 d$ A
| 1,2
+ n6 ]/ U4 p% }3 s# O. k. o7 s+ H* d | 6.8
3 p+ w6 d/ T% x9 D( o. b | 粒子沉降测试
) }+ }$ m# f6 F( {: ], G4 E' S/ Y8 }# x | 1,2,3
3 q3 T! G5 y7 V8 J/ ]* B | 1,2,3 * p# h* Y( V& V/ m
| 1,2,3
8 C0 T' G4 b o4 d | 6.9 & I6 F2 v" i- Y* P
| 照度 5 S" d5 [9 G* _- B* K
| 1,OPT(2,3) 7 o! [) Y* i2 P2 X3 |: O
| 1,OPT(2,3) 9 x' L; W) }( x" P
| 1,OPT (2,3)
7 A9 \: N5 M. \ | 6.10
7 Q: W" e5 S: w; N4 A4 J X& [+ F | 噪音 7 u' _2 c' V' i8 _2 I% b
| 1,2,3 ! p) u( J$ X! H/ j
| 1,2,3
0 p8 r6 ~, ~) F: n# n& @ | 1,2,3 7 `' A2 C1 k0 ^
| 6.11-6.13
u) P9 R/ d" Z0 g# ^ | 温湿度
; S8 I9 [# i4 |9 B$ {6 B4 U | 1,2,2 ! k) x' P& f. H' C1 Y0 Q5 a
OPT R6 D ~& |% t7 ^! I/ S# D3 z" A# v
| 1,2,3 ) Q/ x5 ^2 D& D1 a- w
OPT # A# R# l1 g5 X( L9 Z5 O
| 1,2,3
) l( P5 ^& P0 n f& k9 ^3 b2 UOPT 6 o+ U3 S8 N) ]
| 6.14 - [# Z$ n5 ?& U# H+ W9 R# n* V& ]
| 振动
, `! B P+ F2 g4 c* @4 x6 K" ` | OPT : C7 B" Z5 L1 C$ r7 N
| OPT
- ~8 _4 N/ I. A+ t. B | OPT ; @, Z; |- W. Y5 o. O
|
. T# |' `' \) b7 H6 R' G7 m7 U
测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
4 u8 U t7 Q Y- f 1: 测试适用于 As-built' A. u3 E6 t4 W' z$ j2 Q( ]3 M
状态
2 I2 `2 v/ `, E! u6 l 2: 测试适用于 At-rest
& c' P# M, s# i$ R状态0 r. \8 M$ d4 L+ C. [
3: 测试适用于 Operational
/ j$ C8 M! b4 k4 r; G状态 9 ^/ W, M, N( _) e
N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
4 {7 V. u6 g3 ^5 a. a# ^ OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定 3 l. H, c8 z2 E2 T: Z6 m, m
由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
@* U5 w0 H( L5 r8 |: w至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。5 Z: x+ G0 Q" g) g
第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：9 V8 Y" W4 [+ t
A. 风速量测
[0 q$ @" {0 j8 RB. 风量量测6 a) D3 G+ |7 t
C. 前两项的均匀度分析6 C( Z" V! Z- p+ P# `7 d
D. 滤网泄漏测试1 R j7 t, U5 t5 X. Q
E. 洁净度测试. Y7 T0 W s; y+ @( }6 }) f
F. 压力量测/ g' i6 S+ E" d, R" Y* d! P
第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
0 y. Q( |. i/ K$ A6 N' pA. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉9 P8 ]3 `4 v7 l$ C7 Z; {
B. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
- R4 ], U& m" @: x# T1 c7 n" ]7 `$ R; r7 LC. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉% b& {+ z# W \! y) `; E6 ?
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉$ O' ~! O7 F6 X' I: k& Z& W
第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
7 R1 P j- y5 Y# X/ @5 `9 kA. 照度与其均匀度6 e* J! L" U, d9 j
B. 噪音测试) E6 O) t: n' N; \! X
C. 振动测试0 |4 I9 i [. p
D. 温湿度测试* h9 V9 q( I. N* c
+ p% P2 h/ a( M; }2 u3 `8 l; }+ R" g7 \/ l' R0 X! A; }5 t
|
|
