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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：) }5 H; {) |/ [: ?
4 [0 {$ h$ _+ R |) p$ B) ^NEBB-----无尘室测试规范' c a q! v5 G: o6 N1 Z4 G# ?& ~0 b
) v- S# }8 u. C t; v% h3 e, _8 A% H测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。1 f; o, Z8 ?/ C% ]3 L
一、无尘室测试规范* S" K' x! p2 `. w1 p
有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
Z+ K4 T8 R( Z- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
( R d9 n1 T* q5 U! C" _$ F- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
! ?9 g$ N) b/ e# |1 _" i二、无尘室常用名词
3 T* }8 @, S' L! g! I4 Z# T- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义 : C9 K! v0 i: P, T S9 b, S+ J
无尘室的等级 $ v8 \' M1 D4 U3 u; p
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：
' b/ S* K" s0 |- U# B3 l$ B; \( v( PClass X (at Y μm )
) M8 v4 t3 T, K4 D2 d4 Q其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：
/ T% ] O7 a8 D# ~) T8 T. i/ i7 q" J" QClass1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
$ H* d# _: q7 N: ]5 e* e' ]7 |Class 100(0.2μm , 0.5μm )
: F/ c! m9 K+ m% E! U' u3 EClass 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) , Q) v- M9 c0 P0 N/ ^
在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。
/ ?9 }! _* r; L# m+ m, `第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
- m' Z' w+ {4 o; @( ?Class X (at Y μm )， At-rest
/ G5 `: E! c2 F( H供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。$ O, g8 r; q( I# l0 i( ]0 X1 X* D
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：- s6 r9 m7 M) h2 r1 n! q, y% I
Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
& ^/ l9 Z& }. B/ IClass 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built / O' @: f# Y9 W2 F6 z" J
这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
$ c" d; ~$ d# }, }1 N- X以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
E' c9 E' f/ }& S8 C + W: f" O# @3 H- D) p8 E
" v5 C5 M5 T$ k' i e
Class Name # B3 [" {+ F8 h# C4 R
/ E" C8 i% f* B! M$ J: {( }, h
( g9 ?8 l% J* E! f
# ?1 |! v1 B7 P7 h | Class Limits
5 H$ o' X! E1 c: T. ] | 0.1μm
8 ?- ~8 G( B, ]. K+ e @ | 0.2μm 9 T" z, c. v j& R" z P
| 0.3μm 2 r& W" ]9 C- |: [4 q
| 0.5μm
) h& S7 v' [5 t( d% o, `9 G9 U | 5μm ) A _# C% c# z
| Volume Units 6 N* S! A% M; o8 O4 C
| Volume Units
4 K) h" F5 A: X+ c | Volume Units
. C" d$ |3 T, u e | Volume Units 2 ? \% S# D. q, c* e! X
| Volume Units
5 s& u7 G5 H/ C! J | SI $ d# D' I- Y% C5 z0 N
| U.S. ( `& O6 U$ t$ Z G/ j7 T; |
| (m3) 1 E# S" V6 c8 a0 ]# Z L) x
| (ft3) 3 {" b9 O. ]/ o) A3 E0 @* m. d
| (m3) : i" l- ^* X1 R: Z0 V3 r
| (ft3) 8 [. l5 g) B8 s' ^
| (m3)
A1 z/ m) z" w0 v% v7 U | (ft3)
! O9 L! q4 t) X1 n | (m3)
* Y5 B- `: \5 L, D. [7 h | (ft3)
, V% p ^" `! I" g$ p6 N2 w | (m3)
$ \& ?& k% ~9 C3 ?+ j: m; | | (ft3) ! g6 I# E( r- M U3 d7 E) |, W
| M 1
- p& I2 r, O1 ^5 z. V$ V0 P |
* X8 m7 @* |! _. \6 S* A
# ^* N8 ^/ `$ p) T2 `" `8 ~. c | 350
5 P& ^% ]2 j* E, H | 9.91
' d* |6 T2 B1 R6 L1 y | 75.7
- ^/ }0 d5 Q( r- x% q9 F O5 g* B | 2.14 % t; L+ c2 M3 S9 ~
| 30.9 + k, w3 o7 n6 z- l
| 0.875 + |5 o( y/ d% r( L2 |* U( w
| 10.0
. N0 ]! ~6 W) b$ f | 0.283 7 T! K) K( v) R
| -
# H- V/ Q) L, n4 h3 S | - * ~- x/ }: n: k; |( a: Z
| M 1.5 + y# K# ?7 `$ R: W1 | Z# [* T
| 1
5 ]( m0 l4 B' E3 G; H! I | 1,240
9 N! C: W% s: g7 n. Q | 35.0
y1 I4 I* ^; f1 Z6 l% a6 |2 d | 265 9 W; T2 {7 b9 \& U. _, d* |# a
| 7.50
% E7 T1 c8 L. M7 c4 p$ r9 l | 106 0 x+ P4 m% v" l) u
| 3.00
) L5 O3 y1 M" b1 h | 35.3
n2 @3 w$ @7 U; Y& S: b$ G" h | 1.00
* I5 F1 P$ \+ P6 @; [ | -
" K6 G; g+ H7 u& P( m | - ( N" N6 U6 x# s5 O2 d
| M 2
" Q7 y; k4 S3 V% k0 A' _8 R |
4 S! {; T, Z; b e$ |
' H+ l/ R) x1 d% ^
| 3,500
* G5 a3 F1 X( D( C, c | 99.1 ( t: Q/ O! b9 L, Y) l& k
| 757 0 y8 P! m" R3 s, x" d& Y ?$ Y( {
| 21.4
" ~' n& D9 Z2 w3 v | 309 . J6 |, l4 H; V* V" P
| 8.75 1 J* S" }! R, f- s
| 100 " r6 O! l, v4 P/ e$ ~( U
| 2.83 0 {2 Z( N( ]% f% `4 L) m
| -
% F; i: A" s$ o2 W | - ) o. j0 f+ V1 ]8 |' ~
| M 2.5
" F2 c" r7 d: h6 Q9 \' B* A; T | 10
. C4 Q8 h- }7 V: ]4 W' Y | 12,400
" w; P& C3 y9 f' D | 350 0 F* L; h/ }: e: B
| 2,650 ) L' g' ~. J4 X
| 75.0 4 G6 _3 x- ]- }" D% y; K
| 1,060 ! K5 y/ o* [- U6 i7 P! ]" v
| 30.0 # T0 @5 I% Z3 _) _- Q) {4 y
| 353
' Q: Y. y) ^% E" F9 U5 [8 k. e | 10.0 1 I( O: { N4 i; K% U7 {
| -
' ?6 T4 P% ]+ B) t | - ) Q( ~' r7 g6 ~: A& I2 [
| M 3 ( [* a9 a/ X" z J% }' o
| 5 N6 s% `1 S% c# D% l9 ?
" h, R" N2 F1 S$ E3 u- ^6 D; k
| 35,000
. t' `/ |" r2 r/ M. Z | 991
7 w0 _. L% Z: A; i/ K* A& \1 [$ G | 7,570 . Q2 u% T8 M' \6 R4 @. N
| 214 ; |! g6 V5 l9 {# D% L2 K% k
| 3,090
x+ `* r0 K! [. b2 G" d | 87.5
% i; c% K! m& t+ e. } | 1,000 + C: G6 f0 C6 d) H+ x5 K9 H, m
| 28.3
7 t) d! P. f3 _8 F | -
0 r6 T- w" n$ A1 c# B& a$ V4 W: } | -
% ]! t4 a: B9 w' r% v; \ | M 3.5
9 J1 C0 a* z3 k. N | 100
, g( |2 y' }( ?: {& b/ ` | - 8 b! H; z, B4 g" t$ h' }
| - 4 u0 g4 I9 x8 x3 Q. |& p
| 26,500 ) K5 p2 Q; T3 z1 N) n
| 750
- K1 w" P( C" n. e6 H | 10,600 ' X, g# }; s' ~' u* Z+ K
| 300
2 h4 v! {) s$ y/ _. ^+ l& t8 I. }! x | 3,530
: n0 R9 c: |( K' L1 X% L, X% _2 K, V, ? | 100
0 B7 }- W+ U; L* Y8 i' e | - - `% H9 }& w$ P, ?. G. r
| -
2 b4 Z# _. y" d( F" C; I4 n( Q | M 4
2 O+ ?8 l: P/ K9 X: l. R) k3 l |
7 ^) _, h7 [! y$ {+ u) I. H
8 y/ w* t7 @4 U0 w5 T+ y | -
8 I! n. y/ ?1 E' B9 u) l | -
5 E# m/ s/ H6 J% } z: i | 75,700 d( J/ |9 q, _* Z- |& u) b
| 2140
5 Z/ p+ V; r' A- Y9 O# t( f" c | 30,900 - ]: }; c ~4 \6 H
| 875 6 d/ J) v2 B# R' L# Y
| 10,000 ( |2 c% h2 ~0 [7 u! q% a. ]
| 283 + Q$ L/ C1 z& _% V1 R2 C: G! h
| -
) U2 {1 b: Y+ l4 y* R: S6 H | - ' h/ {/ Z$ Z2 c( M& g
| M 4.5 2 h& B0 q/ o" | `9 C7 a$ ?
| 1,000
* z+ B J! E* }9 A | -
; z* e$ ` w0 S5 _, W& a | - 8 X4 F- s8 S% | h9 e9 `
| - ) F* E( A. `1 i( i0 G8 G9 j
| -
/ @5 S( N* H1 y- K | - 6 }* Z4 k8 q1 W6 S8 M
| -
6 [8 U- W; g1 R! b: g% \- v | 35,300 6 I4 W9 ^3 H) M) S% z
| 1,000
5 v ?0 L. {- G5 ~9 C | 247
7 B: R4 x( | F6 U5 Q | 7.00
% X6 I2 J6 G, l | M 5
, `5 T* t, ^$ d | $ r0 Z$ f6 Y6 V. ]2 @
( d! d' p. L7 D8 ]2 H+ s/ f | - 4 Y% g+ L& H0 r. C8 r( ]0 S
| - + o m* \3 c8 S1 I
| - 4 f! N s) C9 w) v$ A' }
| - % M! M1 u7 _+ b2 t) u
| -
A x- A( g# X8 x( ^; l2 o | - % O" U' C0 k) g
| 100,000 , \5 ^1 o9 I' d3 y( l, Z, ?
| 2,830 ( c. A7 h' Q; q
| 618 # A! E/ c& e# l, e
| 17.5 . h+ `6 z2 `/ `- m; ^3 S k- z
| M 5.5
3 D4 o/ o9 o& M2 J | 10,000 9 M' I; T* m( `1 U1 d* I$ i2 z
| -
/ I& B2 \- m% z9 W; Z& N g | -
1 E* }& u! g, M1 k" W1 `/ b | -
# F5 g9 t2 P/ `9 q* _ | -
1 n; {( N5 _7 p | - . C! ~& k$ r; v% b7 E; [% y5 _# J
| - 0 m4 D0 j7 o: B( B/ E
| 353,000 - K, Q t& f% H& h$ x" X
| 10,000 5 u9 t( V0 B) G# {3 D& j
| 2,470
, q" l7 Z% o4 j, i4 T) D | 70.0
/ q* k- o8 n, c5 ]8 X0 d | M 6 4 ]4 u- ]9 S. W0 B4 f
|
1 b3 ], h: c# F0 K( j- J$ s8 x$ B/ x+ o
, {5 x- H m3 ~8 d! @; t: w | -
8 H$ Y+ ~( y4 ^! a* @1 N# }$ L | - 7 y. S; Q" F, Z
| - 2 Q+ j9 L) j, `$ q6 [
| -
$ ^) W' S/ `. ~/ Q/ n# h3 e6 X/ { | - 0 {0 l* {- y# x- ?! m. G
| - 6 h9 D$ R; g4 s6 o
| 1,000,000
' ^9 S+ Y+ l( b$ n3 a/ w | 28,300 3 w3 j5 o8 a9 J. D' A8 q$ Z
| 6,180
4 \" x; m1 R* A$ n( I: N | 175
" b" f, F, ]! Y( i7 v( n$ }9 _5 _8 k | M 6.5
2 ` g s& V7 F/ V; E: R* h }. h" l | 100,000
! K7 L: Y/ N) w; X2 R: [ | - # j' p/ M; ~+ u0 p3 T1 D+ j
| - 3 `0 v5 |4 k$ ], G! x1 v a
| - ; j$ A% i0 s6 M/ Q' H8 \) y
| - 9 S9 r5 P* s3 ?2 H: G
| - # U0 g8 c) J6 f; N2 |5 P
| -
9 a7 r9 R6 ~0 L, W- U1 ~ e | 3,530,000
* N- I& v! V" \1 K | 100,000 & h& [3 D' B9 v! |, {% {
| 24,700
- ~+ f0 N; C$ Z2 K) J | 700
& s, e7 N0 `$ j: x0 _ | M 7 " u1 F' G+ j. I/ f! y5 d2 H9 @( w
|
+ }) G# R$ ?! \! \' q( }
" F1 b8 {% M( g# p | -
9 \. Z) G+ p2 y4 j' ?4 E | - h2 u5 _( o! j5 ?
| -
' R, p$ A) F, i! v& k | - 9 @1 [9 G J; V* N
| -
4 {( ?( }) i+ x" O9 P( V, n9 Y | - ' N. T. K5 V% o! i" M _
| 10,000,000
3 D4 `4 I9 i7 \# k) z0 ?6 Q | 283,000 ; c' \: C( `" y. G; Q+ z
| 61,800 : ^7 O2 w) S, A
| 1,750
2 L% D8 X# O) g- }# G6 S |
) i b1 j4 o1 }* v: V% x% S: h3 }/ _ ~! [8 y1 t. g1 b
Fed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N) 1 ?6 h, g+ F7 h% p8 p4 n
| Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). 4 Z- o# K; l: w: T0 l
| 0.1 mm
w2 I8 y' Q8 m" U. F | 0.2 mm
* b& G( q; Y) R9 S: M | 0.3 mm 9 \3 @, O F; Q; K" O
| 0.5 mm
5 W& a0 F$ W! I | 1 mm
2 n5 Q5 W9 L" V' w; {/ p | 5 mm 4 ^8 C& |8 k: e) H4 X: b3 \
| ISO Class 1 + y5 L) K _- H, r8 k
| 10 8 t7 a9 z7 [, m- s' |
| 2 , S0 G+ Q% Z" ~
| 1 i# L+ b' ~1 i5 J+ `
| 9 r' T- O7 K8 i; A, y3 I2 Q
|
" R4 |, N! ?/ Y. U' b | . R* d& N2 W! B/ |
| ISO Class 2 2 x! {# D# J3 v. N( T
| 100
3 z7 T5 i7 b. w | 24
9 ~8 J7 r; Q% L0 i( ]6 f l$ h | 10 6 V! [7 D. f( X3 {
| 4 6 Z9 I& F, I+ \& f8 s) w
|
7 p& q7 \2 F* r# x |
. K/ h$ c/ l5 `& y; \ | ISO Class 3
$ y/ |1 ?6 R: |. q6 c& p | 1 000 + `4 I3 M; q0 G% P
| 237
$ N) I1 Y/ o5 l5 X& I D2 @5 u1 g* b! w | 102 & c1 N- M# K) k, J. n
| 35 , `: m/ @ r: P6 Y: g7 K
| 8 8 a6 V4 h; F# m* _# h
| 5 S6 \+ L' S8 R$ n" [' f
| ISO Class 4
K8 [: g; C& C/ o. J | 10 000 / H9 a3 U8 @8 g( P, t
| 2 370 , S% p" `% b3 }, l4 {: _/ c
| 1 020 : |; f2 J, i$ r$ ~- z
| 352 2 C% ?1 a5 X7 ]2 R& e$ G9 K
| 83
, q- n4 O+ t V- }+ V- u0 m |
, F4 |/ Q9 a& O) E% I! O$ c | ISO Class 5 : r, F; E5 M3 W& [6 z
| 100 000 ; n' W. m' {7 k. T1 F5 A: l
| 23 700 A4 _/ i. r" w# Q/ `$ f4 h
| 10 200
: c4 V+ ]' B! \, V4 P+ H | 3 520 & t* I7 t! f9 Z, }1 ^. Z' z
| 832 ) O9 G( n" g: t& y' o! B
| 29 w- c0 w0 [) W: E. X
| ISO Class 6 5 M0 g/ x" B+ ?# D( }6 }* |
| 1 000 000 ) i3 O2 _. M* }
| 237 000
: s8 P# A" B/ p+ M- s4 g | 102 000
" a9 }# o. k/ _$ C. @ | 35 200
8 B( H" [1 V/ q- a/ t | 8 320 , y& Y. k1 D) p$ H) K E; D, U
| 293
, g% k/ ~ r) G& v3 V: X X& O: ? | ISO Class 7 - F1 l$ m n0 y
|
1 j3 W1 S8 j* V. i7 K6 ` |
@$ ?6 l7 w0 W" W% \& b& I" u | ) K+ z6 I- r$ i, ]. S# m
| 352 000 + Q9 d% b3 h+ v( V0 H
| 83 200 4 X9 p# @" ~/ r7 `5 w4 V* L3 v" H
| 2 930
& f- {" i! |5 d | ISO Class 8 0 y4 G. C; c# w* h4 E
| # c5 @# s4 _( t1 q0 L/ ]3 ^2 T
|
* F* a, o! }& n0 \1 c | ' O4 Z" U7 e4 |! f* Q
| 3 520 000
4 {% L! ?' z4 w+ `8 o% `' G( _ | 832 000
7 s' I" h* Q- S8 {; n | 29 300 4 E! Z3 V3 j& j, _
| ISO Class 9
: \+ ]5 d/ n8 |+ ` |
/ E+ S. O- X& p1 I |
, I. B/ h8 N6 F4 g# T, g |
I" S& O: J1 Z" P) v | 35 200 000
0 I& C3 u3 W( B | 8 320 000 + ?" `0 q/ U3 z" M
| 293 000
! U, o' O# t6 I0 L | NOTE! r1 c6 X+ @/ k7 K% d+ d
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.- X; o8 W8 y4 P i. E9 G
6 n/ _- w% I4 a, ^) Y6 ~& ^+ H
Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径
r' T* l/ K5 s$ w- `1 n: Y( u, m/ x# |* ]
0 b2 Z& R6 v8 @" [ |
, Q( W" L6 v1 r( l4 k. Y# f
6 m$ D e9 e: i6 fISO-14644 洁净度定义
1 l- s- r' C! O8 h% Z6 s& O8 @! v7 L" p* N: Y9 ?# t1 k: n- G
0 R* ]6 S* ^/ U. C
比较以上两表我们可看出
, U1 P" {1 d2 t/ e% ~) b( _& X- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围 0 X& q9 C8 c* N) M& M, [) [
凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。( f7 a8 e3 @0 n. a% c1 M' I. n. E
- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。8 X$ Y$ K, c1 R& ~7 h
IEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。/ y6 H7 l1 k" t& U6 a V6 V- T; f7 B2 `
IEST-RP-CC006.2 Table 1 @* Y5 |% H5 {& q i" r
5 _5 ~' f2 O. r: A章节: {* E) V8 x# F" O
| 测试项目
& d9 S$ }# l0 ]0 y' { | 单一流向型 v- p! ^$ Y2 V2 ~( t/ w( R
| 非单一流向型 6 Q& [( {0 X7 ~) o" O7 x
| 混合型
; N/ T. I* }' u; H | 6.1 + A; d) E& b0 z+ _) R
| 风量与均匀度0 [8 J7 G! @3 F) U6 u9 M' U& x0 h7 q1 a+ x
风速与均匀度 2 e6 I* f7 |( E3 R9 B
| 1,2,3 9 b3 U4 Z6 P% B. u- Z9 D
1,2,3
" `* b' g8 W) _: @% u. l) n* V | 1,2,3 ' X [ r4 I9 X ?2 ^4 G$ b
OPT
* Q# k8 e' r6 T& m: r6 L6 Z | 1,2,3 + C" B! s$ W6 n+ Q+ n* ?
OPT 2 u7 W; @7 x p6 `7 [
| 6.2 $ R6 G/ v6 s: P2 z
| 滤网泄漏
; s* Y& J) }! n/ z7 t | 1,2 " v' _6 t; @0 k2 g
| 1,2
$ T6 Z9 X: _- g | 1,2 # q9 c$ a7 _+ c8 \- o. _- I( {
| 6.3 - {' o" Y$ [ G* b
| 洁净度
' z3 D* f& v" ^0 Z7 k* u1 [7 R | 1,2,3 , r2 W' l2 o, l% b
| 1,2,3 " j4 ~3 i3 q- V0 a: L8 |; |$ X& Q
| 1,2,3 ; k/ E0 {/ Q' L3 B
| 6.4
4 ]5 \ f$ Y2 b9 } | 压力 2 L" b1 a( _" {% B
| 1,2 / L" U0 s2 e1 J+ r" i5 R
| 1,2,3 7 B# i, r/ c( ~" T5 m3 t( \4 l4 r
| 1,2,3 , D: f" U: `. Q: b' W! K+ n
| 6.5 5 G! N) m+ V# j
| 平行度
; E) p3 J% V: T. a* ?- o* e6 ? | 1,2
" y2 O7 V: q- O6 [+ {$ c* Y% e | N/A ( I8 }) i9 |" j, Q$ k6 o
| OPT (1,2 only)
; u$ l8 W* O! ?: M | 6.6 % V* U: @ _0 N" J# f/ {) A9 L, c
| 空间泄漏
x7 v/ t* U4 q* o | 1,2
) r6 I' ?) x9 T$ X' a/ m; R | 1,2
k8 B, {0 g( v. L3 c | 1,2 . P; H6 u$ S* A7 r1 \
| 6.7 ; a- Y* V) a5 F- U; g2 F
| 恢复率
0 f* V. {# `1 P/ t8 L, }5 Q | N/A 3 }3 r) p. M& N, _+ H4 X+ h
| 1,2 2 O6 ~, y9 u/ q( Z: a* Z) W
| 1,2 7 H' A; ?) ~8 @; W
| 6.8 * _; V0 m8 i5 Z# F) w; M
| 粒子沉降测试 0 ~' n4 Z9 v, f$ d X% I9 c5 k
| 1,2,3
" U4 M+ m/ P; h' ^" B | 1,2,3
1 P- b; p" O9 b& j) ~4 } | 1,2,3 / j, C" z* m: P S2 U) c
| 6.9
2 f( `- @5 O" |# V6 z& R | 照度 7 m" S" X' [9 ^( U% i3 v
| 1,OPT(2,3) $ d: |. O/ d& h7 ]- }2 a
| 1,OPT(2,3)
( J6 U* S% @6 ?* U% i/ d% j/ M$ E1 T | 1,OPT (2,3) & K# i. D$ n! R2 v+ ~
| 6.10 7 T0 X/ ?2 U# @% M3 `- f
| 噪音
6 u f/ i$ n2 L. d0 e+ G# [ | 1,2,3 9 M+ |( F+ h1 w# O% D# V5 [
| 1,2,3
9 c: h% ?5 K9 c5 j& R' u2 X& n | 1,2,3 a) {$ t, Q/ X5 h3 {( M/ P* w% U
| 6.11-6.13
$ [6 d$ A% I2 E4 r( ] | 温湿度
- w& \# T0 _1 _- m | 1,2,2 7 M) A m2 Z3 J+ [/ e
OPT 1 N- P$ {9 j- m& l
| 1,2,3
; g; v' g& U$ `. IOPT
; K2 F/ E- E0 f* h7 x | 1,2,3 ) U% Z d5 R. [; S9 x
OPT % x( l: z9 p6 h* ~ o( N
| 6.14
2 f, a" s" g8 P* m! P* ^. Q | 振动 * A8 n* R0 G8 U% ~% z+ H
| OPT 5 k' Q) n" f# ~1 u% F
| OPT 2 L4 k$ F( U. a7 ^! U
| OPT 2 h! Q8 b' T. z x
|
2 _* W* i( H2 X) q7 R' K测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
* T6 R% m, @3 }0 \2 W. K4 i& Y 1: 测试适用于 As-built
) E$ s' M# j# Q* l6 f状态 8 h4 F5 t j' H
2: 测试适用于 At-rest
4 B# g9 G& j6 d& N) Y状态5 Q7 g2 ^& M$ z |
3: 测试适用于 Operational
+ D/ Q0 W, l7 q- P" T; ^% ?6 d状态 , M ~+ j& J" S. N
N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
' m7 k4 m6 Z) `' o, B OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定
, a6 _7 a' a* P& \由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。3 U) }5 R1 F. k% w
至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。& _! U) l8 a$ ~; J
第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：
8 Y7 B) \7 M! f+ ?2 Z$ K- K7 QA. 风速量测
# p- i: {: {7 i0 }: h5 _B. 风量量测) g+ c/ g6 T$ A) v1 F
C. 前两项的均匀度分析% c) K7 ]$ V3 G; G7 `
D. 滤网泄漏测试
9 t y: ]) h3 @, u' R0 `E. 洁净度测试
4 x( t: s1 L/ I, r4 D" u0 S6 f$ |% p0 V* NF. 压力量测
, s; A" Q1 ?# v n. A/ R( Q第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。% c- J& E7 F7 S
A. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉
0 C f/ Z/ I/ t$ i& BB. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉' r, h( \/ [- E: x) P: _
C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉) c, ~/ m1 X$ q- O* U1 _ g% B
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
* R6 m- B7 U* z2 z6 d1 N第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。) \9 v2 E- O) C4 V5 }
A. 照度与其均匀度
' r; q6 ]: i5 Y! j% nB. 噪音测试
6 Y8 a' ]# y P. w7 X% w, t+ ~C. 振动测试
# k7 q' t. S% T8 X3 l/ e7 DD. 温湿度测试/ O& ~5 B5 s5 `% I
- k( Y( r" k1 |$ _7 Q) @
s; S, u, u5 t |
|
