微機電簡介與應用

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在正式討論”微機電系統”(micro-electromechanicalsystems；MEMS)或”微系統技術”(microsystemtechnology；MST)之前，要先提及這個新領域的創始者，或者是開山祖師，理察-費因曼(RichardP.Feynman)博士.大家或許從”別鬧了！費曼先生”一書中，熟悉他以量子電動力學之開拓性理論獲得諾貝爾獎；在門禁森嚴的”曼哈坦”原子彈研究計畫中，以Crack密碼鎖為樂；在巴西森巴舞團裡擔任鼓手；在賭城中與職業賭徒研究輸贏機率；被按摩院聘去繪裸體畫等特立獨行等事蹟。但他在1959年美國物理學會年會的演講，啟迪了一個嶄新的技術領域。