《真空》杂志2002年12月第六期 $ N0 ~0 q# k. R0 @5 D9 z文章编号：1002-0322（2000）06-0043-04. [7 k. n x A3 ]
题目：冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养 - H* }. T2 c; m7 a. m李小宁（华越微电子有限公司，浙江 绍兴 312016）) s/ M ^( m, I* |" b! S
摘要：本文分析了冷凝泵的内部构造、工作原理，详细叙述了工作时的相位关系。使读者对其有一个全新的认识。4 g" Z) y, I$ w# v
关键词：冷凝泵；原理；维护" `2 i j- X0 T4 q# g
中图分类：TB752+.53；TB655 文献标识码：B
发表于 2008-6-6 02:46:01
