冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养

yaovac · 发表于 2008-6-6 02:46:01

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《真空》杂志2002年12月第六期
文章编号：1002-0322（2000）06-0043-04
题目：冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养
李小宁（华越微电子有限公司，浙江绍兴 312016）
摘要：本文分析了冷凝泵的内部构造、工作原理，详细叙述了工作时的相位关系。使读者对其有一个全新的认识。
关键词：冷凝泵；原理；维护
中图分类：TB752+.53；TB655 文献标识码：B

s_y_y1 · 发表于 2008-11-19 18:40:23

最近在負責PVD設備有用到，有用到謝謝了。

仰天啸苍穹 · 发表于 2008-11-23 13:30:24

正好要了解一下内部结构，谢谢楼主

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[真空技术] 冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养

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