圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理

yaovac · 发表于 2008-6-6 02:32:26

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圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理
孙东明（昆明理工大学机电工程学院，云南昆明 650093
摘要：介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法. 并对如何
发挥圆柱形、平面式磁控溅射靶的优点进行了分析.
关键词：磁控溅射；靶；真空镀膜
中图分类号：TB79 文章编号:1007-855X(2000)02-054-04

s_y_y1 · 发表于 2008-11-19 18:34:21

能夠把圓柱靶及平面靶的結構清楚表明，
但是其磁場強度，磁力線圖等能不能有數值化的資料？

yaovac · 发表于 2009-5-12 14:32:57

目前我都没看到过，国人都是一大抄。。。没有进行专门的研究分析啊。。。

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[真空技术] 圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理

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