真空常用的名词术语

新洁电子

1、真空的定义
　
　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
: p3 I  o* Z1 n6 @4 w
　　2、真空度

6 S+ C3 v' @  M2 T' Q. w; ]4 r　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
; f3 v& ^+ u+ W, r- D0 h2 p9 }
2 b, _+ p  j2 Q) O　　3、真空度单位
6 m8 e$ R+ E! ~. c: z7 A+ }
　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
: {# E/ Z' x% Y- ^% w/ g1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

5 |; }4 v- [: s3 |　　4、托与帕的转换

4 ~+ ?+ z" z% l8 d# e9 ]　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

　　5、平均自由程

9 c' E# R* Y5 W* Z9 d' S, M6 m　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
  j( P8 m3 W/ u
　　6、流量
  k. R( n- ^: t
　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
1 r$ x6 L) u- {9 t
　　7、流导
. Y. H7 M* Z4 c$ A6 i* o
5 I$ y, H, U; f  u1 J; l　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)
8 a% S, [: }1 {1 Z6 ^7 ^) c
8 y# W0 U# \7 `% U　　8、压力或压强

气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

　　9、标准大气压
$ v2 c$ N: A( [
5 C. i8 D/ h( v0 c! o" O　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
* h  C0 u) i- [. u6 T0 c
  f1 @( o" B/ i) R　　10、极限真空

　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

　　11、抽气速率

　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

* u) l; ]9 d7 ]) ^( N( ~7 W' I　　12、热偶真空计
  T- K4 r# O* \% X
, d7 I/ o: g. C. M* X　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）
/ r5 o3 g  q" e. a; t
  f. t9 I& @$ c. @- Q7 Q　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
7 X& ]3 v* M% T# k% W1 L
　　14、复合真空计

/ E& J& T7 H" b5 w. d1 Z$ D　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
) `4 }' u% o2 N- q/ I7 d
　　15、冷阴极电离计
3 F4 l6 o+ z! B& {6 K" b
! O5 N9 M5 I+ D　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。