谁知道“皮拉尼”测试真空度的准确性有多大？

yjybd · 发表于 2008-2-15 16:11:36

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请问谁知道用“皮拉尼”测试真空度时，其所测数值的准确性有多大？
有没有更好的真空度测量仪表？

chinaebwcom · 发表于 2008-2-16 23:12:18

你所需要测量的环境真空度范围是多少？皮拉尼又叫电阻真空计，测量范围０．１－１０００００Pa，比较准确的区间是５－３０００Pa,一般这种仪表的精度为１０－２０％(１０－１５００Pa)，受温度和清洁度的影响比较大．如果所需要测量的环境真空度范围高于这一范围，要采用电离规．皮拉尼的精度跟厂家有关，莱宝的当然好，不过太贵了，我一般用成都的,完全能够满足我的真空电子束焊机的需要。

[ 本帖最后由 chinaebwcom 于 2008-2-16 23:50 编辑 ]

yjybd · 发表于 2008-2-17 21:29:08

谢谢
我们需要的准确数值大约在50Pa左右，那么电阻真空计就可以满足我们的使用要求了。但是，我们在50-8００００Pa之间都要看数值，只是对真空度的数值准确性要求不是很高，那我想知道在测量低真空度是它的误差有多大？也就是准确性？
再次感谢谢

chinaebwcom · 发表于 2008-2-17 23:15:56

上面我已经说了，一般这种仪表（国产价格在1000-2000元/台）的精度为１０－２０％(１０－１５００Pa)。注意，是指电阻规真空计，不是指规管。

jiangchun · 发表于 2009-1-11 15:05:44

莱宝的规管不是自己的，是贴的INFICON的牌子！

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