干式泵常识

清风明月

干式泵常识
' i& [1 s2 |3 q5 k$ CQ：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

Q：涡旋干式真空泵的特点？
- W7 K; R2 F: C7 d% _. C  YA：◇无油、无污染
% ?3 E, m' P) A' c9 a. x     ◇低噪音、低振动
     ◇使用寿命长
0 a7 [7 `$ j6 d3 C" Q2 Y# `     ◇空气冷却
4 t2 ^6 V; u6 z) Y* E( A; q     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
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! a* z$ _3 ]' _; N/ Y/ EQ：涡旋干式真空泵的主要用途？
' h+ @& R# B3 a' \% ^+ sA：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
8 B+ X2 `6 ]) a# O: A     ◇用于液晶注入系统；
     ◇分子泵真空系统的前级泵；
- A8 j3 N0 o( W+ B" s3 T' s) L8 I     ◇真空密封泵；
2 C, C# O0 v" \0 l/ R1 f     ◇冷泵前级；
5 }, H# ^5 b0 d/ ?2 l     ◇用于科学和化学分析仪器；
     ◇真空发生器；
4 K+ [  \: k  R& ?+ s8 u     ◇电子显微镜前级泵。

Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
5 s7 P5 N& h" D' [' C  VA：

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) & s! _" J2 x5 D- w' S50/60Hz(±2Hz) ≥10A $ y% Y4 ~- U4 V% [& w0 E$ n 单相100/200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A 2 M! M, U  S8 o$ J 三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） . B* w: [! ~0 i' x" }! Q1710 rpm（60 Hz） 5 g7 w5 y0 ]# {" l: B3 E; G 1430 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz）
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
3 M7 C: k5 J, r9 z# JA：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇检查确定此真空泵安全接地。
   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
; A8 A8 ]# T1 N4 A# V% l+ E   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
. o/ C7 B" Z, B& i   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
# D' h* Z, Z- ~   ◇必须安装电机保护开关。
DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
如果真空度上不去，更换法兰。
  J# D, b: l. [   ◇在进气口处装真空阀。
1 C2 `; ~4 r7 e7 r9 n真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
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! s  `: v% V5 v" t" j, fQ：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
5 {! t# U0 \# K$ v: X* ?   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
3 X+ \9 L; N* h9 }* b" u# k   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
   ◇加滤网
8 M6 B8 l5 s0 a+ V* i1 [使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
- s* T0 L& Z, u   ◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
- i6 S  e4 b7 ^# L0 P& K% [* z   ◇供气
' ?; n9 v3 l6 i' W! `( l+ i" C" A要保证加适量的气体使泵高效率工作。

! N# J/ l; g3 }3 D  Z$ [; a1 xQ：涡旋干式真空泵安装地点要求？
A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
   ①平面放置
/ ~3 w& ?, L! j% S   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
( N% K8 ^+ n0 L( o   ④通风良好
   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
; L  Z! N! f3 u6 V   ⑥防潮
) o$ {2 z4 r; q' P/ b   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

0 M7 X% h9 J" I: i# TQ：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
& R" q. N2 \' Z2 P# g) aA：◇检查确认此泵电源接地良好。
8 \) I4 {5 k. R: h  B; r/ R   ◇检查确认此泵电源为要求值。
  h2 w* h' L9 C% e( p3 a   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
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Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
8 E3 F1 Y' n' ?, a   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。
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4 V* ?; p0 z) T7 p. GQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
' D$ o$ w+ l( p$ N   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口装进气阀
. Q* K+ K, w9 W7 p1 p! [真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵联结方式？
A：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
. ~4 F( b- U: ]. `   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
  E2 _& f( z  P5 K9 S   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
- C- U1 d! {* U8 S& c3 p4 G   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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6 t# Y4 S! @$ L! p. k% QQ：涡旋干式真空泵开机注意事项？
5 Q5 y2 L$ f( rA：①检查确认电源符合要求。
   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。
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. h2 W) O3 X6 S/ j8 s3 v5 K$ aQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
* A3 g5 l- Q4 Q5 {A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
% o4 ?0 X* y% b   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。
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- h& ]# M: |4 e: w% M7 [8 ~Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
* W  P; z; d- N, AA：①加气镇阀时，一定要加滤网。
. ?6 I- C; @- m7 ~& C, W   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
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Q：涡旋干式真空泵关机注意事项？
A：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
5 }1 ^2 u3 P, y/ M8 l7 k5 X   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

2 s5 T) E4 y% E$ M- F! OQ：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
7 [! }6 U% C; E! g$ i  f" SA：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：
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部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

Q：涡旋干式真空泵故障排除？
A：
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故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理