干式泵常识

清风明月

干式泵常识
# v: I, x0 q7 X: F  E4 ^Q：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。
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5 y+ [: k- i) b4 Y7 G, IQ：涡旋干式真空泵的特点？
A：◇无油、无污染
* q8 k' D; W* [& s2 m& f( e: @( g     ◇低噪音、低振动
     ◇使用寿命长
( \2 o; t2 S" v+ n9 c' ?     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
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Q：涡旋干式真空泵的主要用途？
3 T. P+ L& C3 E0 ^  R  `A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
     ◇用于液晶注入系统；
! t/ o( E+ u1 y     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
     ◇冷泵前级；
     ◇用于科学和化学分析仪器；
     ◇真空发生器；
. H; D( Z. e, k) p) a& F     ◇电子显微镜前级泵。
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" b& f. P% ^* j1 S. `# MQ：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
A：

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A 单相100/200V(±10%) - J) l$ e9 K9 U( e9 s, p' Q! w50/60Hz(±2Hz) ≥10A % G$ q+ u. e' _: X( q( _ 三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） ) G) ?! A9 H8 _1710 rpm（60 Hz） 9 x6 B2 c9 H5 F- W1 V 1430 rpm（50 Hz） 7 A6 l, M6 a, h9 Z. {( w6 x1710 rpm（60 Hz）
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
9 o8 J. Y, H( _0 O7 D5 i7 H   ◇检查确定此真空泵安全接地。
% D- T3 ?: J. }& u3 i- Q8 A) q/ q   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
0 m" Z3 Y9 F5 g3 V) Y( c$ S   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
0 e9 ^7 x2 [( ?   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
4 K; a3 C8 L* K: m8 h   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
# _  e7 d! U1 ^0 v8 u4 n/ F$ r; P   ◇必须安装电机保护开关。
# t" f/ F+ \# RDVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
" I8 o3 i. Q3 C6 J$ @' L  Q0 R   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
% E5 ~$ j: r7 O& g   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
  q1 V- }4 Q; w# _& {  I! D如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口处装真空阀。
1 M" W2 o4 ?7 `2 @真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
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Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
( O6 r6 A, h& U) D3 K4 ~9 d' A- m   ◇加滤网
: M2 y& w7 p- ?* m8 ?7 a使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
+ n' `" ?' f, g1 l! f  y; C: P   ◇定期检查
1 F2 L  }3 W: s+ b9 w( P9 B为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
( M/ ^4 t4 D5 T" j8 N! U! m  ~" J   ◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。

Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？
A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
* W1 b) {& H8 b   ①平面放置
   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
# I+ w: d0 C# ^* y   ④通风良好
   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
6 u' s3 q0 N/ {) H0 h   ⑥防潮
   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

1 e) s' M/ E, }Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。

- G. \+ }9 G8 v( o& iQ：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
8 C' w% Y- n6 I. i7 D. a; {; ^   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
" `" D% p* i  D0 i5 o$ ]4 y% q   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。
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, d- X( Q( W# @6 l/ {, cQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
# M' F: `( D! f0 Z$ p" t0 yA：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

, w7 n  l; m: }Q：涡旋干式真空泵联结方式？
) \; U: z( m% B1 G% X3 m% gA：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
0 ~" n& G. P: p. n5 d   ②真空管道一定不能有泄漏处。
. Q2 g: |& d6 V3 u9 y) `8 [   ③检查确定管道无排气压力。
2 D" h) Z) j- V3 U   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。

1 j4 N, i. \5 c! o3 xQ：涡旋干式真空泵操作注意事项？
: n6 r- [9 _* N) o( N4 @8 vA：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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, y5 |9 a* l' l- BQ：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。

9 T: u0 u3 @( ]Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
1 n9 J' L! d" w   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。
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Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
A：①加气镇阀时，一定要加滤网。
   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
. b! v) f4 b9 U/ u) j6 z- w4 A   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。

! [( I+ _2 r- B! m% N, _( lQ：涡旋干式真空泵关机注意事项？
A：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。
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Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
; w/ L" n1 w# x3 g4 s/ V   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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! W# C  A+ C* V* W. C0 jQ：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：
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部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

Q：涡旋干式真空泵故障排除？
A：
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故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理