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激光陀螺研制中的超高真空技术
3 Q7 ^' z6 v8 |% {0 F) ~$ N/ D) W 王川 王轲, P# ?3 M- |/ u3 c6 r$ F
中国航天时代电子公司研究院，北京100854
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【来 源】《 导航与控制 》2004年3期
" h% P. k# [: x6 j' Y9 e- \) P+ W【摘 要】激光陀螺是迄今为止在惯性技术领域中真正获得了卓有成效的实际应用的非机电式中高精度惯性敏感仪表。它具有稳定性好、精度高、动态范围宽、寿命长等诸多优点。而超高真空的获取是激光陀螺制造过程中至关重要的环节。在激光陀螺的密封、抽真空、检漏、等离子清洗等过程中，都涉及到超高真空的获取技术。本文将对激光陀螺生产过程中超高真空的获取技术进行探讨。8 {1 O8 ~/ {0 m; Y& K' i, \7 n
【关键词】激光陀螺 超高真空 真空泵 真空规 等离子清洗 |
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发表于 2008-1-27 11:47:22
