QQ登录

只需一步,快速开始

登录 | 注册 | 找回密码

三维网

 找回密码
 注册

QQ登录

只需一步,快速开始

展开

通知     

全站
3天前
查看: 1204|回复: 0
收起左侧

[新技术] 蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究

[复制链接]
发表于 2008-1-17 19:39:18 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国湖南株洲

马上注册,结识高手,享用更多资源,轻松玩转三维网社区。

您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册

x
蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究
- C5 `5 k. ^* S/ M               王银珍,周圣明,徐 军
, n2 D$ T% S: q5 o(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)
, I5 S. c! M4 A8 j
& A. G- e# h3 g& S. P! @* L/ h2 A6 i& G+ S& M& @
【摘要】介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,阐述了CMP 的主要发展趋势:能定量确定最佳CMP 工艺,系统地研究CMP 工艺过程参数,建立完善的CMP 理论模型,满足不同的工艺要求和应用领域,有效降低成本,提高产量。
3 P8 m5 I. y2 J! g) Z3 d【关键词】蓝宝石;衬底;化学机械抛光3 u: J6 H9 e( v, i! D
【来源】《人工晶体学报》2004 年6 月 

蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究.pdf

278.57 KB, 下载次数: 9

发表回复
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

Licensed Copyright © 2016-2020 http://www.3dportal.cn/ All Rights Reserved 京 ICP备13008828号

小黑屋|手机版|Archiver|三维网 ( 京ICP备2023026364号-1 )

快速回复 返回顶部 返回列表