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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理8 _3 O! j, |9 x6 c2 @
a4 ?- p) E5 [' \内容简介+ Y- O% y2 Z& F! s, X% r' C( w' n
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
3 t8 ]9 H8 p p% U9 j& ~$ T, T 本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。 % s6 u" m* ~0 C
) g' d% q, ^4 O7 l {+ F, q0 q
本书目录
" d/ ]+ u* e1 K第1章 概 述 ; d+ c: K1 f0 H6 }7 Y
1.1 材料处理
4 R8 s7 s7 ]0 s$ w1.2 等离子体和鞘层 + B1 E+ P! H. [) `- }% \( \/ _! z
1.3 放 电 ( n, J' H+ c! i0 g. U2 F m
1.4 符号和单位
9 N1 e6 E& Q9 S" d+ P& m, U1 p: }第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质
) n. _" r+ ?8 F* I0 e2.1 引 言 % M/ \& l5 P3 K! V
2.2 场方程、电流和电压# M' f* i3 S4 v$ y1 o. {
2.3 守恒方程
0 Q O% w1 H9 J- y# m. k4 ]2.4 平衡态性质
( y# C3 |: ^% \/ P习 题 7 E! K- M8 X/ ^% }7 S# O
第3章 原子碰撞 . s+ {4 P) J) c" K0 E
3.1 基本概念6 F9 z4 P8 k- X+ H f
3.2 碰撞动力学
/ l- ^) q/ \0 z% V3.3 弹性散射
1 ~, _& Z- T/ S7 F7 z- \" W3.4 非弹性碰撞
; p, A+ b6 l2 W- L1 l( k3.5 求分布函数下的平均值和表面效应 p" _4 u1 e& @' a3 ^
习 题 # n1 f3 U4 ~( `- B/ ] x
第4章 等离子体动力学
4 K( M/ f5 l o! G# M' p: q4.1 基本运动( U7 Y' h; R. r: z% I
4.2 非磁化等离子体动力学/ U4 ]4 q5 Y/ C
4.3 导向中心运动 / }# u0 j4 R+ B- H& o9 a
4.4 磁化等离子体动力学
. ?1 F0 I: _, g Y& {' F7 q8 L5 E4.5 磁化等离子体中的波
. P! K* B9 y: L" y- a. b8 }# X/ m5 x4.6 波诊断' V$ a4 P" Y* i% I9 K3 V. c+ H
习 题
: B H, E! d- ~3 X1 j第5章 扩散和输运 $ i/ c6 `/ W/ j, H. ^0 e3 x+ P
5.1 基本关系式
# @1 E* Q& d$ g! I( r7 x- G2 K5.2 扩散方程的解
! X" q% p' t: s4 J" H5.3 低气压解 ' I% q" }% c5 V9 D7 F$ |2 z
5.4 在磁场中的扩散过程6 `' q2 u% O& G% [
5.5 磁多极约束7 c! d7 L1 c# ^8 A0 x" f A
习 题 8 r5 S4 W% I1 O k$ t
第6章 直流鞘层 ( ]5 T3 S& {8 A" c2 S
6.1 基本概念和方程
7 N: p' C$ x. }5 [" Y _ G+ @+ `8 U* {, d6.2 玻姆鞘层判据 9 W" W9 n0 A6 i
6.3 高电压鞘层 $ Y$ Y7 K0 O- W( R1 b
6.4 鞘层形成的广义判据
4 R0 u( B# Y$ I) c3 U6.5 高电压碰撞鞘层 & ]8 v- _+ ?2 P8 u3 v* h
6.6 静电探针诊断
& C6 Z: e& k* `* l习 题
6 [2 f& {! @2 b) q第7章 化学反应和平衡 1 V# d5 K9 g1 K, D2 r8 c8 u
7.1 引 言 7 o$ d$ g& D! k
7.2 能量和焓 * o# H5 m8 u$ p% @) {& x0 v6 s
7.3 熵和吉布斯自由能: f5 u+ s- ]& v- T! _2 G# a
7.4 化学平衡
7 B" {" x7 B: W* J5 s9 ~5 [7.5 异相平衡
( H; x7 Q# V/ K: h9 o7 a/ H( n习 题
' P/ I9 f! J$ g1 M& z- y第8章 分子碰撞 ; n3 R0 P `2 }+ Y' I
8.1 引 言
/ G* I3 J5 Z9 z4 y1 J& `8.2 分子结构
1 X- d$ B# y' u* g% @! N9 ?+ Q4 C/ G8.3 电子-分子碰撞反应
! X& G; k; d, F) [. M. R1 M5 _8.4 重粒子间的碰撞
1 V0 N0 P4 J8 a6 u8 e8.5 反应速率和细致平衡
7 |5 I) g: d5 {( c7 }8.6 发射光谱法和光化线强度测定
( m0 v2 Q+ h/ x. l2 P. d+ y习 题 \, n; {1 r0 D- u% }
第9章 化学动力学与表面过程, Q; V4 q. P) O9 c: F
9.1 基元反应 : ]1 F. y& ~+ E% p7 Y- C1 o
9.2 气相动力学 / }1 [& D0 O. X6 O ~- A& Z
9.3 表面过程 & J" n# P- a6 \& b, d- [
9.4 表面动力学 & z, a" m3 r7 C, O# S
习 题 ' K4 z6 B0 K! `* f
第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡 6 l4 s6 P) a; @$ C, q& H7 ^
10.1 引 言
( p" l( K# ]3 a2 u8 n10.2 电正性等离子体平衡态分析
6 c( }$ x% g: G10.3 电负性等离子体平衡态分析 6 i; _! m, d. L% J8 M
10.4 电负性等离子体的近似平衡分析
) Z! y Q p; \6 o10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟
0 e* H/ Y& M$ J10.6 脉冲放电
5 w+ v- Y. ?+ g5 E6 E1 e* g习 题
5 P4 Z _( R' j& D3 Z第11章 容性放电 # ~! F* F5 j& x' G; C% u" s
11.1 均匀放电模型8 ]; t% U# R7 U
11.2 非均匀放电模型 % ~+ N' f5 w' b) u
11.3 实验与数值模拟
1 l. s! U- c, g) L& k2 n6 p11.4 非对称放电 E# v: {. V9 _! Y+ B" f
11.5 低频时的射频鞘层
) G M$ H7 A# |5 Q8 J! h; n11.6 电极处的离子轰击能量' t- @- V0 B/ L5 z7 L2 R
11.7 磁增强的气体放电* L: i6 n5 b& x: `2 V3 Z, T4 r- ]
11.8 匹配网络和功率测量
+ M# K1 I9 F$ C% ?& r4 A I习 题 6 o7 Q/ A$ @! e1 s7 y
第12章 感性放电 ' y1 _( o; J; t; G3 i( U- a
12.1 高密度、低气压等离子体
9 H, e# i8 l1 e/ f& l% J& R12.2 其他工作状态
% q# W. v) |( I9 F12.3 盘香形线圈等离子体源 ' `4 x5 P# d3 m/ j; W2 ?
12.4 螺旋共振器放电
' E0 h5 j$ P1 B- _习 题 7 y3 C& o- y. d1 P8 c
第13章 波加热的气体放电
* Y: q) A& s+ s2 _8 |6 Z13.1 电子回旋共振等离子体
% {& `+ Q2 O& z ^0 }13.2 螺旋波放电 1 p9 w5 g8 J* @- q
13.3 表面波放电 - j( i1 v; R' k! o; v0 Y
习 题
& A, A' d+ Z, v# u1 i& W4 k第14章 直流放电
9 a4 R% @; f) {! S+ c5 t14.1 辉光放电的定性描述
* u1 ?* \6 a/ M+ O' a7 _) B14.2 正柱区分析
1 j& P5 d- X4 r9 f- c14.3 阴极鞘层分析, R% J: Q3 d0 y1 @
14.4 中空阴极管放电 + a& y. Z' _% Y! X4 E
14.5 平面磁控放电
9 @( q8 w0 T0 S& G6 X# L14.6 电离物理气相沉积" P, h0 _; F8 H: F$ T
习 题 ' r0 u f& o9 m3 x; ?' m! C, R3 m
第15章 刻 蚀 0 e& I6 D& r7 F! Q$ V# Y, R
15.1 刻蚀的要求和工艺过程+ l4 S( B- k6 V: V. i( t. `! d2 {. Q
15.2 刻蚀反应动力学9 I* ^3 ^" O' s" o3 E* t" \
15.3 用卤素原子刻蚀硅5 `" |; N/ D F2 W' O$ J
15.4 其他刻蚀系统 8 n7 T. G4 [' E7 Q6 c1 x6 e
15.5 衬底上的电荷积累2 G( `7 w8 r2 K8 H! D2 L/ b* n
习 题
: A N1 {" P# R8 o+ e; a0 E( }第16章 沉积与注入
4 U3 t' o/ F a( R# z16.1 引 言 & J3 G( }5 M* H4 u
16.2 等离子体增强化学气相沉积
1 H+ h4 T% T8 S, y% j* c16.3 溅射沉积 % V3 c9 F$ g6 t; G
16.4 等离子体浸没离子注入(PIII), z8 K- u; a- @+ b
习 题 * _# Q. D7 x4 q: k$ S( z; e$ ~
第17章 尘埃等离子体 ) N5 L9 K7 b9 G, q
17.1 物理现象的定性描述: k" ?6 E I! T% O4 \0 E
17.2 颗粒充电和放电平衡
# C/ ]3 J* I) q- [& O2 X# K5 h17.3 颗粒平衡 % x. S2 F% f3 W& u* i0 H
17.4 尘埃颗粒的形成和生长 $ l, j( B0 E: W+ K# u; \
17.5 物理现象及其诊断0 k* L# _/ d) _! u
17.6 颗粒的清除或产生 ( `6 C! z& H0 v; O
习 题 9 n, j9 l& g/ Z. {
第18章 气体放电的动理论
) b! S2 P! u& P3 F% p18.1 基本概念 : Y& z c6 e3 }# t/ L0 ^1 P" d8 {
18.2 局域动理论 & D' u% ]$ G0 u- _6 x& ~5 d) c
18.3 非局域动理论
} C- V8 R4 T/ y18.4 准线性扩散和随机加热* D. g+ u! J! ^$ Q1 p
18.5 在趋肤层中的能量扩散) q( |7 a# S3 l" O5 T' l# ?. E
18.6 放电的动理论模型
( s2 N4 E9 f7 r* U: }习 题
1 D7 R8 F1 B6 v% ]( ]附录A碰撞动力学
/ ]' z4 c1 }7 A9 j" tA.1 库仑碰撞截面
: ~+ }, Y- w. U: n# o) D附录B碰撞积分
0 s# A6 c! W5 e, ?9 X WB.1 玻尔兹曼碰撞积分: E/ E$ c5 y3 n$ j, i, y
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布
- B, E) g" J* J6 n) M附录C变迁移率模型中的扩散方程的解# Z# n& P, N$ p$ [% s6 @
参考文献 |
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