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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
3 f" `% m- m( g0 n+ q. q% `* A: v0 B: s1 v1 R9 C
内容简介; j- _& T+ u" d. P( p! M+ X1 v
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。2 P- c6 V% j9 `1 ?0 I) ^" A
本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。
% e& k- T- _6 G" Q; q" O9 d: @4 M0 `9 N' ]& N
本书目录4 Y, ^% E8 N0 t5 @! Y) O U0 [
第1章 概 述
# M2 j. H: C7 X: Q; Y$ [8 E1.1 材料处理 - A5 A% I" ?8 i% u- X
1.2 等离子体和鞘层 / j& S9 K, Y6 F/ r1 s3 z
1.3 放 电
& E; r5 A+ @3 b/ k% g6 q1.4 符号和单位
( S# r+ ~! P& y9 _& c第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 % B- V( W: C6 L8 `- ^
2.1 引 言
2 [6 A; h' }4 |2.2 场方程、电流和电压' B1 B; F: J9 T& J$ I! U( J
2.3 守恒方程
: O5 ~* V) A t2.4 平衡态性质
" ~6 ?7 A. i0 ~8 y) P习 题 6 |3 I" u" `4 }& X8 J$ L& h
第3章 原子碰撞
" r; W8 D7 l. T3.1 基本概念
+ U; a$ ?/ N6 C, g3.2 碰撞动力学 . ]/ N2 }0 ^0 Z, N8 ]4 L
3.3 弹性散射 7 [+ ]# X- E% _8 L( n3 s
3.4 非弹性碰撞 ) R6 M+ ]9 f% u: e X! A3 L
3.5 求分布函数下的平均值和表面效应
% }0 V: y4 j1 r9 y2 t! @( D习 题 2 v, H. F: L* {3 R& E! g" J) r8 R
第4章 等离子体动力学
+ Z6 f3 v6 T3 R5 Q4.1 基本运动
2 R2 B: d1 q* C8 A4.2 非磁化等离子体动力学8 n" \3 N9 `6 f7 A. U
4.3 导向中心运动 * H' Y( b1 q! h0 b; a
4.4 磁化等离子体动力学 ` y- i8 K+ M$ s. m
4.5 磁化等离子体中的波 9 T1 z0 [! [' {4 f
4.6 波诊断
1 x+ d" Z# C0 A* ?& {. E/ k/ V习 题 $ N& b! `' }; I a5 C7 ^
第5章 扩散和输运 2 ]$ T0 A8 D% R% a8 ^) ]" J9 U6 ^
5.1 基本关系式 k2 C" s3 p" q( X7 k2 p% d, [
5.2 扩散方程的解
' c9 k' }' A/ o! |3 \/ L5.3 低气压解 & \6 O; s: R$ n2 o
5.4 在磁场中的扩散过程$ V: n) h- i: w) A1 D5 X2 J
5.5 磁多极约束% t8 v' Y2 f9 Y$ D- b
习 题
- z( ~- s" A: q3 S) s1 G7 ]! x1 `第6章 直流鞘层 , `8 }8 o4 Z) ]! m
6.1 基本概念和方程
. H) I/ h/ b( r$ C( ?! |6.2 玻姆鞘层判据 6 z9 L7 ^0 c& V4 J( H' v. Y0 h
6.3 高电压鞘层 8 r% R+ E1 Q/ T) e1 C
6.4 鞘层形成的广义判据 2 _) \7 c# j# s0 j) ^6 x
6.5 高电压碰撞鞘层
( w! n: Y' L$ d A) S; Y& Z. H1 P8 H6.6 静电探针诊断
4 y3 Z5 V3 L( O& h) m; X. V$ ^习 题 8 |# p+ _: R2 x: ~" g3 [, {9 R
第7章 化学反应和平衡 7 y0 V3 S) l6 m4 j/ j
7.1 引 言 ; n. q& r% `: K. Z* D$ s
7.2 能量和焓 6 [) H& f! o4 T1 z
7.3 熵和吉布斯自由能
0 r( o9 m; H8 k# N$ H2 w7.4 化学平衡 ) z/ W1 A$ ~- Z0 _0 M, }; S( p
7.5 异相平衡
/ l* }) z% H% N8 j, q习 题 # U% I* f- o# c* w; J1 L
第8章 分子碰撞 : v5 z# l' l) a% A
8.1 引 言
, Z S1 H8 p- ?8.2 分子结构
, V5 L3 t( \7 a9 S7 j2 N9 G5 o- }8.3 电子-分子碰撞反应8 y. @$ t: V8 ^
8.4 重粒子间的碰撞* L* ]" `* s5 g
8.5 反应速率和细致平衡+ X! P: L9 P# ~( q
8.6 发射光谱法和光化线强度测定
3 Y+ a: `4 A C: ?习 题
1 Q) j5 j% @; ]& f0 h: v2 x第9章 化学动力学与表面过程7 C8 E) @. A5 `# ]5 R- }
9.1 基元反应
, a$ F; h _3 [! |9.2 气相动力学
0 d1 g3 q( `, P0 j5 s: d9.3 表面过程
) t# W. ?$ w, G9.4 表面动力学
, Q8 x6 U! l) ~, o3 V习 题 & E7 q/ c- j; `# W q
第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
: K! S8 L: R U$ H; n; V10.1 引 言
4 a3 N/ p' Y6 R% b8 {10.2 电正性等离子体平衡态分析
* f$ X; X8 W* V& z10.3 电负性等离子体平衡态分析
; ?+ g# E) d6 c4 t- v( v10.4 电负性等离子体的近似平衡分析 . l1 u6 H! b* t+ K/ U/ b6 ^3 R
10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟
% B) A5 I( d* P* q+ I+ G/ D10.6 脉冲放电
9 j6 g6 Y: }+ J% F7 y" Q& ~- r习 题
4 E" l/ V; Q* ] [7 M9 ?2 Y第11章 容性放电 4 e! |: X/ v4 X" q; U
11.1 均匀放电模型' J) u1 J. ^7 Z% ^
11.2 非均匀放电模型 " z8 ]0 c3 l( s" z/ N1 q+ F5 w% v, E
11.3 实验与数值模拟
* O( A P5 h3 @11.4 非对称放电
& z( P; W) A/ G11.5 低频时的射频鞘层
( E/ j8 ~/ K0 J% d11.6 电极处的离子轰击能量
; t- b" U$ F3 e& K11.7 磁增强的气体放电% z o3 N# `! G3 `; P
11.8 匹配网络和功率测量 ( \$ A+ }# m( Q3 c. O# ^
习 题 $ ?+ _. y! }0 C, z" ^2 n8 @
第12章 感性放电 + l* \6 s- b' k2 }! c' C1 ]2 l$ N0 T
12.1 高密度、低气压等离子体
7 S- D8 B) O& v9 Z `& T3 y12.2 其他工作状态
. |3 p5 q/ h! a12.3 盘香形线圈等离子体源
$ }2 `1 X$ o) o! [12.4 螺旋共振器放电
% w2 b1 ^ }+ H8 ?' L. m习 题
; {2 h. {, M% r5 c! x5 `; y% j第13章 波加热的气体放电 , I2 y8 s" h/ d) L$ n( _
13.1 电子回旋共振等离子体# c1 n, [6 `/ {( ^" D* ?& o
13.2 螺旋波放电 & x1 }0 ^% U1 e/ e6 g3 c! o
13.3 表面波放电 3 Y: h5 M( _* X G. {) N, F
习 题 ! \* r! D6 I1 r6 D- `0 ?
第14章 直流放电
3 {7 V! k; Y `14.1 辉光放电的定性描述 # i! m3 D: R- P
14.2 正柱区分析 9 M# @3 ?) ^) N k0 i
14.3 阴极鞘层分析
8 m: \9 M0 a5 a% n3 M14.4 中空阴极管放电 $ o$ p, p% h2 W, R0 L* B" f( n
14.5 平面磁控放电
# D- j: {3 x& H0 h( i; A14.6 电离物理气相沉积5 q* v' W6 p; o4 I* g* n E
习 题 # N) \3 H3 Y3 |# K/ D* J; P
第15章 刻 蚀
0 u6 @8 Y0 b: v15.1 刻蚀的要求和工艺过程
; k# M [4 ?7 d& r# N$ B$ m15.2 刻蚀反应动力学
+ g# m5 ]0 K3 {3 v) M15.3 用卤素原子刻蚀硅
I) w9 c% Y4 X( a4 b) |1 Q0 p15.4 其他刻蚀系统 , v7 P3 X4 t" l* T* k6 f! |- c( R
15.5 衬底上的电荷积累+ V5 \* a) i. U
习 题 ; v6 u8 F- b) G$ }7 C- I& V
第16章 沉积与注入9 I7 Q8 n8 r0 M
16.1 引 言
5 @# p9 H' j1 ^4 z8 y7 C16.2 等离子体增强化学气相沉积
/ O* _3 U4 x% x9 P. }% ]4 q3 ^* |16.3 溅射沉积
6 }9 n/ h1 `1 q4 e16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
7 b% {5 b8 Z9 J习 题 - l# _! u7 C9 O4 L8 S b5 t7 x
第17章 尘埃等离子体
) Q1 _3 |' Y% V" e4 K17.1 物理现象的定性描述- v/ g2 F' ^( l9 f% g' n
17.2 颗粒充电和放电平衡! [) q) {7 Z- T$ ?5 L0 z
17.3 颗粒平衡 ) C" G( W$ p: k0 \. e
17.4 尘埃颗粒的形成和生长 ' Q' Z* V0 e; C) N& A
17.5 物理现象及其诊断
2 h1 B" d- A: M! D17.6 颗粒的清除或产生 8 D! K+ e% `5 L0 L9 g6 m
习 题
* x) L3 m9 t0 s% E/ _第18章 气体放电的动理论 - D. L: E @+ G
18.1 基本概念 7 V3 H8 O' W1 O
18.2 局域动理论
& F+ {/ V9 U3 n# j) u; @18.3 非局域动理论 0 b& F! ^3 }+ s. X
18.4 准线性扩散和随机加热
% A4 |: M$ J m" }" {! G; t. B18.5 在趋肤层中的能量扩散( A# R. B( B/ G0 D) y# A; ~
18.6 放电的动理论模型
" y# i c4 Z& j3 Q% v, @习 题
8 y* k* s- E: N; p附录A碰撞动力学
% _* g. i! j9 W: C+ a* dA.1 库仑碰撞截面
* @- J1 _; V. R2 Y7 p3 T附录B碰撞积分
9 ~" ~9 \2 [" l" E' L7 C, fB.1 玻尔兹曼碰撞积分
: Z" D. H! P% O0 s( ~B.2 平衡态下的麦克斯韦分布 , G% s. }5 [% ~/ L
附录C变迁移率模型中的扩散方程的解
- I/ x$ O+ G! x( [: `参考文献 |
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