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真空计算常用公式
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1、玻义尔定律 体积V,压强P,P·V=常数(一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2=V2/V1)- P. w, z2 @! w. C9 b
* w, T' w, X0 a5 y' M! \# m
2、盖·吕萨克定律
" k5 E6 k, z3 p1 v" N" F当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常数)
& v& t9 O" [1 K当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。; K% b- J7 {6 z" f1 d3 H& c
- W1 L: n6 @: ?: K- r- p' ?! u
3、查理定律
- c$ F/ ^1 H# Y" Z2 E7 E# L当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即:P1/P2=T1/T2
$ p! N! a, z; \. m3 ]' ?在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减少)1/273。) R4 H c$ m$ g+ R3 W8 `& [ F
# f; F% V% t2 R; L4 U2 V, s4、平均自由程: λ=(5×10-3)/P (cm)
. P2 p) {3 ]1 f4 n& u2 n b9 ?: |9 a4 T7 K# ^4 t- o Z
5、抽速: S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P Q=流量(托·升/秒) P=压强(托) V=体积(升) t=时间(秒)
: l: s' y$ U! R9 t/ V
8 i& a X) ^+ n4 {6、通导: C=Q/(P2-P1) (升/秒)
0 t2 U6 h3 l1 I4 T9 r; T' |
; F* n- Z6 |8 `5 r+ i( C+ v4 C: a8 s7、真空抽气时间: o$ `, V% v4 L& y
对于从大气压到1托抽气时间计算式: t=8V/S (经验公式)
b' |& C- J- ~- B' P! E' C- D(V为体积,S为抽气速率,通常t在5~10分钟内选择。)7 r7 f, n/ i j: H0 h- t. ^
" A. h, W& b+ Z Y' Q. [+ x
8、维持泵选择: S维=S前/108 c# F' f, [. f4 S, I, Q( l0 B
8 L: F, w0 A( o8 Q9、扩散泵抽速估算: S=3D2 (D=直径cm), n' H- [- |# M0 f" ^3 t# B9 Y( F
! q# g$ g; P0 I$ W8 d( g8 S10、罗茨泵的前级抽速: S=(0.1~0.2)S罗 (l/s)/ K$ q6 @3 H. U' p9 ~/ i8 i
% ^7 }4 ]: j( Y+ u9 T: g, F11、漏率: Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1) Q漏-系统漏率(mmHg·l/s) V-系统容积(l) P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg) P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg) t-压强从P1升到P2经过的时间(s)) Q5 L7 z5 I5 @+ I6 \* [1 |3 ]6 W: m
; I/ u" p, c/ W0 Q
12、粗抽泵的抽速选择: S=Q1/P预 (l/s) S=2.3V·lg(Pa/P预)/t S-机械泵有效抽速 Q1-真空系统漏气率(托·升/秒) P预-需要达到的预真空度(托) V-真空系统容积(升) t-达到P预时所需要的时间 Pa-大气压值(托), D0 s# `! B! p: p' h
: l: K+ C* z# Y5 Z0 E, r; c3 ^
13、前级泵抽速选择:$ y, g' I- ~- M( n
排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有: PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn Sg-前级泵的有效抽速(l/s) Pn-主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) Pg-真空室最高工作压强(托) S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)
# U+ ]/ G# W" C
- b1 P+ E: M* D14、扩散泵抽速计算公式: S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S-被试泵的抽气速率(l/s) n-滴管内油柱上升格数(格)t-油柱上升n格所需要的时间(秒) P-在泵口附近测得的压强(托)K-滴管系数(托·升/秒) K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt
, \. Y! K4 f+ ~; j% _% w其中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升) L-滴管刻度部分的长度(mm) n-滴管刻度部分的格数(格) Υ0-油的比重(克/厘米3) Υm-汞的比重(克/厘米3) Pa-当地大气压强(托) △Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)1 I: {) c L+ G% t& P8 v9 X! Q. K
z; I# a& t) A q& \
15、旋片真空泵的几何抽速计算公式: S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)5 u3 f1 O3 K3 g6 q$ |9 N# W
式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95%)。
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" e1 B/ j8 [/ ]. h! N4 q16、O型橡胶槽深B=0.7D D为橡胶直径,槽宽C=1.6B0 G* _: u$ r v ^6 ~/ q: p; g
: A# J3 k- ~4 @, d. ~17、方形橡胶槽深B=0.8A |
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