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真空镀膜机的原理及故障分析
8 L( q u e& \ 陈敏 王存华
: k2 Q0 n3 Q# `# n(南京电子器件研究所 南京 )
" O$ B ?! ?) r. R6 `' | 2002年4月+ k4 o7 n2 h/ t9 Y
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0 l" _2 p6 i# D; m摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。
; O4 `: V4 i2 B- n4 D% g! q# q
, ~* c' L7 E" z2 s关键词：真空镀膜 高压电源 维修
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中图分类号：TN305.8 文献标识码:A
, Z0 D& [' x% B% Y9 t文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
