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多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究& k! m T3 B0 L4 H9 L+ W1 n
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吴亚萍 张剑 高学鹏 李廷举
% F# w$ ]- t' x7 n' n1 T# | （大连理工大学）9 }$ Y! j% I8 A$ a
) S/ `/ Z5 N2 i { 摘 要：以工业硅为原料进行了多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究，用自行设计的真空定向凝固设备制备了多晶硅铸锭。金相显微镜观察显示铸锭的显微组织为粗大的柱状晶，经电感耦合等离子体发射光谱仪分析，其纯度由99.50%，提高到99.86%，各种杂质含量都有所减少。
4 \, o3 c( s; I3 L5 M, I8 T 关键词：真空感应熔炼；定向凝固；多晶硅, k; x/ z m- E2 n/ s
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发表于 2007-9-8 10:10:29
