请问大家对MEMS有什么心得吗?

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请问大家对MEMS(微电子机械系统)有什么心得吗?
8 T7 z) f+ p* W9 i* i7 D  t: F我刚刚开始接触,有人可以对小弟指点一下吗?该怎么入手学习比较好?

longying0550

MEMS(微电子机械系统)?
$ i1 N9 D, U0 N& \  J我大学时的毕业论文就是关于MEMS的，当时设计的是光纤通信中的光开关，
很多都是原理，不能加工的
* R9 N: {! J4 d$ W4 h# e* [  y8 |现在想来要实现太难了！主要因为加工手段，工艺太难了！