|
|
马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
超精密加工的技术基础和创新 论文 PDF
6 D7 q1 Q: F. Z来源《新技术新工艺》杂志, l/ k* g$ {, `' n* Y5 l
超精密加工的技术基础和创新 吴敏镜 摘 要：主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.) ^! i% \& M$ v4 C0 }- @/ O$ m
关键词：超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性: K# z2 j! ]! ?7 |9 B$ l; N; U
分类号：TG50 文献标识码：A/ L% _! r8 T$ j
Supporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing |
' ]5 `( d7 w. x- |" l3 H2 s, o
作者单位：吴敏镜（中国航天科技集团公司230厂,100854）
% H2 m" B, R) b2 X( k8 }/ ]; ^4 t参考文献：
7 @' w0 X( ?9 K+ s3 j[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610." [. Y7 |5 i, x
[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.
+ J4 p; \) |+ W: S1 B[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.
) f0 \. e* @! o* C( p a1 `& D[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.1 }5 k |* L+ K7 p/ `/ Q
[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.0 _7 C9 W1 F3 x" d j+ V
[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日.6 c6 x s6 i+ j+ \
1 t0 H% b- y3 w/ s' A |
|
发表于 2007-3-25 14:59:16
