真空泵的选择

z6z6j6

真空泵的选择

' b0 x( w" H8 K( o
' U' D! d; D- L8 g+ M/ A$ D选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
- k' j: `2 E. ^6 V$ ^+ M5 c    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
) f: y1 o, G& x% I' s5 Y    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
) ^$ D/ W" e4 C: I9 S6 S    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
, N# n1 u) v$ @1 y  A% `    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
! }( C. w/ y1 s. ]$ i    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
8 I+ ]& @+ s  E: P

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
+ k9 X3 W2 c9 W8 V) `　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
' N9 _! z! [! t- u: A1 n, u+ g* @" U0 T7 b　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
8 O( z6 ?- Z# d: N0 X

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
6 V/ u/ g: D3 ~/ e  P: N二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
5 G% W' }' |0 I4 \: V( g9 o
$ k9 f7 }, T- I2 F- w, q' s
* h, H& ?0 |% ?2 B* W0 t
　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 * P2 A, B2 \' F5 E	极限真空度 2 G4 a( f% y/ h' f/ T  L5 ummHg	工作真空度 / d$ ^" V3 e" B* gmmHg % {4 x3 a: i; A6 L$ T4 U) G	抽速范围 m3/min	密封形式 , B: _: p5 I3 C3 q0 Y# `5 D
SK + S; v" T9 _; z: p	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700 ) @! I1 w# ^) z6 S# B( J	-300~-650	0.15~120	盘根、 6 a  r5 \* Q! U) t4 ^机械密封
2SK ' d& [& \3 V! L7 ^- q	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 ' K& D3 ]0 Y% z	-735 % L$ q% ?& e; Q' g; z( d- K	-300~-700 " j# X. x1 y1 @% l0 \2 F! v6 \	1.5~30 , t3 u6 ^0 _/ p! i# B3 f4 `% e	盘根、 机械密封
2BV 0 A- g% K% \' Q& w  |$ Z% L9 O, a	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 / ^3 V  W9 i. K( m	-735 ) v; p& `5 Y+ l# s6 O/ W	-300~-700	0.45~8.33 7 i6 e6 x$ t- D" ^' z	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 3 M/ b( i4 g5 {	-735 -640	-300~-700 -300~-600	5~400 3 y4 Q: ]+ q; D: N& r) j0 R; o	盘根、 " A! C( ]: z5 y& J机械密封
SZ 4 k/ l7 J$ g% F* m; z	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 / u- f0 }  U' V1 U, t	-640~-700	-300~-650 2 v& u4 F6 ]. g9 s( h1 v+ i% q/ L	1.5~27 . E* B" w% _# n" B5 }- v; z- ^	盘根
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550 - p* k& k3 A( G: j	0.33~0.66	盘根
2SY	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa ) r) G  g$ v3 c3 J1 \! s	-	-	6~30 & w( X5 d0 C) R+ i& C! U5 J+ u4 G. m	机械密封 ! B" N8 ?8 _. i# z  ~) p+ w
2YK - C  ~, c' m/ v9 e& p/ i, f" X	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 6 s7 U6 ?6 D9 @6 [% z( E	-755 , c" e9 R) t& Q1 O& ^	-300~-720 ) ]; `% E. j7 p7 P& `* O4 T5 ~" b	1.5~30 % i& {$ S; J( m9 ?) q	机械密封

- Y2 [! s& n" z/ T7 Z

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！