真空泵的选择

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真空泵的选择

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2 c$ a5 Z) Q! n& V选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
+ q3 k& c1 q4 s# A+ X3 m; e$ e" S    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
% k% p* b7 f; c( I    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
/ F) u: E9 N3 D8 S7 @    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
. H( g9 z5 O" f- p. X    9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
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• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
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　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号 8 H: ^, o  }0 _1 L	主要特点 4 v% H2 R$ N  n6 }: y3 d1 u	极限真空度 5 h2 `8 U+ N$ }) ]0 y3 ^4 CmmHg	工作真空度 . O0 k5 O: f' _+ q9 M- _mmHg ' `% N$ \1 h7 R$ r9 l	抽速范围 m3/min	密封形式
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 7 ?! I0 O9 l2 C* d; }2 P; E	-700	-300~-650 8 Y2 W. d" f$ J0 R! H+ T  D1 }* F	0.15~120	盘根、 机械密封 - v6 }, B( q+ ~- {
2SK & s; S1 k$ \! i1 R1 u% d	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。	-735	-300~-700	1.5~30	盘根、   z, |$ T+ a# U1 `: s2 Q机械密封 2 T6 J6 R4 O! }; Q
2BV	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。   A3 E4 ^7 p2 a1 Y	-735 ) D5 l  d  ~+ W* n	-300~-700 - W" d) Q3 x. E7 P* F' s: i	0.45~8.33 . i* g/ j8 J' n7 M4 |# Z. S- K2 J: C	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 ; ?+ I, ^2 Q. z& U# @$ @	-735 -640	-300~-700 : S9 l( K, ]1 A) j: q4 C-300~-600	5~400 7 d! m: ]! A' A3 x" p- V# O, B5 y3 H	盘根、 ! h+ }, f8 F' m* m& k8 P, E机械密封
SZ $ V4 O1 O4 p6 F5 D% A	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 7 P. E0 f* _' k! L" i9 U  J0 I	-640~-700 5 N% h2 }* `  H  z	-300~-650 - e7 N6 Q* X& m" W$ o; s# e	1.5~27 6 Q3 t3 P( x3 R  w! f4 H	盘根
SZB 2 r9 s& T! q. Q; N6 \/ k9 t	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 ( r  p6 e& [8 W4 \2 \" C) n% Q	-600 ) u5 Z$ n6 B7 y8 d	-300~-550 4 e3 l& n( x1 Q; t& c2 h0 G	0.33~0.66	盘根 2 P' X1 ^: B4 a. I; U* b# \
2SY 0 @) D  o5 K( ?	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa * ^& x8 X6 v4 F# }/ o	- 5 c  ^6 Y! ], B# _, O	-	6~30	机械密封 ' F  i& Z1 t% \( k! O+ K3 k& ^
2YK : |$ d+ w% i" A; u	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 : U4 y: {* Z2 @8 u+ n: a& I	-755 % k% r+ B9 b2 y5 i6 w	-300~-720	1.5~30 # N4 H9 A3 q7 s. V. _. ^- _' G& V+ P	机械密封 & d3 `% |& [' A6 Z9 i8 ~

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！