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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
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提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验% c) f% D5 `: d7 u# K
设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质
8 y! L f) J7 L9 D+ B量的铜质薄膜器件。% j. k5 }; z% @0 M- J8 ?
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
