薄膜提拉装置研制

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薄膜提拉装置研制
陈正华1，吕刚2，唐一文1
1 O- ]7 z; h  F- D(1．华中师范大学物理科学与技术学院，湖北武汉430079；2．华中师范大学实验室与设备管理处，湖北武汉430079)
- C6 F. D0 F! w9 x5 H+ Z摘要：设计并开发了一种薄膜提拉装置。该装置由液压装置、提拉装置、控制装置3个独立分体装置组成。为了实现薄膜制备过程中无振动、匀速提拉运行的“理想”成膜条件，选用液压传动系统以液体静压力进行动力传递和控制，并采用了与振动源保持柔性连接的隔离技术。该装置具有振动极小、低速稳定、匀速运行等优点，制得的薄膜表面平整、厚度均匀。为薄膜制备领域的教学科研和应用技术研究，提供了一种高品质的薄膜制备设备。
关键词：薄膜制备；提拉装置；液压传动
7 h1 |0 m3 n. i7 `) R1 z中图分类号：TB383—33 文献标志码：A 文章编号：1002—4956(2011)04一0063—04