低温泵用于那些场合？

rgsmdqy · 发表于 2012-4-10 12:32:51

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低温泵用于那些场合？

qilupzh · 发表于 2012-4-10 13:05:19

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

rgsmdqy · 发表于 2012-4-10 13:16:57

2# qilupzh
院士哥知识面十分广，超赞！

qilupzh · 发表于 2012-4-10 13:20:40

2# qilupzh 3 {1 I* _' X5 M* F/ d% f+ y
院士哥知识面十分广，超赞！
% a& z1 T/ F$ Crgsmdqy 发表于 2012-4-10 13:16 http://www.3dportal.cn/discuz/images/common/back.gif

百度的。。。。。。。。。。。。。

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