拼接干涉测量技术.pdf

放鹤

于瀛洁李国培
1 |! P, {" V0 F2 J6 a上海大学精密机械工程系
' S2 |' e# ]1 Q1 d+ Z- Z; H/ g4 ?2 i摘要利用相关拼接技术实现光学波面检测’可以用较小的测量口径实现较大面积的测量’并保持高的测量精度(高的空间分辨率和系统的低成本)获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键)简述了采用相移技术测量子孔径波面的关键技术)两个子孔径之间的拼接是比较容易的’但采用两两拼接的方法会有很大的误差累积)因此采用了具有误差均化作用的拼接方法’该方法本质上是一种并行的方法)文中简述了该拼接方法的数学模型和求解方法)最后给出了拼接的实测结果)
关键词光学波面检测子孔径测量技术相关拼接技术