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[新技术] 纳米结构与纳米器件特种加工及表征技术研究 .pdf

发表于 2012-2-4 20:28:46 | 显示全部楼层 |阅读模式来自：中国黑龙江哈尔滨

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本文在对纳米结构与纳米器件特种加工技术一电子束光刻(E．Beam)和聚焦离子束(FIB)研究的基础上，实现了多种纳米结构与纳米器件的加工。进而通过扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)实现了纳米结构的表征，得到了清晰的纳米结构图像，为进一步研究纳米器件奠定了基础。

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