辉光放电质谱法在无机非金属材料分析中的应用.pdf

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陈 刚＊ 葛爱景 卓尚军 王佩玲
2 Q, }& H  ^' P% x4 l; s; n（中国科学院上海硅酸盐研究所，上海200050）
摘 要 辉光放电质谱法（GDMS）作为一种固体样品直接分析技术，已广泛应用于金属、半导体等材料的痕量和超痕量杂质分析。近年来，随着制样方法和离子源装置的改进，GDMS 同样也能很好地应用于玻璃、陶瓷、氧化物粉末等非导体材料的成分分析。简介了GDMS 的基本原理和分析特点，概述了GDMS 在无机非金属材料分析的方法以及应用情况。
# }1 p, J5 V; ?1 X$ `) d+ ~关键词 辉光放电质谱，非金属材料，应用，评述