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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A
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美军标关于光学表面疵病的说明6 I. |6 J5 t; \; t6 C* a& l
3 j# w; V, X$ j' Q7 M) r' F% G
8 a' y( S, E- |" \( A- }
- W* N+ A% Y" T; X& n( e) }. S一.定义: : W; n5 C. d s$ e6 @# P& y+ j9 R
0 b+ N \& ?) n! ~表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。
( M: v1 R$ b' {
8 w7 Q4 e& P6 {道子、亮路都统称为划痕。
& @9 q: S+ |5 w# a* X7 M0 |' w* U
; O; J6 x% m5 ?, }7 G5 `8 v斑点、坑点、点子 都称为麻点。
* o! E- X8 ]" j* y7 Z o5 c5 b' K; I8 c: M: K0 S
规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
5 {( w9 E% r7 L$ ]; ` T% n
5 Q# v. S& c7 c# @( i
+ p' @& C7 l+ Q# m- R8 t2 [9 [7 Q
3 k1 q6 m' ]; _6 ^! p当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 & |& Y7 m$ g+ g+ G* u
9 l s7 O& e$ P T5 U; Y1 }
* P! k/ O7 X5 E* M: y& O3 v; v
1 `) V7 A4 i9 r d§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。1 K/ u$ l3 w; h
; r5 A$ u8 ^( \
' X; _- g9 r0 E1 R( \( Q# N# W7 G
划痕: * U) z$ W0 m: k6 l
. @* L7 ]+ L, P9 o& d以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)
, |/ `8 i( l) F4 a" O: p
2 r9 \( J0 f& C2 D+ _这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。 % N- x8 V8 e) d, ^+ F+ c& a& F
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n6 V v* S9 M9 {0 }' @# P- d! m: X R( Y! A) P
§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:
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u1 e! r# {6 ^
1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
( w: Y% K, H( P+ w1 ]) m% M) \/ h5 T- @3 w V. _! s% P
例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。
7 r j8 K' x; M* p/ v) b& l) X
7 g- C- I) y1 K* d! t7 o5 O3 J , z6 ?4 o4 b2 m
; D7 q6 P) `9 M8 x# _6 C- ?2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。 6 D2 b/ ]5 a- o& m& ?5 E- {6 a4 {
' O+ ?) f' Y8 w* B# U+ I2 o. ~ ]
例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 q: ]$ d- }) }( y( P8 ~
6 {2 y; x4 T- E 它的等效直径为20mm
% u9 H6 f) ~0 t( ~& z( l4 X5 d9 P. [( z8 z! }& ]6 N
1/4D为1/4×20=5mm
, l8 k9 j4 r. U- e0 I' K/ O: U; h! j
最大划痕的长度和为:
! T; X- F( U* _3 ?4 Q1 H1 [$ K( k
6 ^8 x8 Y1 U7 W( e2 X% X e+ `" g 3mm+3mm=6mm + Y: W5 A' D9 q/ T1 e" G
( s2 Q* q1 ^# h; E2 @0 A
6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。
" O# V0 `. Z; h g B4 a8 K- N+ [+ T8 X1 ?( y) L
8 E" u" |3 y& A8 s* w6 w2 V7 i
. f, f8 v$ d) l4 R) f3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
4 m' l; i v+ j$ _3 T7 H4 a8 _- N- e' t Y9 {
例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。
% K: ^2 y+ g, X2 U5 B; ^
Y9 U; u r3 e8 e& J" Z# b 它的等效直径为20mm
, e0 X4 p- \1 w& L5 W$ f' U
, e# C& e5 [9 {9 ? 1/4D为1/4×20=5mm - Z/ C4 g! y$ Z; T8 p
$ j# f! Y* o. O" z6 c- i* ~
最大划痕的长度和为:
' \, U5 y# K7 i# ` i4 |! ~
4 x4 z% O `/ J$ X6 d& Y$ D1 ~' Q 2mm+2mm=4mm
. h) W) I, B; B( K) ]
8 w8 N! J, F( u' O 4mm<5mm。符合2条。
1 {* R4 B# q3 g8 K& F3 F( E
, p! Q. F1 R' L4 v( Y1 B! L但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
3 @% k" C* \! A N* ? c; L& n8 p+ _- K; u$ h$ }" r+ F) h: C
1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4) - T3 a/ u% P. h, i
5 D m2 a6 ]( Q+ [9 g6 W5 m8 ?2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
- U1 ]5 m2 J, c2 a, o( {! X$ @6 R* A( j
40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 7 U% B' B$ V: W' `3 F7 ?
% ~: V5 ~3 h7 {$ |$ ^
3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: + [- t3 E Y" h2 w5 k
1 }: A: }+ H8 f3 q& y. i
[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
! S& D' _# G& F* g' t! Z
; [3 q c! z, M) f; Z 元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。3 `& G( y" K2 V* h# l/ }' A- b
# e! z+ y6 g' D
$ I: @ F, v2 M! b+ h* x3 e D5 N3 u# U, ^0 |" {
4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
# ]- K4 z* n$ ~7 S* s0 u9 F3 F6 @! ? J, b# G2 A5 _
例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 $ N* ^! Y0 l( J0 D0 f
* }& q. Z- [% z7 o2 x
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
. h3 v7 M, A/ v
$ `$ V( l( G7 L/ E2 K0 E$ \8 O[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
2 y) x; Z# `( h( m4 d3 R2 ]8 f% N( r7 L E) G! r4 ~3 c& Y
元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。 , M$ Q) K; }$ [2 s7 y4 |
: C, t! Q& I6 j' `
# ^ _: w6 Y, ] `+ _9 f9 R
" w8 e/ G/ ]* z% J5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 - L) u }+ R: }$ V
. D7 F$ g4 r" o
' B+ O' k" o+ |$ y( L! x, } F' ?+ f$ d& B! _4 R
例:表面质量指标为20-10,Æ20mm, : B$ Z( `1 I3 {/ i K' a$ _
; Q8 ^/ J5 o, g1 y. W% i在如图(1)所示的区或有2条长1mm 9 B- o& P5 A" d) h" {9 M
6 H! S9 u" _8 P) l: o5 Y, E和2条长0.5mm的10#划痕。
( R- j, D& D, j8 e2 ?- Q7 L/ y, m) e
x2 D+ G! r4 G( C6 U它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) + k, R# B3 {9 o6 f6 c, Y
, H, S% W- e. Y3 I1 l但它不符合5.1.5条。元件不合格。 & [# V+ I, B4 k: w1 ?0 S
% Q# p& n5 I: t) L
Y" c3 n/ @- o3 m. k' |5 B$ p. D4 Z% k
6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 & o3 f7 b. ^! \9 w/ ~4 @2 K
- ?5 U* q* E3 C8 a- K# w" A) S& e 4 [1 ^# I2 `4 o0 Z, _
+ f7 H( n2 t# C
麻点: |! j! _: V5 {, m+ F+ j3 [. }- R
$ _. U# d3 j. ] k/ _' [ u依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。
! e" z9 B2 w; h! t) c, T; |* t4 l* U3 x% D0 X; b
(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) # a. J& v3 z% y; ?4 X! Q M+ y
1 B( C0 ]0 v7 K$ D0 C
T7 f; x% q4 D6 z: `
2 g0 J0 P( {# l
1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 : v& m5 B% B, m! t2 x1 t0 p, `$ Y0 s
# H, j. o# a( h+ b/ l9 ]例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。
$ E8 ?' n# z2 ]" G7 N k' |2 z( i8 |
( f0 m; g/ c* M" v% i5 n# s* J7 u! ?8 \# s
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 " c5 q, H2 g# A9 Q& `' c0 D
+ m) X m7 Z3 n8 P1 R: W: }
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
" Z. _& k2 [. S! W9 K5 t
' P: v d: L7 _' J5 C
# k Z; a0 |% o" H$ J( V0 a# V$ X* x/ [; F
3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 5 @1 z% O# A7 l' J" J2 k8 h2 p
# g( o# s) Y& k1 u' z% H例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
% H5 V: K O$ T) Y/ N. R' ~" p. M4 u( {% o/ ?
9 m& w/ t# f% B* e: D5 A
' W) ]6 l2 n, Q6 g3 {5 S§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm
: g2 ]4 |0 K( ? \ @
$ |8 K1 v0 ~6 R. D8 I8 H6 E
9 P- b$ i( ~, {! K9 g) R8 \
6 T% h# ?. b$ V* I8 q) @例:元件40mm×40mm的元件, $ B2 [) C+ r; q$ n$ D: n4 s( s
8 X3 w* D+ `8 M" ]质量指标要求为20-10, / }& {* i+ X7 d( Q" \* N
/ N3 O# ]& o4 g$ h% y+ J g
有两个5#的点子,点子
2 t9 C, [4 t5 ~; m3 \& j* H5 g; X0 z4 y5 M8 T1 p
之间的距离为0.8mm.
3 r& g% C: t, r* |; v: [7 M* c2 u
0.8mm<1mm元件不合格 " I- W4 u p( I& k c
0 m/ {4 ]$ i5 c+ p. n
: N* V. S# s: T4 D9 e: d/ x. e
- L; N' ~8 s4 {( i5 ~0 B§5.小于2.5um的麻点略去不计。% _1 I8 C2 n! a! t
- y. V% I. {! M % s8 T8 O; @3 @0 |) t. U
# K7 Y& p8 E& w6 p& x4 {
§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
% f: c" N5 }' `. ?4 I# Z3 ^$ Y, J+ I$ A8 ^& G( J
( ?% C6 I. L! n8 \
. Z1 D- W3 @$ T! I$ Y: C1 q§气泡和包络:包络当作气泡考虑。
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( u; H" M5 V$ K/ H2 s, j
8 C |8 F. ?0 e' m8 u U& }依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。 I7 J6 S1 `" M& k0 [! [6 _
( f, `; Z. K( d+ g气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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