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高真空应用的完整解决方案:9 @8 M, l" |2 S- O1 r0 C5 d# z
应用于清洁真空要求的模块化真空泵组。! @ r+ q# F& {. N2 ]1 E6 x
灵活 紧凑 通用
) c/ b& U5 u- C
- y6 t, |$ D, m HiCube系列分子泵组根据模块化原则设计,为您提供前所未有的良好通用性,充分满足抽速从35 l/s 到685 l/s的不同的应用需求。全配置,立即可以投入使用,分子泵和前级泵的完美配合充分满足您“即插即用”的期望。产品优点一览
& w7 k* U+ ?3 \! n( x※涡轮分子泵和前级泵的完美结合;适合多种应用需求 " s8 }2 y, S0 e5 r
※模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求 $ [/ W7 x' [; o) [
※各部件配合简便,易于保养维修
. K3 U/ I/ \# _& U7 X※集成的驱动系统,无需额外的控制系统 6 p5 u: g: v3 h- t \
※“即插即用”-无需布线和安装 / N3 ^! {# T( I, F1 T. T+ E& t
※结构坚固,服务寿命长,可靠性高
0 C$ }3 W- m5 Z$ u2 i9 b※意外断电时,前级真空安全阀(可选)可保护真空腔体免受返流影响 5 _, y8 m. E. Z7 u. E. z
※可以直接连接真空计8 u! `) M& q2 ]0 t7 O
5 h$ }4 [) D: y# O( U! L9 N+ ~应用范围, ~: y; b. E& |4 p& Z* m
※研发
3 v; a8 k0 n! S# a# L9 ?2 S% e: r9 F※加速器 # u- c& `& v* E8 `: t2 k
※分析和表面物理学 4 u2 `% j6 }( D# s" I% Q1 q0 G. x" A
※真空工艺 8 c$ n4 p |* I8 R, a4 p. v
※电子束焊接
& p$ b7 l, `7 h7 B9 K※检漏系统
]* c% O' h* b& k. l+ m
. ]3 C) A2 q' x& e; x" {- v HiCube系列移动式涡轮分子泵组在业界设立了新的标准:最新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。我们为您提供最新的Classic和Pro系列的HiCube分子泵组。可选择干泵或旋片泵作为前级泵,极限真空度可达 5 * 10-10 mbar。
' I& |( ^8 l$ N* `( C' r; o 针对特别有限的空间要求,HiCube系列分子泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的HiCube Eco经济型泵组,其抽速范围从35 l/s 至 67 l/s。 |
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