真空泵的选择

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一、选用真空泵时，需要注意下列事项：

- ^0 o. t2 x) }' T$ O* i* ?1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

7 J' m/ L" [# T: w+ x0 M9 s2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
+ b3 O# M, ^: S0 L; p0 T4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
5 U) ~* x, \1 ~6 M( `* f7 @2 c7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
  V) f( }- K- `) r6 i8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
0 m- [; l' R. H2 l6 w9、真空泵的价格、运转及维修费用。

1 d" w" `6 \: b. \二、水环式真空泵的选择
（一）、泵类型的确定
# m. g# {3 |% ~$ g. I% Q泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。 泵工作时，需要注意以下两个方面： 1.尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
- U/ M) x2 ?5 K# \2.应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。
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- m; h# q/ |& {9 L! X! M根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。 如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。
1 O. E" t# t+ ]7 W+ r. Z0 V（二）、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照：真空计算公式。
真空常用公式：
1、玻义尔定律
/ B8 N% E, {; m' X0 z体积V，压强P，P·V＝常数 一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2＝V2/V1
5 E% s) F% j- z: N2、盖·吕萨克定律
当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比： V1/V2＝T1/T2＝常数 当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。
* f5 H/ T" Z0 r- c9 M6 _- T3、查理定律
9 _8 B5 g/ Q# S0 a# @5 S2 J当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，即： P1/P2＝T1/T2 在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。
' _& O  c, O- G1 _) L) L( M4、平均自由程：
λ＝(5×10-3)/P (cm)
4 r7 s  N( y4 a( H) E5、抽速：
S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P
Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托)　　V＝体积(升) t＝时间(秒)

/ O6 i3 o# f0 v& l% A  i5 Z6、通导：
C＝Q/(P2-P1) (升/秒)
2 ~& C5 o+ ~% A% e7、真空抽气时间：
& m$ K7 J7 _2 c' y, E对于从大气压到1托抽气时间计算式： t＝8V/S (经验公式)
# y2 M  Q1 m. B6 B2 GV为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。
8、维持泵选择： S维＝S前/10
  u+ m, N% I8 O9 H5 J9 G- M9、扩散泵抽速估算： S＝3D2 (D＝直径cm)
2 ]9 [6 F3 L* A6 E; Q# U; N10、罗茨泵的前级抽速： S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)
11、漏率：
Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏－系统漏率(mmHg·l/s) V－系统容积(l) P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg) P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg) t－压强从P1升到P2经过的时间(s)
/ D1 ~  g: J6 C; Y$ L12、粗抽泵的抽速选择：
S＝Q1/P预 (l/s) S=2.3V·lg(Pa/P预)/t
( {+ M; A* m* W$ @S－机械泵有效抽速 Q1－真空系统漏气率(托·升/秒) P预－需要达到的预真空度(托) V－真空系统容积(升) t－达到P预时所需要的时间 Pa－大气压值(托)
" _+ u: L( Y& A) o3 ~13、前级泵抽速选择： 排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有： PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn Sg－前级泵的有效抽速(l/s) Pn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) Pg－真空室最高工作压强(托) S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)
3 W# j2 M0 O  Q) Z# V; V14、扩散泵抽速计算公式： S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒) 式中：S－被试泵的抽气速率(l/s) n－滴管内油柱上升格数(格) t－油柱上升n格所需要的时间(秒) P－在泵口附近测得的压强(托) K－滴管系数(托·升/秒) K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt 其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升) L－滴管刻度部分的长度(mm) n－滴管刻度部分的格数(格) Υ0－油的比重(克/厘米3) Υm－汞的比重(克/厘米3) Pa－当地大气压强(托) △Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)
15、旋片真空泵的几何抽速计算公式： S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s) 式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数(一般取95％)。
! l5 d& |. {9 C+ w( c9 S4 C) S16、O型橡胶槽深B＝0.7D D为橡胶直径，槽宽C＝1.6B
9 s% J" L6 S7 f7 F! I' {0 w) ^17、方形橡胶槽深B＝0.8A A为方形橡胶边长，槽宽C＝1.67B

sea88sky

选用真空泵需要根据泵的抽速曲线进行选择

jun319

找本《真空设计手册》好好看看，上面很全啊。

huangjintao

写得不错，学习中。。。。