毕业设计求助

魏正军

我毕业设计的题目是：光刻机精密工作台设计 我不太懂是什么，请大家指点指点
跟贴的朋友一定要注意，请多多指点楼主。主体的设计任务必须由楼主完成（大家也可帮忙指点楼主的思路），但不是您给他做，其他回帖一律删除，并扣分处理，或者删除ID，后果自负，请谨记！
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% U7 x9 j# _0 c9 @[ 本帖最后由 asdolmlm 于 2008-3-13 20:02 编辑 ]

ZEDIO

题目太大，表述不清楚，无法帮助你

hourpp

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+ f6 B; `8 K4 U3 Y# E  Z. v光刻机超精密工件台研究（无全文）RESEARCH ON ULTRA-PRECISION STAGES OF LITHOGRAPHY<<电子工业专用设备 >>2004年02期
朱煜 , 尹文生 , 段广洪
6 L6 p* @4 g# |/ t6 v5 I
! z2 ~) p4 w: m! c, N# V8 g针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究,所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统.介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12 nm.

8 ~7 l, Y: H% W- C, I[ 本帖最后由 asdolmlm 于 2008-1-9 20:59 编辑 ]

abc529542670

毕业设计还是自己搞吧，课堂上肯定都讲了的

daguang

我给你忠告好了，对于机械行业的人来说，在学校里学的可以不怎么样，但课程和毕业设计一定要好好做！！许多人不明白这一点，其实工作后你就会知道，学的东西再多也要用于实践，而设计就是最好的实践，不要逃避，慢慢来！！

魏正军

谢谢楼上的了，我知道。就是想有个头 冒冒失失的去找老师不太好  网上找关于这个的资料太少了